Regulátor hmotnostného prietoku Merač hmotnostného prietoku CS200
Vlastnosti
1. Vysoká presnosť a rýchla odozva
Presnosť CS200 MFC bola vylepšená na ±1,0 % SP a najpokročilejšie modely majú skrátenú dobu odozvy na menej ako 0,8 s.
2. Nízky nulový drift a teplotný koeficient
Vynález novej senzorovej technológie umožňuje CS200 MFC udržiavať stabilitu a odolávať teplotným výkyvom.Bez zosilňovača s automatickou nulou je očakávaný posun nuly menší ako 0,6 % FS/rok a teplotný koeficient je menší ako 0,02 % FS/℃ (nula), 0,05 % FS/ ℃ (rozpätie).
3. Kovovo zapečatené modely a funkcia vysokej čistoty
Vlhčená dráha toku modelovej rady CS200 MFC je vyrobená z povrchovo pasivovanej nehrdzavejúcej ocele.Všetky CS200 MFC sú zostavené v ultračistých čistých priestoroch triedy 100 od spoločnosti Sevenstar v súlade s normami SEMI a ISO 9001.
4. Kompatibilné rozhrania
CS200 MFC je kompatibilný s nasledujúcimi rozhraniami, ktoré si môže vybrať zákazník: ±8V-±16V obojstranný napájací zdroj a +14V-+28V jednostranný napájací zdroj;digitálny alebo analógový vstup a výstup signálu;SEMI štandardné mechanické rozmery;a komunikačný modul RS-485 alebo DeviceNet.
5. Rôzne funkcie
Výkonný zákaznícky softvér je štandardne dodávaný s každým modelom, zatiaľ čo podľa výberu zákazníka sú k dispozícii ďalšie funkcie, ako je viacplyn, viacnásobný rozsah, automatické nulovanie, alarmy, mäkký štart a oneskorenie.
Špecifikácia
| CS200 | |||||||
| Typ | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Celý rozsah stupnice (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Presnosť | ±1,0 % SP (≥35 % FS) ±0,35 % FS? (＜35 % FS) | ||||||
| Linearita | ±0,5 % FS | ||||||
| Opakovateľnosť | ±0,2 % FS | ||||||
| Doba odozvy | ≤ 1 sek | ≤0,8 s (SEMI E17-0600) | |||||
| Opierka ventilu | Normálne zatvorené resp | Žiadny ventil | Normálne zatvorené resp | Žiadny ventil | Normálne zatvorené resp | Žiadny ventil | |
| Normálne otvorené（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normálne otvorené（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normálne otvorené（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Diferenčný tlak | 0,05 až 0,35 MPa (prietok ≤ 10 slm) | ＜0,02 MPa | (0,05–0,35) MPaＤ10slm） | ＜0,02 MPa | (0,05–0,35) MPaＤ10slm） | ＜0,02 MPa | |
| 0,1 až 0,35 MPa (10 SLm ＜ Prietok ≤ 30 SLm) | (0,1–0,35) MPa＞10slm） | (0,1–0,35) MPa＞10slm） | |||||
| 0,2–0,45 MPa （Prietok＞30slm） | |||||||
| Maximálny prevádzkový tlak | 0,45 MPa | |||||
| Teplota | Nula: ≤ ± 0,05 % FS/℃; | Nula: ≤ ± 0,02 % FS/℃;Rozsah: ≤ ± 0,05 % FS/℃ | ||||
| Koeficient | Rozpätie: ≤ ± 0,1 % FS/℃ (prietok ≤ 30 slm) | |||||
| Rozpätie: ≤±0,2% FS/℃（Prietok>30slm） | ||||||
| Dôkazný tlak | 3 MPa (435 pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜0,6 % FS ročne bez automatického nulovania | |||||
| Únik integrity | 1×10-9 atm·cc/s He | 1×10-10atm·cc/s He | ||||
| Vlhčené materiály | Viton; | Kov? (Nerezová oceľ V/V, 5Ra) | Kovové | |||
| Povrchová chémia | —— | pomer Cr/Fe ＞2,0;Hrúbka CrO ＞20 Angstromov | ||||
| Povrchová úprava | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Prevádzková teplota | (5～45）℃ | (0～50）℃ | ||||
| Vstupný signál | Digitálne: RS485 alebo ProfiBus | N/A | Digitálne: RS485 alebo ProfiBus alebo DeviceNetTM | N/A | Digitálne: RS485 alebo ProfiBus alebo DeviceNetTM | N/A |
| alebo DeviceNetTM | Analógové: (0～5)VDC alebo (4～20)mA alebo (0～20)mA | Analógové: (0～5)VDC alebo (4～20)mA?alebo (0～20)mA | |||||
| Analógové: (0–5) VDC alebo (4–20) mA alebo (0–20) mA | |||||||
| Výstupný signál | Digitálne: RS485 alebo DeviceNetTM alebo ProfiBus Analógové: (0～5)VDC alebo (4～20)mA alebo (0～20)mA | ||||||
| Zdroj | ±8 ~ ±16 V DC alebo +14 ~ +28 V DC (400 mA) | ||||||
| Elektronický konektor | 9-kolíkový samec sub-D ，15 kolíkový samec sub-D ，DeviceNetTM,ProfiBus, analógový | ||||||
| Kovanie | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Kompresná armatúraΦ10; Kompresná armatúraΦ6； | Kompresná armatúraΦ6, | ||||||
| Kompresná armatúra 3/8”;Kompresná armatúra 1/4”； | Kompresná armatúraΦ3, | ||||||
| Kompresná armatúra 1/8”;Kompresná armatúraΦ3； | Kompresná armatúra 1/4”, | ||||||
| Ф6(vnútorná)×1hadica;ф5(vnútorná)×1,5hadica;ф4(vnútorná)×1hadica; | W-tesnenie, | ||||||
| A-sael ; | C-tesnenie | ||||||
| Hmotnosť | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
