Mass Flow Controller Mass Flow Meter CS200
Mga tampok
1. Mataas na Katumpakan at Mabilis na Tugon
Ang katumpakan ng CS200 MFC ay napabuti sa ±1.0% ng SP, at ang pinaka-advanced na mga modelo ay may pinababang oras ng pagtugon na mas mababa sa 0.8 segundo.
2. Mababang Zero Drift at Temperature Coefficient
Ang pag-imbento ng bagong teknolohiya ng sensor ay nagbibigay-daan sa CS200 MFC na mapanatili ang katatagan at makatiis sa mga pagbabago sa temperatura.Kung walang auto-zero amplifier, ang inaasahang zero drift ay mas mababa sa 0.6%FS/taon, at ang temperature coefficient ay mas mababa sa 0.02%FS/℃(zero),0.05%FS/ ℃ (span).
3. Metal-Sealed na Mga Modelo at High Purity Feature
Ang wetted flow path ng-the-the-line na CS200 MFC ay ginawa mula sa surface-passivated stainless steel.Ang lahat ng CS200 MFC ay binuo sa ultraclean Class 100-class cleanroom ng Sevenstar alinsunod sa parehong mga pamantayan ng SEMI at ISO 9001.
4. Mga Katugmang Interface
Ang CS200 MFC ay katugma sa mga sumusunod na interface, na maaaring piliin ng customer:±8V-±16V double-end power supply at +14V-+28V single-end power supply;digital o analog signal input at output;SEMI standard na mekanikal na sukat;at RS-485 o DeviceNet communications module.
5. Sari-saring Mga Pag-andar
Ang makapangyarihang software ng customer ay may pamantayan sa bawat modelo, habang ang mga karagdagang function tulad ng multi-gas，multi-range，auto-zero, mga alarm, soft start, at delay ay available bilang mga pagpipilian ng customer.
Pagtutukoy
| CS200 | |||||||
| Uri | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Buong saklaw ng sukat (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Katumpakan | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| Linearity | ±0.5% FS | ||||||
| Pag-uulit | ±0.2% FS | ||||||
| Oras ng pagtugon | ≤1seg | ≤0.8 segundo (SEMI E17-0600) | |||||
| Posisyon ng Valve Rest | Karaniwang Sarado o | Walang Valve | Karaniwang Sarado o | Walang Valve | Karaniwang Sarado o | Walang Valve | |
| Karaniwang Bukas（100 sccm≤FS≤5 slm） | Karaniwang Bukas（100 sccm≤FS≤5 slm） | Karaniwang Bukas（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Differential Pressure | 0.05～0.35MPa （Daloy≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa（10slm＜Daloy≤30slm） | (0.1～0.35) MPa（＞10slm） | (0.1～0.35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0.2～0.45MPa （Daloy＞30slm） | |||||||
| Pinakamataas na Operating Pressure | 0.45MPa | |||||
| Temperatura | Zero: ≤±0.05% FS/℃; | Zero: ≤±0.02% FS/℃;Span: ≤±0.05% FS/℃ | ||||
| Coefficient | Span: ≤±0.1% FS/℃（Daloy≤30slm） | |||||
| Span: ≤±0.2% FS/℃（Daloy>30slm） | ||||||
| Presyon ng Katibayan | 3MPa (435pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜0.6%FS bawat taon nang walang autozero | |||||
| Leak integridad | 1×10-9 atm·cc / seg Siya | 1×10-10atm·cc / seg Siya | ||||
| Basang Materyales | Viton; | Metal?(Stainless Steel V/V, 5Ra) | metal | |||
| Kimika sa Ibabaw | —— | Cr/Fe ratio ＞2.0;Kapal ng CrO ＞20 Angstrom | ||||
| Ibabaw ng Tapos | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Temperatura ng Operasyon | （5～45） ℃ | （0～50） ℃ | ||||
| Signal ng Input | Digital: RS485 o ProfiBus | N/A | Digital: RS485 o ProfiBus o DeviceNetTM | N/A | Digital:RS485 o ProfiBus o DeviceNetTM | N/A |
| o DeviceNetTM | Analog:(0～5)VDC o (4～20)mA o (0～20)mA | Analog:(0～5)VDC o (4～20)mA?o (0～20)mA | |||||
| Analog:(0～5)VDC o (4～20)mA o(0～20)mA | |||||||
| Output Signal | Digital: RS485 o DeviceNetTM o ProfiBus Analog:(0～5)VDC o (4～20)mA o (0～20)mA | ||||||
| Power Supply | ±8 ~ ±16 VDC o +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| Elektronikong Konektor | 9 pin male sub-D ，15 pin male sub-D ，DeviceNetTM,ProfiBus ，Analog | ||||||
| Mga kabit | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Compression FittingΦ10;Compression FittingΦ6； | Compression FittingΦ6, | ||||||
| Compression Fitting 3/8”;Compression Fitting1/4”； | Compression FittingΦ3, | ||||||
| Compression Fitting1/8”;Compression FittingΦ3； | Compression Fitting1/4”， | ||||||
| Ф6(inner)×1hose;ф5(inner)×1.5hose;ф4(inner)×1hose; | W-seal, | ||||||
| A-sael ; | C-seal | ||||||
| Timbang | 1kg | 0.8kg | 1.2kg | 1kg | 1.2kg | 1kg | |
