Rialaitheoir Sreafa Aifrinn Méadar Sreafa Aifrinn CS200
Gnéithe
1. Cruinneas Ard agus Freagra Mear
Feabhsaíodh cruinneas an CS200 MFC go ± 1.0% de SP, agus tá am freagartha laghdaithe níos lú ná 0.8 sec ag na samhlacha is forbartha.
2. Íseal Zero Drift agus Comhéifeacht Teocht
Cuireann aireagán na teicneolaíochta braite nua ar chumas an CS200 MFC cobhsaíocht a choinneáil agus luaineachtaí teochta a sheasamh.Gan aimplitheoir uathoibríoch-nialas, is lú ná 0.6% FS / bliain an sruth nialasach ionchais, agus tá an chomhéifeacht teocht níos lú ná 0.02% FS / ℃ (nialas), 0.05% FS / ℃ (réise).
3. Múnlaí Miotail-Séalaithe agus Gné Ard-íonachta
Tá an cosán sreafa fliuchtaithe den líne CS200 MFC déanta as cruach dhosmálta dromchla-fhulangach.Cuirtear na MFCanna CS200 go léir le chéile i seomraí glana ultraclean Aicme 100 Sevenstar de réir caighdeáin SEMI agus ISO 9001 araon.
4. Comhéadain Comhoiriúnacha
Tá an CS200 MFC comhoiriúnach leis na comhéadain seo a leanas, a fhéadfaidh an custaiméir a roghnú: ± 8V-±16V soláthar cumhachta dé-deireadh agus +14V-+28V soláthar cumhachta aondeireadh;ionchur agus aschur comhartha digiteach nó analógach;Toisí meicniúla caighdeánacha SEMI;agus modúl cumarsáide RS-485 nó DeviceNet.
5. Feidhmeanna Ilghnéitheacha
Tagann bogearraí cumhachtacha custaiméirí caighdeánacha le gach múnla, agus tá feidhmeanna breise cosúil le il-ghás, il-raon, uath-nialas, aláraim, tosú bog, agus moill ar fáil mar roghanna custaiméirí.
Sonraíocht
| CS200 | |||||||
| Cineál | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Raon iomlán scála (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～ 1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Cruinneas | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| Líneacht | ±0.5% FS | ||||||
| Atrialltacht | ±0.2% FS | ||||||
| Am freagartha | ≤1 soicind | ≤0.8 soic (SEMI E17-0600) | |||||
| Seasamh Suaimhnis Comhla | De ghnáth Dúnta nó | Uimh comhla | De ghnáth Dúnta nó | Uimh comhla | De ghnáth Dúnta nó | Uimh comhla | |
| De ghnáth Oscailte （100 sccm≤FS≤5 slm） | De ghnáth Oscailte （100 sccm≤FS≤5 slm） | De ghnáth Oscailte （100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Brú Difreálach | 0.05～ 0.35MPa （Sreabhadh≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | ＜0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa（10slm＜Sreabhadh≤30slm） | (0.1～0.35) MPa（＞10slm） | (0.1～0.35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0.2 ～ 0.45MPa （Sreabhadh＞30slm） | |||||||
| Uasbhrú Oibriúcháin | 0.45MPa | |||||
| Teocht | Nialais: ≤ ± 0.05% FS / ℃; | Nialais: ≤ ± 0.02% FS / ℃;Réise: ≤ ± 0.05% FS / ℃ | ||||
| Comhéifeacht | Réise: ≤ ± 0.1% FS / ℃ （ Sreabhadh ≤30slm） | |||||
| Réise: ≤ ± 0.2% FS / ℃ （ Sreabhadh> 30slm） | ||||||
| Brú Cruthúnas | 3MPa (435pisg) | |||||
| Zero Sruth | ＜0.6%FS in aghaidh na bliana gan uath-zero | |||||
| Sláine sceite | 1×10-9 atm·cc / soic He | 1×10-10atm·cc/soic He | ||||
| Ábhair Wetted | Viton; | Miotal? (Cruach dhosmálta V / V, 5Ra) | Miotal | |||
| Ceimic Dromchla | —— | Cóimheas Cr/Fe ＞2.0;Tiús CrO ＞20 Angstroms | ||||
| Críochnaigh Dromchla | 25Rá | 10Rá | 25Rá | |||
| Teocht Oibríocht | （5～ 45） ℃ | （0～50） ℃ | ||||
| Comhartha Ionchuir | Digiteach: RS485 nó ProfiBus | N / A | Digiteach: RS485 nó ProfiBus nó DeviceNetTM | N / A | Digiteach: RS485 nó ProfiBus nó DeviceNetTM | N / A |
| nó DeviceNetTM | Analógach:(0～5)VDC nó (4～20)mA nó (0～20)mA | Analógach:(0～5)VDC nó (4～20)mA?nó (0～20)mA | |||||
| Analógach:(0～5)VDC nó (4～20)mA nó(0～20)mA | |||||||
| Comhartha Aschuir | Digiteach: RS485 nó DeviceNetTM nó ProfiBus Analóg:(0～5)VDC nó (4～20)mA nó (0～20)mA | ||||||
| Soláthar leictreachas | ±8 ~ ±16 VDC nó +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| Ceanglóir Leictreonach | 9 bioráin fireann fo-D ， 15 bioráin fireann fo-D ，DeviceNetTM,ProfiBus, Analógach | ||||||
| Feistis | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Feistiú Comhbhrú Φ 10; Feistiú Comhbhrú Φ 6； | Feistiú Comhbhrú Φ6, | ||||||
| Feistiú Comhbhrú 3/8”;Feistiú Comhbhrú 1/4”； | Feistiú Comhbhrú Φ3, | ||||||
| Feistiú Comhbhrú1/8”;Feistiú Comhbhrú Φ3； | Feistiú Comhbhrú1/4", | ||||||
| Ф6(istigh)×1hose;ф5(istigh)×1.5hose;ф4(istigh)×1hose; | Séala, | ||||||
| A-saeil; | C-róin | ||||||
| Meáchan | 1kg | 0.8kg | 1.2kg | 1kg | 1.2kg | 1kg | |
