Mass Flow Controller Mass Flow Meter CS200
အင်္ဂါရပ်များ
1. မြင့်မားသောတိကျမှုနှင့် မြန်ဆန်သောတုံ့ပြန်မှု
CS200 MFC ၏ တိကျမှုကို SP ၏ ±1.0% သို့ မြှင့်တင်ထားပြီး အဆင့်အမြင့်ဆုံး မော်ဒယ်များသည် တုံ့ပြန်ချိန်ကို 0.8 စက္ကန့်အောက် လျှော့ချထားသည်။
2. Low Zero Drift နှင့် Temperature Coefficient
အာရုံခံနည်းပညာအသစ်၏တီထွင်မှုသည် CS200 MFC ကိုတည်ငြိမ်မှုနှင့်အပူချိန်အတက်အကျများကိုခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။အော်တို-သုည အသံချဲ့စက်မပါဘဲ၊ မျှော်လင့်ထားသည့် သုညပျံ့လွင့်မှုသည် 0.6% FS/နှစ် ထက်နည်းပြီး၊ အပူချိန်ကိန်းဂဏန်းသည် 0.02%FS/℃(သုည)၊ 0.05%FS/℃ (span) ထက်နည်းပါသည်။
3. သတ္တုအလုံပိတ် မော်ဒယ်များနှင့် သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှု မြင့်မားသော အင်္ဂါရပ်များ
CS200 MFC ၏ စိုစွတ်သော စီးဆင်းလမ်းကြောင်းကို မျက်နှာပြင်- passivated stainless steel ဖြင့် တည်ဆောက်ထားသည်။CS200 MFC အားလုံးကို SEMI နှင့် ISO 9001 စံနှုန်းများနှင့်အညီ Sevenstar ၏ ultraclean Class 100 အတန်းအစား သန့်စင်ခန်းများတွင် စုစည်းထားသည်။
4. လိုက်ဖက်သော မျက်နှာပြင်များ
CS200 MFC သည် ဖောက်သည်မှရွေးချယ်နိုင်သည်- ±8V-±16V နှစ်ချက်ပါဝါထောက်ပံ့မှုနှင့် +14V-+28V တစ်ခုတည်း-အဆုံးပါဝါထောက်ပံ့မှု၊ဒစ်ဂျစ်တယ် သို့မဟုတ် အန်နာလော့အချက်ပြ အဝင်နှင့်အထွက်၊SEMI စံစက်မှုအတိုင်းအတာ;နှင့် RS-485 သို့မဟုတ် DeviceNet ဆက်သွယ်ရေး မော်ဂျူး။
5. အထွေထွေလုပ်ဆောင်ချက်များ
အစွမ်းထက်သော သုံးစွဲသူဆော့ဖ်ဝဲလ်သည် မော်ဒယ်တစ်ခုစီအတွက် စံနှုန်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး၊ ဓာတ်ငွေ့မျိုးစုံ၊ မျိုးစုံ၊ အလိုလို-သုည၊ နှိုးစက်များ၊ စတင်ခြင်းနှင့် နှောင့်နှေးခြင်းကဲ့သို့သော အပိုလုပ်ဆောင်ချက်များကို ဖောက်သည်ရွေးချယ်မှုအဖြစ် ရနိုင်ပါသည်။
သတ်မှတ်ချက်
| CS200 | |||||||
| ရိုက်ပါ။ | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| အတိုင်းအတာ အပိုင်းအခြား (N2) အပြည့်အစုံ | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| တိကျမှု | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| တစ်ပြေးညီ | ±0.5% FS | ||||||
| အထပ်ထပ် | ±0.2% FS | ||||||
| တုံ့ပြန်ချိန် | ≤1 စက္ကန့် | ≤0.8 စက္ကန့် (SEMI E17-0600) | |||||
| Valve Rest အနေအထား | သာမာန်ပိတ်သည် သို့မဟုတ် | Valve မရှိပါ။ | သာမာန်ပိတ်သည် သို့မဟုတ် | Valve မရှိပါ။ | သာမာန်ပိတ်သည် သို့မဟုတ် | Valve မရှိပါ။ | |
| ပုံမှန်ဖွင့်သည် (100 sccm≤FS≤5 slm) | ပုံမှန်ဖွင့်သည် (100 sccm≤FS≤5 slm) | ပုံမှန်ဖွင့်သည် (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| ကွဲပြားသောဖိအား | 0.05～0.35MPa (Flow≤10slm) | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | ＜0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa (10slm＜Flow≤30slm) | (0.1~0.35) MPa (＞10slm) | (0.1~0.35) MPa (＞10slm) | |||||
| 0.2 မှ 0.45MPa (Flow＞30slm) | |||||||
| အများဆုံးလည်ပတ်မှုဖိအား | 0.45MPa | |||||
| အပူချိန် | သုည-≤± 0.05% FS/℃; | သုည-≤±0.02% FS/℃;အတိုင်းအတာ- ≤± 0.05% FS/℃ | ||||
| ကိန်းဂဏန်း | အတိုင်းအတာ- ≤±0.1% FS/℃ (Flow≤30slm) | |||||
| အတိုင်းအတာ- ≤±0.2% FS/℃ (စီးဆင်းမှု>30slm) | ||||||
| သက်သေဖိအား | 3MPa (435pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜autozero မပါဘဲ တစ်နှစ်လျှင် 0.6%FS | |||||
| သမာဓိယိုစိမ့်ခြင်း။ | 1×10-9 atm·cc/sec He | 1×10-10atm·cc/sec He | ||||
| စိုစွတ်သောပစ္စည်းများ | Viton; | သတ္တု?(Stainless Steel V/V၊ 5Ra) | သတ္တု | |||
| မျက်နှာပြင်ဓာတုဗေဒ | —— | Cr/Fe အချိုး ＞2.0;CrO အထူ ＞20 Angstroms | ||||
| မျက်နှာပြင် အပြီးသတ် | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| လည်ပတ်မှုအပူချိန် | (5～45) ℃ | (0～50) ℃ | ||||
| Input Signal | ဒစ်ဂျစ်တယ်- RS485 သို့မဟုတ် ProfiBus | မရှိ | ဒစ်ဂျစ်တယ်- RS485 သို့မဟုတ် ProfiBus သို့မဟုတ် DeviceNetTM | မရှိ | ဒစ်ဂျစ်တယ်-RS485 သို့မဟုတ် ProfiBus သို့မဟုတ် DeviceNetTM | မရှိ |
| သို့မဟုတ် DeviceNetTM | အင်နာလော့ဂ်- (0～5)VDC သို့မဟုတ် (4~20)mA သို့မဟုတ် (0～20)mA | အင်နာလော့-(0～5)VDC သို့မဟုတ် (4~20)mA? သို့မဟုတ် (0～20)mA | |||||
| အင်နာလော့ဂ်- (0～5)VDC သို့မဟုတ် (4~20)mA သို့မဟုတ် (0～20)mA | |||||||
| Output Signal | ဒစ်ဂျစ်တယ်- RS485 သို့မဟုတ် DeviceNetTM သို့မဟုတ် ProfiBus အင်နာလော့-(0～5)VDC သို့မဟုတ် (4～20)mA သို့မဟုတ် (0～20)mA | ||||||
| လျှပ်စစ်ဓာတ်အားထုတ်ပေးသောကိရိယာ | ±8 ~ ±16 VDC သို့မဟုတ် +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| အီလက်ထရွန်းနစ် ချိတ်ဆက်ကိရိယာ | 9 pin အထီးခွဲ D ၊ 15 pin အထီးခွဲ D ၊ DeviceNetTM၊ProfiBus၊ အင်နာလော့ | ||||||
| အသုံးအဆောင်များ | VCR1/4" M； VCO1/4" M； | VCR1/4" M; | |||||
| Compression FittingΦ10; Compression FittingΦ6; | Compression FittingΦ6၊ | ||||||
| Compression Fitting 3/8";Compression Fitting 1/4"; | Compression FittingΦ3၊ | ||||||
| Compression Fitting 1/8";Compression Fitting Φ3； | Compression Fitting 1/4"၊ | ||||||
| Ф6(အတွင်း) × 1 ပိုက်; ф5 (အတွင်း) × 1.5 ပိုက်; ф4 (အတွင်း) × 1 ပိုက်; | W-တံဆိပ်၊ | ||||||
| A-sael ; | ဗိုက်တံ | ||||||
| အလေးချိန် | 1 ကီလိုဂရမ် | 0.8 ကီလိုဂရမ် | 1.2 ကီလိုဂရမ် | 1 ကီလိုဂရမ် | 1.2 ကီလိုဂရမ် | 1 ကီလိုဂရမ် | |
