Masės srauto reguliatorius Masės srauto matuoklis CS200
funkcijos
1. Didelis tikslumas ir greitas atsakymas
CS200 MFC tikslumas buvo pagerintas iki ±1,0% SP, o pažangiausių modelių reakcijos laikas yra mažesnis nei 0,8 sek.
2. Žemas nulinis dreifo ir temperatūros koeficientas
Naujos jutiklių technologijos išradimas leidžia CS200 MFC išlaikyti stabilumą ir atlaikyti temperatūros svyravimus.Be automatinio nulio nustatymo stiprintuvo, numatomas nulio poslinkis yra mažesnis nei 0,6 %FS per metus, o temperatūros koeficientas yra mažesnis nei 0,02 %FS/℃ (nulis)，0,05 %FS/ ℃ (tarpas).
3. Metalo sandarinimo modeliai ir didelio grynumo funkcija
CS200 MFC sudrėkintas srautas yra pagamintas iš paviršiumi pasyvuoto nerūdijančio plieno.Visi CS200 MFC surenkami Sevenstar itin švariose 100 klasės švariose patalpose pagal SEMI ir ISO 9001 standartus.
4. Suderinamos sąsajos
CS200 MFC suderinamas su šiomis sąsajomis, kurias gali pasirinkti klientas:±8V-±16V dviejų galų maitinimo šaltinis ir +14V-+28V vieno galo maitinimo šaltinis;skaitmeninio arba analoginio signalo įvestis ir išvestis;SEMI standartiniai mechaniniai matmenys;ir RS-485 arba DeviceNet ryšio modulis.
5. Įvairios funkcijos
Galinga klientų programinė įranga yra standartinė kiekviename modelyje, o papildomos funkcijos, pvz., kelių dujų, kelių diapazonų, automatinis nulis, pavojaus signalai, minkštas paleidimas ir delsa, galimos klientui pasirinkti.
Specifikacija
| CS200 | |||||||
| Tipas | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Visas skalės diapazonas (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Tikslumas | ±1,0 % SP (≥35 % FS) ±0,35 % FS? (＜35 % FS) | ||||||
| Tiesiškumas | ±0,5 % FS | ||||||
| Pakartojamumas | ±0,2 % FS | ||||||
| Atsakymo laikas | ≤1 sek | ≤0,8 sek (SEMI E17-0600) | |||||
| Vožtuvo poilsio padėtis | Paprastai uždarytas arba | Nėra vožtuvo | Paprastai uždarytas arba | Nėra vožtuvo | Paprastai uždarytas arba | Nėra vožtuvo | |
| Įprastai atidaryta (100 sccm≤FS≤5 slm) | Įprastai atidaryta (100 sccm≤FS≤5 slm) | Įprastai atidaryta (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Diferencinis slėgis | 0,05～0,35 MPa (srautas≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05～0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05～0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | |
| 0,1–0,35 MPa (10 slm, srautas≤ 30 slm) | (0,1–0,35) MPa (＞10 slm) | (0,1–0,35) MPa (＞10 slm) | |||||
| 0,2～0,45 MPa (srautas＞30slm) | |||||||
| Maksimalus darbinis slėgis | 0,45 MPa | |||||
| Temperatūra | Nulis:≤±0,05% FS/℃; | Nulis:≤±0,02% FS/℃;Atstumas: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Koeficientas | Atstumas: ≤±0,1% FS/℃ (srautas≤30slm) | |||||
| Atstumas: ≤±0,2% FS/℃ (Srauto>30slm) | ||||||
| Slėgio įrodymas | 3 MPa (435 pisg) | |||||
| Nulinis dreifas | ＜0,6% FS per metus be automatinio nulio | |||||
| Nuotėkio vientisumas | 1×10-9 atm·cc/s He | 1×10-10atm·cc/s He | ||||
| Sudrėkintos medžiagos | Vitonas; | Metalas? (Nerūdijantis plienas V/V, 5Ra) | Metalas | |||
| Paviršiaus chemija | —— | Cr/Fe santykis ＞2,0;CrO storis ＞20 angstremų | ||||
| Paviršiaus apdaila | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Veikimo temperatūra | (5～45）℃ | (0～50）℃ | ||||
| Įvesties signalas | Skaitmeninis: RS485 arba ProfiBus | N/A | Skaitmeninis: RS485 arba ProfiBus arba DeviceNetTM | N/A | Skaitmeninis: RS485 arba ProfiBus arba DeviceNetTM | N/A |
| arba DeviceNetTM | Analoginis: (0～5)VDC arba (4～20)mA arba (0～20)mA | Analoginis: (0～5)VDC arba (4～20)mA?arba (0～20)mA | |||||
| Analoginis: (0～5)VDC arba (4～20)mA arba (0～20)mA | |||||||
| Išvesties signalas | Skaitmeninis: RS485 arba DeviceNetTM arba ProfiBus Analoginis: (0～5)VDC arba (4～20)mA arba (0～20)mA | ||||||
| Maitinimo šaltinis | ±8 ~ ±16 VDC arba +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Elektroninė jungtis | 9 kontaktų vyriškas sub-D, 15 kontaktų vyriškas sub-D, DeviceNetTM，ProfiBus, Analoginis | ||||||
| Armatūra | VCR1/4" M； VCO1/4" M； | VCR1/4" M; | |||||
| Suspaudimo jungtisΦ10;Suspaudimo jungtisΦ6； | Suspaudimo jungtisΦ6, | ||||||
| Kompresinė jungtis 3/8";Suspaudimo jungtis 1/4"； | Suspaudimo jungtisΦ3, | ||||||
| Kompresinis tvirtinimas1/8";Suspaudimo jungtisΦ3； | Suspaudimo jungtis 1/4 ", | ||||||
| Ф6 (vidinė) × 1 žarna;ф5 (vidinė) × 1,5 žarna;ф4 (vidinė) × 1 žarna; | W-antspaudas, | ||||||
| A-sael ; | C formos sandariklis | ||||||
| Svoris | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
