ಮಾಸ್ ಫ್ಲೋ ಕಂಟ್ರೋಲರ್ ಮಾಸ್ ಫ್ಲೋ ಮೀಟರ್ CS200
ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು
1. ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ವೇಗದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ
CS200 MFC ಯ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಎಸ್‌ಪಿಯ ±1.0% ಗೆ ಸುಧಾರಿಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯಾಧುನಿಕ ಮಾದರಿಗಳು 0.8 ಸೆಕೆಂಡ್‌ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಸಮಯವನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ.
2. ಕಡಿಮೆ ಶೂನ್ಯ ಡ್ರಿಫ್ಟ್ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನ ಗುಣಾಂಕ
ಹೊಸ ಸಂವೇದಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಆವಿಷ್ಕಾರವು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನ ಏರಿಳಿತಗಳನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಲು CS200 MFC ಅನ್ನು ಶಕ್ತಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.ಸ್ವಯಂ-ಶೂನ್ಯ ಆಂಪ್ಲಿಫಯರ್ ಇಲ್ಲದೆ, ನಿರೀಕ್ಷಿತ ಶೂನ್ಯ ಡ್ರಿಫ್ಟ್ 0.6%FS/ವರ್ಷಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನ ಗುಣಾಂಕವು 0.02%FS/℃(ಶೂನ್ಯ) ，0.05%FS/ ℃ (span) ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಿರುತ್ತದೆ.
3. ಮೆಟಲ್-ಸೀಲ್ಡ್ ಮಾಡೆಲ್ಸ್ ಮತ್ತು ಹೈ ಪ್ಯೂರಿಟಿ ಫೀಚರ್
CS200 MFC ಯ ಒದ್ದೆಯಾದ ಹರಿವಿನ ಮಾರ್ಗವನ್ನು ಮೇಲ್ಮೈ-ನಿಷ್ಕ್ರಿಯವಾದ ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್‌ನಿಂದ ನಿರ್ಮಿಸಲಾಗಿದೆ.ಎಲ್ಲಾ CS200 MFCಗಳನ್ನು ಸೆವೆನ್‌ಸ್ಟಾರ್‌ನ ಅಲ್ಟ್ರಾಕ್ಲೀನ್ ಕ್ಲಾಸ್ 100-ಕ್ಲಾಸ್ ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ಗಳಲ್ಲಿ SEMI ಮತ್ತು ISO 9001 ಮಾನದಂಡಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಜೋಡಿಸಲಾಗಿದೆ.
4. ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ಗಳು
CS200 MFC ಕೆಳಗಿನ ಇಂಟರ್‌ಫೇಸ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಗ್ರಾಹಕರು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬಹುದು: ±8V-±16V ಡಬಲ್-ಎಂಡ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು ಮತ್ತು +14V-+28V ಸಿಂಗಲ್-ಎಂಡ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು;ಡಿಜಿಟಲ್ ಅಥವಾ ಅನಲಾಗ್ ಸಿಗ್ನಲ್ ಇನ್ಪುಟ್ ಮತ್ತು ಔಟ್ಪುಟ್;SEMI ಪ್ರಮಾಣಿತ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಆಯಾಮಗಳು;ಮತ್ತು RS-485 ಅಥವಾ DeviceNet ಸಂವಹನ ಮಾಡ್ಯೂಲ್.
5. ವಿವಿಧ ಕಾರ್ಯಗಳು
ಪ್ರಬಲ ಗ್ರಾಹಕ ಸಾಫ್ಟ್‌ವೇರ್ ಪ್ರತಿ ಮಾದರಿಯೊಂದಿಗೆ ಪ್ರಮಾಣಿತವಾಗಿ ಬರುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಬಹು-ಅನಿಲ, ಬಹು-ಶ್ರೇಣಿ, ಸ್ವಯಂ-ಶೂನ್ಯ, ಅಲಾರಮ್‌ಗಳು, ಸಾಫ್ಟ್ ಸ್ಟಾರ್ಟ್ ಮತ್ತು ವಿಳಂಬದಂತಹ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಕಾರ್ಯಗಳು ಗ್ರಾಹಕರ ಆಯ್ಕೆಗಳಾಗಿ ಲಭ್ಯವಿದೆ.
ನಿರ್ದಿಷ್ಟತೆ
| CS200 | |||||||
| ಮಾದರಿ | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| ಪೂರ್ಣ ಪ್ರಮಾಣದ ಶ್ರೇಣಿ (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| ನಿಖರತೆ | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| ಲೀನಿಯರಿಟಿ | ±0.5% FS | ||||||
| ಪುನರಾವರ್ತನೆ | ± 0.2% FS | ||||||
| ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಸಮಯ | ≤1 ಸೆಕೆಂಡ್ | ≤0.8 ಸೆಕೆಂಡ್ (SEMI E17-0600) | |||||
| ವಾಲ್ವ್ ರೆಸ್ಟ್ ಪೊಸಿಷನ್ | ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಮುಚ್ಚಲಾಗಿದೆ ಅಥವಾ | ವಾಲ್ವ್ ಇಲ್ಲ | ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಮುಚ್ಚಲಾಗಿದೆ ಅಥವಾ | ವಾಲ್ವ್ ಇಲ್ಲ | ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಮುಚ್ಚಲಾಗಿದೆ ಅಥವಾ | ವಾಲ್ವ್ ಇಲ್ಲ | |
| ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ತೆರೆಯಿರಿ (100 sccm≤FS≤5 slm) | ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ತೆರೆಯಿರಿ (100 sccm≤FS≤5 slm) | ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ತೆರೆಯಿರಿ (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| ಭೇದಾತ್ಮಕ ಒತ್ತಡ | 0.05～0.35MPa (ಹರಿವು≤10slm) | ಜಿ0.02MPa | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | ಜಿ0.02MPa | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | ಜಿ0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa (10slm) ಫ್ಲೋ≤30slm | (0.1～0.35) MPa (＞10slm) | (0.1～0.35) MPa (＞10slm) | |||||
| 0.2～0.45MPa (ಹರಿವು：30slm) | |||||||
| ಗರಿಷ್ಠ ಆಪರೇಟಿಂಗ್ ಒತ್ತಡ | 0.45MPa | |||||
| ತಾಪಮಾನ | ಶೂನ್ಯ:≤±0.05% FS/℃; | ಶೂನ್ಯ:≤±0.02% FS/℃;ಸ್ಪ್ಯಾನ್:≤±0.05% FS/℃ | ||||
| ಗುಣಾಂಕ | ಸ್ಪ್ಯಾನ್: ≤±0.1% FS/℃(ಫ್ಲೋ≤30slm) | |||||
| ಸ್ಪ್ಯಾನ್: ≤±0.2% FS/℃(ಫ್ಲೋ>30slm) | ||||||
| ಪ್ರೂಫ್ ಪ್ರೆಶರ್ | 3MPa (435pisg) | |||||
| ಶೂನ್ಯ ಡ್ರಿಫ್ಟ್ | ಜಿಆಟೋಜೆರೊ ಇಲ್ಲದೆ ವರ್ಷಕ್ಕೆ 0.6% FS | |||||
| ಸೋರಿಕೆ ಸಮಗ್ರತೆ | 1×10-9 atm·cc / ಸೆಕೆಂಡು He | 1×10-10atm·cc / ಸೆಕೆಂಡು He | ||||
| ತೇವಗೊಳಿಸಿದ ವಸ್ತುಗಳು | ವಿಟಾನ್; | ಲೋಹ?(ಸ್ಟೇನ್‌ಲೆಸ್ ಸ್ಟೀಲ್ V/V, 5Ra) | ಲೋಹದ | |||
| ಮೇಲ್ಮೈ ರಸಾಯನಶಾಸ್ತ್ರ | —— | Cr/Fe ಅನುಪಾತ ＞2.0;CrO ದಪ್ಪ 20 ಆಂಗ್‌ಸ್ಟ್ರೋಮ್‌ಗಳು | ||||
| ಮೇಲ್ಪದರ ಗುಣಮಟ್ಟ | 25ರಾ | 10ರಾ | 25ರಾ | |||
| ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ತಾಪಮಾನ | (5-45)℃ | (0～50)℃ | ||||
| ಇನ್ಪುಟ್ ಸಿಗ್ನಲ್ | ಡಿಜಿಟಲ್: RS485 ಅಥವಾ ProfiBus | ಎನ್ / ಎ | ಡಿಜಿಟಲ್: RS485 ಅಥವಾ ProfiBus ಅಥವಾ DeviceNetTM | ಎನ್ / ಎ | ಡಿಜಿಟಲ್:RS485 ಅಥವಾ ProfiBus ಅಥವಾ DeviceNetTM | ಎನ್ / ಎ |
| ಅಥವಾ DeviceNetTM | ಅನಲಾಗ್:(0～5)VDC ಅಥವಾ (4～20)mA ಅಥವಾ (0～20)mA | ಅನಲಾಗ್:(0～5)VDC ಅಥವಾ (4～20)mA?ಅಥವಾ (0～20)mA | |||||
| ಅನಲಾಗ್:(0～5)VDC ಅಥವಾ (4～20)mA ಅಥವಾ(0～20)mA | |||||||
| ಔಟ್ಪುಟ್ ಸಿಗ್ನಲ್ | ಡಿಜಿಟಲ್: RS485 ಅಥವಾ DeviceNetTM ಅಥವಾ ProfiBus ಅನಲಾಗ್:(0～5)VDC ಅಥವಾ (4～20)mA ಅಥವಾ (0～20)mA | ||||||
| ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು | ±8 ~ ±16 VDC ಅಥವಾ +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಕನೆಕ್ಟರ್ | 9 ಪಿನ್ ಪುರುಷ ಉಪ-D ，15 ಪಿನ್ ಪುರುಷ ಉಪ-D ，DeviceNetTM,ProfiBus, ಅನಲಾಗ್ | ||||||
| ಫಿಟ್ಟಿಂಗ್ಗಳು | VCR1/4" M; VCO1/4" M; | VCR1/4" M; | |||||
| ಕಂಪ್ರೆಷನ್ ಫಿಟ್ಟಿಂಗ್Φ10; ಕಂಪ್ರೆಷನ್ ಫಿಟ್ಟಿಂಗ್Φ6; | ಕಂಪ್ರೆಷನ್ ಫಿಟ್ಟಿಂಗ್Φ6, | ||||||
| ಕಂಪ್ರೆಷನ್ ಫಿಟ್ಟಿಂಗ್ 3/8";ಕಂಪ್ರೆಷನ್ ಫಿಟ್ಟಿಂಗ್ 1/4"; | ಕಂಪ್ರೆಷನ್ ಫಿಟ್ಟಿಂಗ್Φ3, | ||||||
| ಕಂಪ್ರೆಷನ್ ಫಿಟ್ಟಿಂಗ್ 1/8";ಕಂಪ್ರೆಷನ್ ಫಿಟ್ಟಿಂಗ್Φ3; | ಕಂಪ್ರೆಷನ್ ಫಿಟ್ಟಿಂಗ್ 1/4", | ||||||
| Ф6(ಒಳ)×1ಹೊಸ್;ф5(ಒಳ)×1.5ಹೊಸ್;ф4(ಒಳ)×1ಹೊಸ್; | W-ಸೀಲ್, | ||||||
| ಎ-ಸೇಲ್; | ಸಿ-ಸೀಲ್ | ||||||
| ತೂಕ | 1 ಕೆ.ಜಿ | 0.8 ಕೆ.ಜಿ | 1.2 ಕೆ.ಜಿ | 1 ಕೆ.ಜಿ | 1.2 ಕೆ.ಜಿ | 1 ಕೆ.ಜಿ | |
