ಥರ್ಮಲ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಮಾಸ್ ಫ್ಲೋ ಕಂಟ್ರೋಲರ್ (MFC)
ದಿrmಪಾಚಿmಕತ್ತೆfಕಡಿಮೆmeter(MFM) isakindoಫ್ಯಾಕ್ಯುರಾtemeಆಸುremಎಂಟೋಫ್gasflow,the meಆಸುredvalಉಸೇರೆnಓಟ್ಕಾನ್trolledbyfಅದೃಷ್ಟtuatioಎನ್ಸಿನ್ತಾತ್ಕಾಲಿಕಪೆರಾtureorpressಉರೇ, ಅಗತ್ಯವಿಲ್ಲtಹೆಕ್ompensationoftಎಂಪಿratಯುರೆandpressure.
| ಮಾದರಿ | SQC-100 |
| ಹರಿವಿನ ಶ್ರೇಣಿಗಳು (N2) | 0～5,10,20,30,50,100,200,500ಎಸ್‌ಸಿಸಿಎಂ |
| 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| ನಿಖರತೆ | ±1％FS(≤15SLM);±2％FS(＞15SLM) |
| ವಾಲ್ವ್ ಡ್ರೈವ್ ಪ್ರಕಾರ | ಸಾಮಾನ್ಯ ಮುಚ್ಚಲಾಗಿದೆ |
| ಲೀನಿಯರಿಟಿ | ±1％FS(≤15SLM);±2％FS(＞15SLM) |
| ಪುನರಾವರ್ತನೆ | ±0.2％FS |
| ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಸಮಯ | ≤1 ಸೆಕೆಂಡ್ |
| ಇನ್ಪುಟ್/ಔಟ್ಪುಟ್ ಸಿಗ್ನಲ್ | 0～5V |
| ಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಜಾಯಿಂಟ್ | DB15 ಪಿನ್ (ಸೂಜಿ) |
| ಆಪರೇಷನ್ ಟೆಮ್. | 5-45℃ |
| ಡಿಫರೆನ್ಷಿಯಲ್ ಪ್ರಿ. | 0.05～0.5MPa (MFC) 0.03～3.0MPa (MFM) |
| ಸೋರಿಕೆ ಪ್ರಮಾಣ | 1×10-8SCCS (ಅವನು) |
| ಗರಿಷ್ಠಒತ್ತಡ | 3MPa |
| ಮಧ್ಯಮ ವಸ್ತು | 316L SS ಮತ್ತು ಸೀಲಿಂಗ್ ವಸ್ತು |
| ಸೀಲಿಂಗ್ ವಸ್ತು | ವಿಟಾನ್, ಸಿಲಿಕೋನ್ ರಬ್ಬರ್, NBR, ಟೆಫ್ಲಾನ್, ಮೆಟಲ್ ಸೀಲ್. |
| ಜಂಟಿ ಗಾತ್ರ | VCR 1/4";ಸ್ವಗೆಲೋಕ್ 1/8", 1/4";φ3, φ6mm |
| ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು | +15V,50mA;-15V,200mA |
| ಮಾದರಿ | SQC-200 |
| ಹರಿವಿನ ಶ್ರೇಣಿಗಳು (N2) | MFC: 0～20,30,50,100,150,200SLM |
| ಎಮ್ಎಫ್ಎಮ್ | |
| ನಿಖರತೆ | ±2％FS |
| ವಾಲ್ವ್ ಡ್ರೈವ್ ಪ್ರಕಾರ | ಸಾಮಾನ್ಯ ಮುಚ್ಚಲಾಗಿದೆ |
| ಲೀನಿಯರಿಟಿ | ±2％FS |
| ಪುನರಾವರ್ತನೆ | ±0.2％FS |
| ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಸಮಯ | ≤5 ಸೆ |
| ಇನ್ಪುಟ್/ಔಟ್ಪುಟ್ ಸಿಗ್ನಲ್ | 1～5V;4～20mA |
| ಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಜಾಯಿಂಟ್ | DB15 ಪಿನ್ (ಸೂಜಿ) |
| ಆಪರೇಷನ್ ಟೆಮ್. | 5-45℃ |
| ಡಿಫರೆನ್ಷಿಯಲ್ ಪ್ರಿ. | 0.1～0.3MPa (MFC) ； 0.05～3.0MPa (MFM) |
| ಸೋರಿಕೆ ಪ್ರಮಾಣ | 1×10-8SCCS (ಅವನು) |
| ಗರಿಷ್ಠಒತ್ತಡ | 3MPa |
| ಮಧ್ಯಮ ವಸ್ತು | 316L SS ಮತ್ತು ಸೀಲಿಂಗ್ ವಸ್ತು |
| ಸೀಲಿಂಗ್ ವಸ್ತು | ವಿಟಾನ್, ಸಿಲಿಕೋನ್ ರಬ್ಬರ್, NBR, ERP, ಟೆಫ್ಲಾನ್ |
| ಜಂಟಿ ಗಾತ್ರ | ಸ್ವಾಗೆಲೋಕ್ 3/8” 、1/2” φ8,φ10,φ12mm |
| ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು | 24V,0.5A |
ನಿಮ್ಮ ಸಂದೇಶವನ್ನು ಇಲ್ಲಿ ಬರೆಯಿರಿ ಮತ್ತು ಅದನ್ನು ನಮಗೆ ಕಳುಹಿಸಿ
