Wilujeng sumping di situs wéb kami!

Massa Aliran Controller Massa Aliran Méter CS200

Katerangan pondok:

CS200 MFCs kalawan sensor canggih tur téhnologi santunan hawa bisa ngahontal ± 1% SP akurasi sarta koefisien hawa low.Salaku tambahan, CS200 MFC sareng sistem kontrol canggih rata-rata waktos réspon 800ms pikeun sadaya parobihan set point, ngaminimalkeun kasalahan sistem dina prosésna.


Rincian produk

Tag produk

Fitur

1. Akurasi Tinggi sareng Respon Gancang

Katepatan tina CS200 MFC geus ningkat kana ± 1,0% tina SP, sarta model paling canggih boga ngurangan waktu respon kirang ti 0,8 detik.

2. Low Zero drift sarta Koefisién Suhu

Penemuan téknologi sénsor anyar ngamungkinkeun CS200 MFC pikeun ngajaga stabilitas sareng tahan fluctuations suhu.Tanpa panguat otomatis-enol, ekspektasi enol drift kirang ti 0.6% FS / taun, sareng koefisien hawa kirang ti 0.02% FS / ℃ (enol), 0.05% FS / ℃ (span).

3. Metal-disegel Modél jeung High Purity Feature

Jalur aliran wetted of-the-the-line CS200 MFC diwangun tina stainless steel permukaan-passivated.Sadaya MFC CS200 dirakit di kamar bersih kelas 100 kelas ultrabersih Sevenstar saluyu sareng standar SEMI sareng ISO 9001.

4. Interfaces cocog

CS200 MFC cocog sareng antarmuka di handap ieu, anu tiasa dipilih ku palanggan: ± 8V-± 16V catu daya tungtung ganda sareng + 14V-+28V catu daya tunggal-tungtung;input jeung output sinyal digital atawa analog;dimensi mékanis baku SEMI;jeung RS-485 atawa modul komunikasi DeviceNet.

5. Fungsi Rupa-rupa

Parangkat lunak palanggan anu kuat janten standar sareng unggal modél, sedengkeun fungsi tambahan sapertos multi-gas, multi-rentang, enol otomatis, alarm, mimiti lemes, sareng reureuh sayogi salaku pilihan palanggan.

Spésifikasi

CS200

Tipe

CS200A

CS200C

CS200D

Rentang skala pinuh (N2)

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

( 0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM

( 0~1,2,3,5,10,20,30)SLM

Akurasi

±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(<35% FS)

Linearitas

± 0,5% FS

Repeatability

± 0,2% FS

Waktu Tanggapan

≤1 detik

≤0,8 detik (SEMI E17-0600)

Posisi Rest klep

Biasana ditutup atanapi

Taya klep

Biasana ditutup atanapi

Taya klep

Biasana ditutup atanapi

Taya klep

Biasana Buka(100 sccm≤FS≤5 slm) Biasana Buka(100 sccm≤FS≤5 slm) Biasana Buka(100 sccm≤FS≤5 slm)

Tekanan diferensial

0.05~0.35MPa (Aliran ≤10slm)

<0.02MPa

(0.05~0.35) MPa(≤10slm)

<0.02MPa

(0.05~0.35) MPa(≤10slm)

<0.02MPa

0.1~0.35MPa(10slm<Aliran≤30slm)

(0.1~0.35) MPa((10slm)

(0.1~0.35) MPa((10slm)

0.2~0.45MPa(Aliran>30slm)

Tekanan Operasi Maksimum

0,45 MPa

Suhu

Nol: ≤ ± 0,05% FS / ℃;

Nol: ≤ ± 0,02% FS / ℃;Rentang: ≤ ± 0,05% FS / ℃

Koéfisién

Rentang: ≤±0.1% FS/℃(Aliran≤30slm)

Rentang: ≤±0.2% FS/℃(Aliran>30slm)

Tekanan Buktina

3MPa (435 pig)

Nol Drift

<0,6% FS per taun tanpa autozero

Integritas bocor

1 × 10-9 atm·cc / detik Anjeunna

1× 10-10atm·cc / detik Anjeunna

Bahan Dibasahan

Viton;

Logam? (Stainless Steel V/V, 5Ra)

logam

Kimia Permukaan

——

Babandingan Cr/Fe >2.0;Ketebalan CrO > 20 Angstrom

Surface Finish

25 Ra

10 Ra

25 Ra

Suhu Operasi

(5~45) ℃

(0~50) ℃

Sinyal Input

Digital: RS485 atanapi ProfiBus

N/A

Digital: RS485 atanapi ProfiBus atanapi DeviceNetTM

N/A

Digital: RS485 atanapi ProfiBus atanapi DeviceNetTM

N/A

atawa DeviceNetTM

Analog: (0~5)VDC atanapi (4~20)mA atanapi (0~20)mA

Analog: (0~5)VDC atanapi (4~20)mA?atanapi (0~20)mA

Analog: (0~5)VDC atanapi (4~20)mA atanapi (0~20)mA

Sinyal Kaluaran

Digital: RS485 atanapi DeviceNetTM atanapi ProfiBus Analog: (0~5)VDC atanapi (4~20)mA atanapi (0~20)mA

Sasayogian tanaga

± 8 ~ ± 16 VDC atawa +14 ~ +28 VDC(400mA)

Panyambung éléktronik

9 pin jalu sub-D ,15 pin jalu sub-D ,DeviceNetTM,ProfiBus, Analog

Kelengkapan

VCR1/4" M; VCO1/4" M;

VCR1/4” M;

Pamasangan KomprésiΦ10;Pasang KomprésiΦ6;

Komprési pasΦ6,

Komprési Pas 3/8";Komprési pas 1/4";

Pamasangan KomprésiΦ3,

Komprési Pas 1/8";Pamasangan KomprésiΦ3;

Komprési Pas 1/4 ",

Ф6(batin)×1selang;ф5(batin)×1.5selang;ф4(batin)×1selang;

W-segel,

A-saél ;

C-segel

Beurat

1 kg

0,8 kg

1,2 kg

1 kg

1,2 kg

1 kg

 

 

 

 

dajsdnj

  • saméméhna:
  • Teras:

  • Tulis pesen anjeun di dieu sareng kirimkeun ka kami