Massavirtauksen ohjain Massavirtausmittari CS200
ominaisuudet
1. Suuri tarkkuus ja nopea vastaus
CS200 MFC:n tarkkuus on parannettu ±1,0 prosenttiin SP:stä, ja edistyneimmillä malleilla on lyhennetty vasteaika alle 0,8 sekunnissa.
2. Alhainen nollapoikkeama ja lämpötilakerroin
Uuden anturiteknologian ansiosta CS200 MFC säilyttää vakauden ja kestää lämpötilan vaihteluita.Ilman automaattisen nollausvahvistinta odotettu nollapoikkeama on alle 0,6 %FS/vuosi ja lämpötilakerroin alle 0,02 %FS/℃(nolla)，0,05%FS/℃ (väli).
3. Metallisuljetut mallit ja erittäin puhdas ominaisuus
CS200 MFC:n kostutettu virtausreitti on valmistettu pintapassivoidusta ruostumattomasta teräksestä.Kaikki CS200 MFC:t kootaan Sevenstarin ultraclean Class 100 -luokan puhdastiloihin sekä SEMI- että ISO 9001 -standardien mukaisesti.
4. Yhteensopivat käyttöliittymät
CS200 MFC on yhteensopiva seuraavien asiakkaan valitsemien liitäntöjen kanssa: ±8V-±16V kaksipään virtalähde ja +14V-+28V yksipään virtalähde;digitaalinen tai analoginen signaalin tulo ja lähtö;SEMI-standardin mekaaniset mitat;ja RS-485- tai DeviceNet-tietoliikennemoduuli.
5. Muut toiminnot
Tehokas asiakasohjelmisto on vakiona jokaisen mallin mukana, kun taas lisätoiminnot, kuten monikaasu, monialue, automaattinen nollaus, hälytykset, pehmeä käynnistys ja viive ovat saatavilla asiakkaan valinnat.
Erittely
| CS200 | |||||||
| Tyyppi | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Koko asteikon alue (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Tarkkuus | ±1,0 % SP (≥35 % FS) ±0,35 % FS? (＜35 % FS) | ||||||
| Lineaarisuus | ±0,5 % FS | ||||||
| Toistettavuus | ±0,2 % FS | ||||||
| Vasteaika | ≤1 s | ≤0,8 s (SEMI E17-0600) | |||||
| Venttiilin lepoasento | Normaalisti suljettu tai | Ei venttiiliä | Normaalisti suljettu tai | Ei venttiiliä | Normaalisti suljettu tai | Ei venttiiliä | |
| Normaalisti auki (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normaalisti auki (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normaalisti auki (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Paine-ero | 0,05～0,35 MPa (virtaus≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05～0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05～0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | |
| 0,1～0,35 MPa (10 slm＜ Virtaus ≤ 30 slm） | (0,1～0,35) MPa (＞10slm) | (0,1～0,35) MPa (＞10slm) | |||||
| 0,2～0,45 MPa (virtaus＞30slm) | |||||||
| Suurin käyttöpaine | 0,45 MPa | |||||
| Lämpötila | Nolla: ≤±0,05 % FS/℃; | Nolla: ≤±0,02 % FS/℃;Span: ≤±0,05 % FS/℃ | ||||
| Kerroin | Span: ≤±0,1 % FS/℃ (Virtaus≤30slm） | |||||
| Alue: ≤±0,2 % FS/℃ (virtaus>30 slm) | ||||||
| Todistuspaine | 3 MPa (435 pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜0,6 %FS vuodessa ilman automaattista nollausta | |||||
| Vuodon eheys | 1×10-9 atm·cc/s He | 1×10-10 atm·cc/s He | ||||
| Kostutetut materiaalit | Viton; | Metallia? (ruostumaton teräs V/V, 5Ra) | Metalli | |||
| Pintakemia | —— | Cr/Fe-suhde ＞2,0;CrO paksuus ＞ 20 Angströmiä | ||||
| Pinnan viimeistely | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Käyttölämpötila | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Tulosignaali | Digitaalinen: RS485 tai ProfiBus | Ei käytössä | Digitaalinen: RS485 tai ProfiBus tai DeviceNetTM | Ei käytössä | Digitaalinen: RS485 tai ProfiBus tai DeviceNetTM | Ei käytössä |
| tai DeviceNetTM | Analoginen: (0～5)VDC tai (4～20)mA tai (0～20)mA | Analoginen: (0～5)VDC tai (4～20)mA?tai (0～20)mA | |||||
| Analoginen:(0～5)VDC tai (4～20)mA tai(0～20)mA | |||||||
| Lähtösignaali | Digitaalinen: RS485 tai DeviceNetTM tai ProfiBus-analogi:(0～5)VDC tai (4～20)mA tai (0～20)mA | ||||||
| Virtalähde | ±8 ~ ±16 VDC tai +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Elektroninen liitin | 9-nastainen uros-sub-D, 15-nastainen uros-sub-D, DeviceNetTM，ProfiBus, analoginen | ||||||
| Liittimet | VCR1/4" M； VCO1/4" M； | VCR1/4” M; | |||||
| PuristusliitosΦ10; PuristusliitosΦ6； | PuristusliitosΦ6, | ||||||
| Puristusliitin 3/8";Puristusliitos 1/4"； | PuristusliitosΦ3, | ||||||
| Puristusliitos 1/8";PuristusliitosΦ3； | Puristusliitos 1/4" | ||||||
| Ф6 (sisä) × 1 letku;ф5 (sisä) × 1,5 letku; × 4 (sisä) × 1 letku; | W-sinetti, | ||||||
| A-sael ; | C-tiiviste | ||||||
| Paino | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
