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マスフローコントローラー マスフローメーター CS200

簡単な説明:

高度なセンサーおよび温度補償技術を備えた CS200 MFC は、±1% の SP 精度と低い温度係数を達成できます。さらに、高度な制御システムを備えた CS200 MFC は、すべての設定値変更に対して平均 800 ミリ秒の応答時間を実現し、プロセスにおけるシステム エラーを最小限に抑えます。


製品の詳細

製品タグ

特徴

1. 高精度・高速応答

CS200 MFC の精度は SP の ±1.0% に向上し、最新モデルでは応答時間が 0.8 秒未満に短縮されています。

2. 低いゼロドリフトと温度係数

新しいセンサー技術の発明により、CS200 MFC は安定性を維持し、温度変動に耐えることができます。オートゼロアンプなしの場合、予想されるゼロドリフトは0.6%FS/年未満、温度係数は0.02%FS/℃(ゼロ)、0.05%FS/℃(スパン)未満です。

3. 金属封止モデルと高純度の特長

ライン CS200 MFC の接液流路は、表面不動態化ステンレス鋼で構成されています。すべての CS200 MFC は、SEMI 規格と ISO 9001 規格の両方に従って、セブンスターの超クリーンなクラス 100 クラスのクリーンルームで組み立てられます。

4. 互換性のあるインターフェース

CS200 MFC は、顧客が選択できる次のインターフェイスと互換性があります。±8V ~ ±16V ダブルエンド電源および +14V ~ +28V シングルエンド電源。デジタルまたはアナログ信号の入出力。SEMI標準の機械寸法。RS-485 または DeviceNet 通信モジュール。

5. その他の機能

各モデルには強力な顧客ソフトウェアが標準装備されていますが、マルチガス、マルチレンジ、オートゼロ、アラーム、ソフトスタート、遅延などの追加機能も顧客の選択として利用できます。

仕様

CS200

タイプ

CS200A

CS200C

CS200D

フルスケールレンジ(N2)

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

( 0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM

( 0~1,2,3,5,10,20,30)SLM

正確さ

±1.0% SP (≧35% FS) ±0.35% FS?(<35% FS)

直線性

±0.5%FS

再現性

±0.2%FS

反応時間

≤1秒

≤0.8秒 (SEMI E17-0600)

バルブ休止位置

通常閉または

バルブなし

通常閉または

バルブなし

通常閉または

バルブなし

ノーマルオープン(100 sccm≦FS≦5 slm) ノーマルオープン(100 sccm≦FS≦5 slm) ノーマルオープン(100 sccm≦FS≦5 slm)

差圧

0.05~0.35MPa (流量≦10slm)

0.02MPa

(0.05~0.35)MPa(≦10slm)

0.02MPa

(0.05~0.35)MPa(≦10slm)

0.02MPa

0.1~0.35MPa(10slm<流量≦30slm)

(0.1~0.35)MPa(>10slm)

(0.1~0.35)MPa(>10slm)

0.2~0.45MPa (流量>30slm)

最高使用圧力

0.45MPa

温度

ゼロ:≤±0.05% FS/℃;

ゼロ:≤±0.02% FS/℃;スパン:≤±0.05% FS/℃

係数

スパン: ≤±0.1% FS/℃(流量≤30slm)

スパン: ≤±0.2% FS/℃(流量>30slm)

耐圧力

3MPa(435pisg)

ゼロドリフト

オートゼロなしで年間 0.6%FS

漏れの完全性

1×10-9atm・cc/秒 He

1×10-10atm・cc/秒 He

接液部材質

バイトン;

金属?(ステンレス鋼 V/V、5Ra)

金属

表面化学

——

Cr/Fe比>2.0;CrOの厚さ>20オングストローム

表面仕上げ

25Ra

10Ra

25Ra

動作温度

5~45)℃

0~50)℃

入力信号

デジタル: RS485 または ProfiBus

該当なし

デジタル: RS485 または ProfiBus または DeviceNetTM

該当なし

デジタル:RS485 または ProfiBus または DeviceNetTM

該当なし

またはDeviceNetTM

アナログ:(0~5)VDC または (4~20)mA または (0~20)mA

アナログ:(0~5)VDC または (4~20)mA? または (0~20)mA

アナログ:(0~5)VDC または (4~20)mA または (0~20)mA

出力信号

デジタル:RS485 または DeviceNetTM または ProfiBus アナログ:(0~5)VDC または (4~20)mA または (0~20)mA

電源

DC±8~±16VまたはDC+14~+28V(400mA)

電子コネクタ

9ピン オス サブD、15ピン オス サブD、DeviceNetTMプロフィバス、アナログ

継手

VCR1/4”M; VCO1/4”M;

VCR1/4インチM;

圧縮継手Φ10;圧縮継手Φ6;

コンプレッションフィッティングΦ6、

圧縮フィッティング 3/8 インチ。圧縮フィッティング1/4”;

コンプレッションフィッティングΦ3、

圧縮フィッティング1/8インチ;コンプレッションフィッティングΦ3;

圧縮フィッティング1/4”、

Φ6(インナー)×1ホース;Φ5(インナー)×1.5ホース;Φ4(インナー)×1ホース;

Wシール、

ア・サエル ;

Cシール

重さ

1kg

0.8kg

1.2kg

1kg

1.2kg

1kg

 

 

 

 

ダジスニ

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