Mass Flow Controller Mass Flow Meter CS200
Өзгөчөлүктөрү
1. Жогорку тактык жана тез жооп берүү
CS200 MFC тактыгы SP ±1,0% чейин жакшыртылды жана эң алдыңкы моделдер 0,8 сектен азыраак жооп берүү убактысын кыскартты.
2. Төмөн нөлдүк дрейф жана температура коэффициенти
Жаңы сенсордук технологиянын ойлоп табуусу CS200 MFCга туруктуулукту сактоого жана температуранын өзгөрүүсүнө туруштук берүүгө мүмкүндүк берет.Авто-нөлдүк күчөткүч жок болсо, күтүлгөн нөлдүк дрейф жылына 0,6% FS аз, ал эми температура коэффициенти 0,02% FS/℃(нөл)，0,05%FS/ ℃ (аралык) азыраак.
3. Металл менен жабылган моделдер жана жогорку тазалык өзгөчөлүгү
CS200 MFC линиясынын сууланган агымы беттик пассивацияланган дат баспас болоттон жасалган.Бардык CS200 MFCs SEMI жана ISO 9001 стандарттарына ылайык, Sevenstarдын ультра таза Класс 100 классындагы таза бөлмөлөрүндө чогултулган.
4. Шайкеш интерфейстер
CS200 MFC кардар тандашы мүмкүн болгон төмөнкү интерфейстерге шайкеш келет:±8V-±16V кош кубат менен камсыздоо жана +14V-+28V бир аягы электр менен жабдуу;санариптик же аналогдук сигнал киргизүү жана чыгаруу;SEMI стандарттык механикалык өлчөмдөрү;жана RS-485 же DeviceNet байланыш модулу.
5. Ар кандай функциялар
Күчтүү кардарлардын программалык камсыздоосу ар бир моделде стандарттуу келет, ал эми мульти-газ, көп диапазон, автоматтык нөл, сигнализация, жумшак баштоо жана кечиктирүү сыяктуу кошумча функциялар кардар тандоосу катары жеткиликтүү.
Спецификация
| CS200 | |||||||
| Түр | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Толук масштабдуу диапазон (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Тактык | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| Сызыктуулугу | ±0,5% FS | ||||||
| Кайталануучулук | ±0,2% FS | ||||||
| Жооп убактысы | ≤1сек | ≤0,8 сек (SEMI E17-0600) | |||||
| Клапан эс алуу абалы | Адатта жабык же | Клапан жок | Адатта жабык же | Клапан жок | Адатта жабык же | Клапан жок | |
| Адатта ачык（100 sccm≤FS≤5 slm） | Адатта ачык（100 sccm≤FS≤5 slm） | Адатта ачык（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Дифференциалдык басым | 0,05～0,35МПа （Агым≤10slm） | ＜0,02МПа | (0,05～0,35) МПа（≤10slm） | ＜0,02МПа | (0,05～0,35) МПа（≤10slm） | ＜0,02МПа | |
| 0.1～0.35МПа（10slm＜Flow≤30slm） | (0,1～0,35) МПа（＞10slm） | (0,1～0,35) МПа（＞10slm） | |||||
| 0,2～0,45МПа （Агым＞30slm） | |||||||
| Максималдуу иштөө басымы | 0,45 МПа | |||||
| Температура | Нөл: ≤±0,05% FS/℃; | Нөл: ≤±0,02% FS/℃;Аралыгы: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Коэффицент | Аралыгы: ≤±0,1% FS/℃（Агым≤30slm） | |||||
| Аралыгы: ≤±0,2% FS/℃（Агым>30slm） | ||||||
| Proof Pressure | 3МПа (435pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜Автонөлсүз жылына 0,6% FS | |||||
| Бүтүндүктүн бузулушу | 1×10-9 атм·cc / сек Ал | 1×10-10atm·cc / сек Ал | ||||
| Нымдуу материалдар | Viton; | Металл? (дат баспас болоттон жасалган V/V, 5Ra) | Металл | |||
| Беттик химия | —— | Cr/Fe катышы ＞2,0;CrO калыңдыгы ＞20 Angstroms | ||||
| Беттик бүтүрүү | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Иштөө температурасы | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Киргизүү сигналы | Санариптик: RS485 же ProfiBus | Жок | Санарип: RS485 же ProfiBus же DeviceNetTM | Жок | Санарип: RS485 же ProfiBus же DeviceNetTM | Жок |
| же DeviceNetTM | Аналогдук:(0～5)VDC же (4～20)мА же (0～20)мА | Аналогдук:(0～5)VDC же (4～20)мА? же (0～20)мА | |||||
| Аналогдук:(0～5)VDC же (4～20)мА же (0～20)мА | |||||||
| Output Signal | Санарип: RS485 же DeviceNetTM же ProfiBus Аналог:(0～5)VDC же (4～20)мА же (0～20)мА | ||||||
| Электр камсыздоо | ±8 ~ ±16 VDC же +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Электрондук туташтыргыч | 9 пин эркек суб-D ， 15 пин эркек суб-D ，DeviceNetTM,ProfiBus ，Аналог | ||||||
| Арматуралар | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Компрессиялык фитингΦ10;Компрессиялык арматураΦ6; | Компрессиялык фитингΦ6, | ||||||
| Compression Fitting 3/8”;Компрессиялык фитинг1/4”； | Компрессиялык фитингΦ3, | ||||||
| Compression Fitting1/8”;Компрессиялык фитингΦ3； | Компрессиялык фитинг 1/4”, | ||||||
| Ф6(ички)×1шланг;ф5(ички)×1.5шланг;ф4(ички)×1шланг; | W-мөөр, | ||||||
| A-sael; | C-мөөр | ||||||
| Салмагы | 1кг | 0,8 кг | 1,2 кг | 1кг | 1,2 кг | 1кг | |
