Զանգվածային հոսքի վերահսկիչ Զանգվածային հոսքաչափ CS200
Հատկություններ
1. Բարձր ճշգրտություն և արագ արձագանք
CS200 MFC-ի ճշգրտությունը բարելավվել է մինչև SP-ի ±1,0%, իսկ առավել առաջադեմ մոդելներն ունեն 0,8 վրկ-ից պակաս արձագանքման կրճատված ժամանակ:
2. Ցածր զրոյական շեղում և ջերմաստիճանի գործակից
Նոր սենսորային տեխնոլոգիայի գյուտը CS200 MFC-ին հնարավորություն է տալիս պահպանել կայունությունը և դիմակայել ջերմաստիճանի տատանումներին:Առանց ավտոմատ զրոյական ուժեղացուցիչի, ակնկալվող զրոյական շեղումը պակաս է 0,6%FS/տարիից, իսկ ջերմաստիճանի գործակիցը 0,02%FS/℃(զրո)), 0,05%FS/℃ (ընդհատվածություն):
3. Մետաղով կնքված մոդելներ և բարձր մաքրության առանձնահատկություն
The-the-line CS200 MFC-ի խոնավ հոսքի ուղին կառուցված է մակերեսային պասիվացված չժանգոտվող պողպատից:Բոլոր CS200 MFC-ները հավաքվում են Sevenstar-ի ուլտրամաքուր 100 դասի մաքուր սենյակներում՝ և՛ SEMI, և՛ ISO 9001 ստանդարտներին համապատասխան:
4. Համատեղելի միջերեսներ
CS200 MFC-ը համատեղելի է հետևյալ ինտերֆեյսերի հետ, որոնք կարող են ընտրվել հաճախորդի կողմից.±8V-±16V կրկնակի սնուցման աղբյուր և +14V-+28V միակողմանի սնուցման աղբյուր;թվային կամ անալոգային ազդանշանի մուտքագրում և ելք;SEMI ստանդարտ մեխանիկական չափսեր;և RS-485 կամ DeviceNet կապի մոդուլ:
5. Տարբեր գործառույթներ
Հաճախորդների հզոր ծրագրակազմը ստանդարտ է յուրաքանչյուր մոդելի հետ, մինչդեռ լրացուցիչ գործառույթներ, ինչպիսիք են բազմագազը, բազմաբնույթ միջակայքը, ավտոմատ զրոյականությունը, ահազանգերը, փափուկ մեկնարկը և հետաձգումը հասանելի են որպես հաճախորդի ընտրություն:
Հստակեցում
| CS200 | |||||||
| Տիպ | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Ամբողջ մասշտաբի տիրույթ (N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |||||
| (0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Ճշգրտություն | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS (＜35% FS) | ||||||
| Գծայինություն | ±0.5% FS | ||||||
| Կրկնելիություն | ±0.2% FS | ||||||
| Արձագանքման ժամանակը | ≤1 վրկ | ≤0,8 վրկ (SEMI E17-0600) | |||||
| Փականի հանգստի դիրքը | Սովորաբար փակ է կամ | Փական չկա | Սովորաբար փակ է կամ | Փական չկա | Սովորաբար փակ է կամ | Փական չկա | |
| Սովորաբար բաց (100 sccm≤FS≤5 slm) | Սովորաբար բաց (100 sccm≤FS≤5 slm) | Սովորաբար բաց (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Դիֆերենցիալ ճնշում | 0,05-0,35 ՄՊա (Հոսք≤10սլմ) | ＜0.02 ՄՊա | (0,05-0,35) ՄՊա (≤10սլմ) | ＜0.02 ՄՊա | (0,05-0,35) ՄՊա (≤10սլմ) | ＜0.02 ՄՊա | |
| 0,1~0,35ՄՊա (10սլմ＜Հոսք≤30սլմ) | (0,1-0,35) ՄՊա (（＞10սլմ) | (0,1-0,35) ՄՊա (（＞10սլմ) | |||||
| 0,2-0,45 ՄՊա (Հոսք) 30 սմ) | |||||||
| Առավելագույն գործառնական ճնշում | 0,45 ՄՊա | |||||
| Ջերմաստիճանը | Զրո:≤±0.05% FS/℃; | Զրո:≤±0.02% FS/℃;Ընդարձակություն՝≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Գործակից | Ընդարձակություն՝ ≤±0,1% FS/℃ (Հոսք≤30 սմ) | |||||
| Ընդարձակություն՝ ≤±0,2% FS/℃ (Հոսք> 30 սմ) | ||||||
| Ապացույց ճնշում | 3 ՄՊա (435 pisg) | |||||
| Զրոյական դրեյֆ | ＜0.6% FS տարեկան առանց autozero-ի | |||||
| Արտահոսքի ամբողջականություն | 1×10-9 atm·cc / վրկ Նա | 1×10-10atm·cc / վրկ Նա | ||||
| Թրջված նյութեր | Վիտոն; | Մետա՞լ (Չժանգոտվող պողպատ V/V, 5Ra) | Մետաղ | |||
| Մակերեւութային քիմիա | —— | Cr/Fe հարաբերակցությունը ＞2.0;CrO հաստությունը ＞ 20 Անգստրոմ | ||||
| Մակերեւույթի ավարտ | 25 Ռա | 10 Ռա | 25 Ռա | |||
| Գործողության ջերմաստիճանը | (5～45）℃ | (0,50）℃ | ||||
| Մուտքային ազդանշան | Թվային՝ RS485 կամ ProfiBus | N/A | Թվային՝ RS485 կամ ProfiBus կամ DeviceNetTM | N/A | Թվային՝ RS485 կամ ProfiBus կամ DeviceNetTM | N/A |
| կամ DeviceNetTM | Անալոգային: (0~5)VDC կամ (4~20)mA կամ (0~20)mA | Անալոգային՝ (0-5)VDC կամ (4-20)mA?կամ (0-20)mA | |||||
| Անալոգային: (0~5)VDC կամ (4~20)mA կամ (0~20)mA | |||||||
| Ելքային ազդանշան | Թվային՝ RS485 կամ DeviceNetTM կամ ProfiBus անալոգային՝ (0～5)VDC կամ (4～20)mA կամ (0～20)mA | ||||||
| Էլեկտրամատակարարում | ±8 ~ ± 16 VDC կամ +14 ~ +28 VDC (400 մԱ) | ||||||
| Էլեկտրոնային միակցիչ | 9 փին արական ենթադ, 15 փին արական ենթադ ，DeviceNetTM,ProfiBus, անալոգային | ||||||
| Կցամասեր | VCR1/4" M; VCO1/4" M； | VCR1/4" M; | |||||
| Կոմպրեսիոն Ֆ10; Կոմպրեսիոն Ֆ6; | Կոմպրեսիոն Ֆ6, | ||||||
| Կոմպրեսիոն տեղադրում 3/8”;Կոմպրեսիոն տեղադրում 1/4"; | Կոմպրեսիոն Ֆ3, | ||||||
| Կոմպրեսիոն տեղադրում 1/8»;Կոմպրեսիոն տեղադրումΦ3; | Կոմպրեսիոն տեղադրում 1/4"; | ||||||
| Ф6 (ներքին) × 1 ճկուն; ф5 (ներքին) × 1.5 ճկուն; | W-կնիքը, | ||||||
| A-sael ; | C-կնիք | ||||||
| Քաշը | 1կգ | 0,8 կգ | 1,2 կգ | 1կգ | 1,2 կգ | 1կգ | |
