मास फ्लो नियंत्रक मास फ्लो मीटर CS200
विशेषताएँ
1. उच्च सटीकता और तेज़ प्रतिक्रिया
CS200 MFC की सटीकता को SP के ±1.0% तक सुधार दिया गया है, और सबसे उन्नत मॉडल का प्रतिक्रिया समय 0.8 सेकंड से भी कम हो गया है।
2. निम्न शून्य बहाव और तापमान गुणांक
नई सेंसर तकनीक का आविष्कार CS200 MFC को स्थिरता बनाए रखने और तापमान में उतार-चढ़ाव का सामना करने में सक्षम बनाता है।ऑटो-शून्य एम्पलीफायर के बिना, अपेक्षित शून्य बहाव 0.6%FS/वर्ष से कम है, और तापमान गुणांक 0.02%FS/℃(शून्य)，0.05%FS/℃ (स्पैन) से कम है।
3. धातु-मुहरबंद मॉडल और उच्च शुद्धता सुविधा
लाइन CS200 MFC का गीला प्रवाह पथ सतह-निष्क्रिय स्टेनलेस स्टील से बनाया गया है।सभी CS200 MFC को SEMI और ISO 9001 दोनों मानकों के अनुसार सेवनस्टार के अल्ट्राक्लीन क्लास 100-क्लास क्लीनरूम में असेंबल किया गया है।
4. संगत इंटरफेस
CS200 MFC निम्नलिखित इंटरफेस के साथ संगत है, जिसे ग्राहक द्वारा चुना जा सकता है: ±8V-±16V डबल-एंड बिजली आपूर्ति और +14V-+28V सिंगल-एंड बिजली आपूर्ति;डिजिटल या एनालॉग सिग्नल इनपुट और आउटपुट;अर्ध मानक यांत्रिक आयाम;और आरएस-485 या डिवाइसनेट संचार मॉड्यूल।
5. विविध कार्य
शक्तिशाली ग्राहक सॉफ्टवेयर प्रत्येक मॉडल के साथ मानक आता है, जबकि मल्टी-गैस, मल्टी-रेंज, ऑटो-शून्य, अलार्म, सॉफ्ट स्टार्ट और देरी जैसे अतिरिक्त कार्य ग्राहक चयन के रूप में उपलब्ध हैं।
विनिर्देश
| सीएस200 | |||||||
| प्रकार | सीएस200ए | सीएस200सी | सीएस200डी | ||||
| फुल स्केल रेंज (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)एससीसीएम | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)एससीसीएम | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)एसएलएम | (0～1,2,3,5,10,20,30)एसएलएम | ||||||
| शुद्धता | ±1.0% एसपी (≥35% एफएस) ±0.35% एफएस?(＜35% एफएस) | ||||||
| रैखिकता | ±0.5% एफएस | ||||||
| repeatability | ±0.2% एफएस | ||||||
| प्रतिक्रिया समय | ≤1 सेकंड | ≤0.8 सेकंड (SEMI E17-0600) | |||||
| वाल्व आराम की स्थिति | सामान्यतः बंद या | कोई वाल्व नहीं | सामान्यतः बंद या | कोई वाल्व नहीं | सामान्यतः बंद या | कोई वाल्व नहीं | |
| सामान्य रूप से खुला（100 एससीसीएम≤एफएस≤5 एसएलएम） | सामान्य रूप से खुला（100 एससीसीएम≤एफएस≤5 एसएलएम） | सामान्य रूप से खुला（100 एससीसीएम≤एफएस≤5 एसएलएम） | |||||
| अंतर दबाव | 0.05～0.35MPa (प्रवाह≤10slm) | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) एमपीए（≤10एसएलएम） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) एमपीए（≤10एसएलएम） | ＜0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa（10slm＜Flow≤30slm） | (0.1～0.35) एमपीए（＞10एसएलएम） | (0.1～0.35) एमपीए（＞10एसएलएम） | |||||
| 0.2～0.45MPa (प्रवाह＞30slm) | |||||||
| अधिकतम परिचालन दबाव | 0.45MPa | |||||
| तापमान | शून्य:≤±0.05% एफएस/℃; | शून्य:≤±0.02% एफएस/℃;अवधि:≤±0.05% एफएस/℃ | ||||
| गुणक | अवधि: ≤±0.1% FS/℃(Flow≤30slm) | |||||
| अवधि: ≤±0.2% FS/℃(प्रवाह>30slm) | ||||||
| प्रूफ का दबाव | 3MPa (435pisg) | |||||
| शून्य बहाव | ＜ऑटोशून्य के बिना प्रति वर्ष 0.6% एफएस | |||||
| लीक अखंडता | 1×10-9 एटीएम·सीसी/सेकंड हे | 1×10-10atm·cc/सेकंड हे | ||||
| गीली सामग्री | विटॉन; | धातु? (स्टेनलेस स्टील वी/वी, 5आरए) | धातु | |||
| भूतल रसायन | —— | सीआर/एफई अनुपात >2.0;सीआरओ मोटाई>20 एंगस्ट्रॉम | ||||
| सतह खत्म | 25 रा | 10रा | 25 रा | |||
| प्रचालन तापमान | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| इनपुट संकेत | डिजिटल: आरएस485 या प्रोफीबस | एन/ए | डिजिटल: आरएस485 या प्रोफीबस या डिवाइसनेट™ | एन/ए | डिजिटल:आरएस485 या प्रोफीबस या डिवाइसनेट™ | एन/ए |
| या डिवाइसनेटटीएम | एनालॉग:(0～5)VDC या (4～20)mA या (0~20)mA | एनालॉग:(0～5)VDC या (4～20)mA?या (0～20)mA | |||||
| एनालॉग:(0~5)VDC या (4~20)mA या(0~20)mA | |||||||
| उत्पादन में संकेत | डिजिटल: आरएस485 या डिवाइसनेट™ या प्रोफीबस एनालॉग:(0～5)वीडीसी या (4～20)एमए या (0～20)एमए | ||||||
| बिजली की आपूर्ति | ±8 ~ ±16 वीडीसी या +14 ~ +28 वीडीसी(400mA) | ||||||
| इलेक्ट्रॉनिक कनेक्टर | 9 पिन मेल सब-डी, 15 पिन मेल सब-डी, डिवाइसनेटटीएम，प्रोफीबस ，एनालॉग | ||||||
| फिटिंग | वीसीआर1/4" एम； वीसीओ1/4" एम； | वीसीआर1/4" एम; | |||||
| संपीड़न फिटिंगΦ10;संपीड़न फिटिंगΦ6； | संपीड़न फिटिंगΦ6, | ||||||
| संपीड़न फिटिंग 3/8";संपीड़न फिटिंग1/4"； | संपीड़न फिटिंगΦ3, | ||||||
| संपीड़न फिटिंग1/8";संपीड़न फिटिंगΦ3； | संपीड़न फिटिंग1/4”， | ||||||
| Ф6(आंतरिक)×1 नली;ф5(आंतरिक)×1.5 नली;ф4(आंतरिक)×1 नली; | डब्ल्यू-सील， | ||||||
| ए-सेल ; | सी-सील | ||||||
| वज़न | 1 किलोग्राम | 0.8 किग्रा | 1.2 किग्रा | 1 किलोग्राम | 1.2 किग्रा | 1 किलोग्राम | |
