Mass Flow Controller Mass Flow Meter CS200
Funktioner
1. Høj nøjagtighed og hurtig respons
Nøjagtigheden af CS200 MFC er blevet forbedret til ±1,0 % af SP, og de mest avancerede modeller har en reduceret responstid på mindre end 0,8 sek.
2. Lav nuldrift og temperaturkoefficient
Opfindelsen af ny sensorteknologi gør det muligt for CS200 MFC at bevare stabiliteten og modstå temperaturudsving.Uden en auto-nul forstærker er den forventede nuldrift mindre end 0,6%FS/år, og temperaturkoefficienten er mindre end 0,02%FS/℃(nul)，0,05%FS/℃ (span).
3. Metal-forseglede modeller og høj renhedsfunktion
CS200 MFC's våde strømningsvej er konstrueret af overfladepassiveret rustfrit stål.Alle CS200 MFC'er er samlet i Sevenstars ultrarene klasse 100-klasse renrum i overensstemmelse med både SEMI og ISO 9001 standarder.
4. Kompatible grænseflader
CS200 MFC er kompatibel med følgende grænseflader, som kan vælges af kunden: ±8V-±16V dobbelt-ende strømforsyning og +14V-+28V single-end strømforsyning;digitalt eller analogt signal input og output;SEMI standard mekaniske dimensioner;og RS-485 eller DeviceNet kommunikationsmodul.
5. Diverse funktioner
Kraftig kundesoftware leveres som standard med hver model, mens yderligere funktioner såsom multi-gas, multi-range, auto-nul, alarmer, blød start og forsinkelse er tilgængelige som kundevalg.
Specifikation
| CS200 | |||||||
| Type | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Fuld skalaområde (N2) | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Nøjagtighed | ±1,0 % SP (≥35 % FS) ±0,35 % FS?(＜35 % FS) | ||||||
| Linearitet | ±0,5 % FS | ||||||
| Gentagelighed | ±0,2 % FS | ||||||
| Responstid | ≤1 sek | ≤0,8 sek. (SEMI E17-0600) | |||||
| Ventil hvileposition | Normalt lukket eller | Ingen ventil | Normalt lukket eller | Ingen ventil | Normalt lukket eller | Ingen ventil | |
| Normalt åben（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normalt åben（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normalt åben（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Differenstryk | 0,05 ~ 0,35 MPa （Flow≤10slm） | ＜0,02 MPa | (0,05–0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | (0,05–0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | |
| 0,1–0,35 MPa（10slm＜Flow≤30slm） | (0,1–0,35) MPa（＞10slm） | (0,1–0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2–0,45 MPa (Flow＞30 slm) | |||||||
| Maksimalt driftstryk | 0,45 MPa | |||||
| Temperatur | Nul: ≤±0,05 % FS/℃; | Nul:≤±0,02% FS/℃;Spændvidde: ≤±0,05 % FS/℃ | ||||
| Koefficient | Spændvidde: ≤±0,1 % FS/℃（Flow≤30slm） | |||||
| Spændvidde: ≤±0,2 % FS/℃（Flow>30slm） | ||||||
| Bevistryk | 3 MPa (435 pisg) | |||||
| Nul afdrift | ＜0,6 %FS om året uden autonulstilling | |||||
| Lækageintegritet | 1×10-9 atm·cc/sek He | 1×10-10atm·cc/sek He | ||||
| Befugtede materialer | Viton; | Metal? (rustfrit stål V/V, 5Ra) | Metal | |||
| Overfladekemi | —— | Cr/Fe-forhold ＞2,0;CrO tykkelse ＞20 Ångstrøm | ||||
| Overfladebehandling | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Driftstemperatur | (5~45）℃ | (0~50）℃ | ||||
| Indgangssignal | Digital: RS485 eller ProfiBus | N/A | Digital: RS485 eller ProfiBus eller DeviceNetTM | N/A | Digital: RS485 eller ProfiBus eller DeviceNetTM | N/A |
| eller DeviceNetTM | Analog: (0~5)VDC eller (4~20)mA eller (0~20)mA | Analog: (0~5)VDC eller (4~20)mA?eller (0~20)mA | |||||
| Analog: (0~5)VDC eller (4~20)mA eller (0~20)mA | |||||||
| Udgangssignal | Digital: RS485 eller DeviceNetTM eller ProfiBus Analog:(0～5)VDC eller (4～20)mA eller (0～20)mA | ||||||
| Strømforsyning | ±8 ~ ±16 VDC eller +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Elektronisk stik | 9 ben han sub-D ，15 ben han sub-D ，DeviceNetTM,ProfiBus ，Analog | ||||||
| Beslag | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| KompressionsfittingΦ10;KompressionsfittingΦ6； | KompressionsfittingΦ6, | ||||||
| Kompressionsfitting 3/8”;Kompressionsfitting 1/4”; | KompressionsfittingΦ3, | ||||||
| Kompressionsfitting 1/8”;KompressionsfittingΦ3； | Kompressionsfitting 1/4”， | ||||||
| Ф6(indvendig)×1slange;ф5(indvendig)×1,5slange;ф4(indvendig)×1slange; | W-forsegling, | ||||||
| A-sael ; | C-forsegling | ||||||
| Vægt | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
