Velkommen til våre nettsider!

Massestrømkontroller Massestrømmåler CS200

Kort beskrivelse:

CS200 MFC-er med avansert sensor- og temperaturkompensasjonsteknologi kan oppnå ±1% SP-nøyaktighet og en lav temperaturkoeffisient.I tillegg har CS200 MFC-er med det avanserte kontrollsystemet en gjennomsnittlig responstid på 800 ms for alle settpunktsendringer, noe som minimerer eventuelle systemfeil i prosessen.


Produkt detalj

Produktetiketter

Egenskaper

1. Høy nøyaktighet og rask respons

Nøyaktigheten til CS200 MFC er forbedret til ±1,0 % av SP, og de mest avanserte modellene har en redusert responstid på mindre enn 0,8 sek.

2. Lav nulldrift og temperaturkoeffisient

Oppfinnelsen av ny sensorteknologi gjør det mulig for CS200 MFC å opprettholde stabilitet og tåle temperatursvingninger.Uten en auto-null forsterker er forventet nulldrift mindre enn 0,6 %FS/år, og temperaturkoeffisienten er mindre enn 0,02%FS/℃(null),0,05%FS/℃ (spennvidde).

3. Metallforseglede modeller og funksjon med høy renhet

Den fuktede strømningsbanen til CS200 MFC er konstruert av overflatepassivert rustfritt stål.Alle CS200 MFC-er er satt sammen i Sevenstars ultrarene klasse 100-klasse renrom i henhold til både SEMI og ISO 9001 standarder.

4. Kompatible grensesnitt

CS200 MFC er kompatibel med følgende grensesnitt, som kan velges av kunden: ±8V-±16V tosidig strømforsyning og +14V-+28V enkelsidig strømforsyning;digital eller analog signalinngang og utgang;SEMI standard mekaniske dimensjoner;og RS-485 eller DeviceNet kommunikasjonsmodul.

5. Diverse funksjoner

Kraftig kundeprogramvare leveres som standard med hver modell, mens tilleggsfunksjoner som multi-gass, multi-range, auto-null, alarmer, myk start og forsinkelse er tilgjengelige som kundevalg.

Spesifikasjon

CS200

Type

CS200A

CS200C

CS200D

Fullskalaområde (N2)

( 0–5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

( 0–2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

( 0–1,2,3,5,10,20,30,50)SLM

( 0–1,2,3,5,10,20,30)SLM

Nøyaktighet

±1,0 % SP (≥35 % FS) ±0,35 % FS?(<35 % FS)

Linearitet

±0,5 % FS

Repeterbarhet

±0,2 % FS

Responstid

≤1 sek

≤0,8 sek (SEMI E17-0600)

Ventilhvileposisjon

Normalt stengt eller

Ingen ventil

Normalt stengt eller

Ingen ventil

Normalt stengt eller

Ingen ventil

Normalt åpen(100 sccm≤FS≤5 slm) Normalt åpen(100 sccm≤FS≤5 slm) Normalt åpen(100 sccm≤FS≤5 slm)

Differensialtrykk

0,05–0,35 MPa (Flow≤10slm)

0,02 MPa

(0,05–0,35) MPa(≤10slm)

0,02 MPa

(0,05–0,35) MPa(≤10slm)

0,02 MPa

0,1–0,35 MPa(10slm<Flow≤30slm)

(0,1–0,35) MPa(>10slm)

(0,1–0,35) MPa(>10slm)

0,2–0,45 MPa (Flow>30slm)

Maksimalt driftstrykk

0,45 MPa

Temperatur

Null:≤±0,05 % FS/℃;

Null:≤±0,02 % FS/℃;Spennvidde: ≤±0,05 % FS/℃

Koeffisient

Spennvidde: ≤±0,1 % FS/℃(Flow≤30slm)

Spennvidde: ≤±0,2 % FS/℃(Flow>30slm)

Bevistrykk

3 MPa (435 pisg)

Null drift

0,6 %FS per år uten autonull

Lekkasjeintegritet

1×10-9 atm·cc/sek He

1×10-10atm·cc/sek He

Fukte materialer

Viton;

Metall? (rustfritt stål V/V, 5Ra)

Metall

Overflatekjemi

——

Cr/Fe-forhold -2,0;CrO-tykkelse >20 Ångstrøm

Overflatefinish

25Ra

10Ra

25Ra

Driftstemperatur

(5–45)℃

(0–50)℃

Inngangssignal

Digital: RS485 eller ProfiBus

N/A

Digital: RS485 eller ProfiBus eller DeviceNetTM

N/A

Digital: RS485 eller ProfiBus eller DeviceNetTM

N/A

eller DeviceNetTM

Analog:(0–5)VDC eller (4–20)mA eller (0–20)mA

Analog:(0–5)VDC eller (4–20)mA?eller (0–20)mA

Analog:(0–5)VDC eller (4–20)mA eller(0–20)mA

Utgangssignal

Digital: RS485 eller DeviceNetTM eller ProfiBus Analog:(0~5)VDC eller (4~20)mA eller (0~20)mA

Strømforsyning

±8 ~ ±16 VDC eller +14 ~ +28 VDC (400mA)

Elektronisk kontakt

9 pins hann sub-D ,15 pin hann sub-D ,DeviceNetTM,ProfiBus ,Analog

Beslag

VCR1/4" M; VCO1/4" M;

VCR1/4” M;

KompresjonstilpasningΦ10;KompresjonstilpasningΦ6;

KompresjonstilpasningΦ6,

Kompresjonsfitting 3/8”;Kompresjonstilpasning 1/4";

KompresjonstilpasningΦ3,

Kompresjonstilpasning 1/8”;KompresjonstilpasningΦ3;

Kompresjonstilpasning 1/4”,

Ф6(indre)×1slange;ф5(indre)×1,5slange;ф4(indre)×1slange;

W-forsegling,

A-sael ;

C-tetning

Vekt

1 kg

0,8 kg

1,2 kg

1 kg

1,2 kg

1 kg

 

 

 

 

dajsdnj

  • Tidligere:
  • Neste:

  • Skriv din melding her og send den til oss