Massivoolu kontroller Massivoolumõõtur CS200
Funktsioonid
1. Suur täpsus ja kiire reageerimine
CS200 MFC täpsust on parandatud ±1,0% SP-st ja kõige arenenumatel mudelitel on vähendatud reaktsiooniaeg alla 0,8 sekundi.
2. Madal nulli triivi ja temperatuuri koefitsient
Uue anduritehnoloogia leiutamine võimaldab CS200 MFC-l säilitada stabiilsust ja taluda temperatuurikõikumisi.Ilma automaatse nulliga võimendita on eeldatav nulli triiv väiksem kui 0,6%FS/aastas ja temperatuurikoefitsient alla 0,02%FS/℃(null)，0,05%FS/℃ (vahemik).
3. Metallist suletud mudelid ja kõrge puhtusastmega funktsioon
CS200 MFC märjaks saanud voolutee on valmistatud pinnaga passiveeritud roostevabast terasest.Kõik CS200 MFC-d on kokku pandud Sevenstari ülipuhtates 100. klassi puhasruumides vastavalt nii SEMI kui ka ISO 9001 standarditele.
4. Ühilduvad liidesed
CS200 MFC ühildub järgmiste liidestega, mida klient saab valida:±8V-±16V kaheotsaline toiteallikas ja +14V-+28V üheotsaline toiteallikas;digitaal- või analoogsignaali sisend ja väljund;SEMI standardsed mehaanilised mõõtmed;ja RS-485 või DeviceNeti sidemoodul.
5. Mitmesugused funktsioonid
Võimas klienditarkvara on iga mudeli standardvarustuses, samas kui lisafunktsioonid, nagu mitme gaasi, mitme vahemiku, automaatne nullimine, alarmid, pehme käivitus ja viivitus, on saadaval kliendi valikuna.
Spetsifikatsioon
| CS200 | |||||||
| Tüüp | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Täisskaala ulatus (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Täpsus | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS? (＜35% FS) | ||||||
| Lineaarsus | ±0,5% FS | ||||||
| Korratavus | ±0,2% FS | ||||||
| Reaktsiooniaeg | ≤1 s | ≤0,8 sek (SEMI E17-0600) | |||||
| Klapi puhkeasend | Tavaliselt suletud või | Ventiil puudub | Tavaliselt suletud või | Ventiil puudub | Tavaliselt suletud või | Ventiil puudub | |
| Tavaliselt avatud (100 sccm≤FS≤5 slm) | Tavaliselt avatud (100 sccm≤FS≤5 slm) | Tavaliselt avatud (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Diferentsiaalne rõhk | 0,05～0,35 MPa (Voolus≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05～0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05～0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | |
| 0,1–0,35 MPa (10 slm, vooluhulk≤ 30 slm) | (0,1～0,35) MPa (＞10slm) | (0,1～0,35) MPa (＞10slm) | |||||
| 0,2～0,45 MPa (vool＞30slm) | |||||||
| Maksimaalne töörõhk | 0,45 MPa | |||||
| Temperatuur | Null:≤±0,05% FS/℃; | Null:≤±0,02% FS/℃;Laiusulatus:≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Koefitsient | Laiusulatus: ≤±0,1% FS/℃ (Voolus≤30slm) | |||||
| Laiusulatus: ≤±0,2% FS/℃ (Voolus>30 slm) | ||||||
| Tõestusrõhk | 3 MPa (435 pisg) | |||||
| Nulltriiv | ＜0,6%FS aastas ilma automaatse nullita | |||||
| Lekke terviklikkus | 1×10-9 atm·cc/s He | 1×10-10 atm·cc/s He | ||||
| Niisutatud materjalid | Viton; | Metall? (roostevaba teras V/V, 5Ra) | Metallist | |||
| Pinna keemia | —— | Cr/Fe suhe ＞2,0;CrO paksus ＞20 angströmi | ||||
| Pinna viimistlus | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Töötemperatuur | (5～45）℃ | (0～50）℃ | ||||
| Sisendsignaal | Digitaalne: RS485 või ProfiBus | Ei kehti | Digitaalne: RS485 või ProfiBus või DeviceNetTM | Ei kehti | Digitaalne: RS485 või ProfiBus või DeviceNetTM | Ei kehti |
| või DeviceNetTM | Analoog: (0～5)VDC või (4～20)mA või (0～20)mA | Analoog: (0～5)VDC või (4～20)mA või (0～20)mA | |||||
| Analoog: (0～5)VDC või (4～20)mA või (0～20)mA | |||||||
| Väljundsignaal | Digitaalne: RS485 või DeviceNetTM või ProfiBusi analoog: (0～5)VDC või (4～20)mA või (0～20)mA | ||||||
| Toiteallikas | ±8 ~ ±16 VDC või +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Elektrooniline pistik | 9 kontaktiga isane alam-D, 15 kontaktiga isane alam-D, DeviceNetTM，ProfiBus, Analoog | ||||||
| Liitmikud | VCR1/4" M； VCO1/4" M； | VCR1/4” M; | |||||
| SurveliitmikΦ10;TihutusliitmikΦ6； | surveliitmikΦ6, | ||||||
| Compression Fitting 3/8”;Kompressioonliitmik 1/4"； | surveliitmikΦ3, | ||||||
| Compression Fitting1/8”;KompressioonliitmikΦ3； | Kompressioonliitmik 1/4" | ||||||
| Ф6 (sisemine) × 1 voolik;ф5 (sisemine) × 1,5 voolik; ф4 (sisemine) × 1 voolik; | W-tihend, | ||||||
| A-sael ; | C-tihend | ||||||
| Kaal | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
