Kidhibiti cha Mtiririko wa Misa Mita ya Mtiririko wa Misa CS200 Picha Iliyoangaziwa

Mdhibiti wa Mtiririko wa Misa Mita ya Mtiririko wa Misa CS200

Maelezo Fupi:

CS200 MFCs zilizo na kihisi cha hali ya juu na teknolojia ya fidia ya halijoto zinaweza kufikia usahihi wa ±1%SP na mgawo wa halijoto ya chini.Kwa kuongezea, CS200 MFCs zilizo na mfumo wa udhibiti wa hali ya juu huwa na wastani wa muda wa majibu wa 800ms kwa mabadiliko yote yaliyowekwa, na kupunguza hitilafu zozote za mfumo katika mchakato.

Tutumie barua pepe

Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

Vipengele

1. Usahihi wa Juu na Majibu ya Haraka

Usahihi wa CS200 MFC umeboreshwa hadi ±1.0% ya SP, na miundo ya hali ya juu zaidi ina muda wa majibu uliopunguzwa wa chini ya sekunde 0.8.

2. Chini ya Zero Drift na Mgawo wa Joto

Uvumbuzi wa teknolojia mpya ya sensa huwezesha CS200 MFC kudumisha uthabiti na kuhimili mabadiliko ya joto.Bila kikuzaji cha sifuri kiotomatiki, mwendo wa sifuri unaotarajiwa ni chini ya 0.6%FS/mwaka, na mgawo wa halijoto ni chini ya 0.02%FS/℃(zero)，0.05%FS/ ℃ (span).

3. Mifano ya Metal-Muhuri na Kipengele cha Usafi wa Juu

Njia ya mtiririko iliyoloweshwa ya CS200 MFC imeundwa kwa chuma cha pua kisichopitisha uso.MFC zote za CS200 zimekusanywa katika vyumba safi vya darasa la 100 vya darasa la Sevenstar kwa mujibu wa viwango vya SEMI na ISO 9001.

4. Violesura vinavyoendana

CS200 MFC inaoana na violesura vifuatavyo, ambavyo vinaweza kuchaguliwa na mteja: ±8V-±16V usambazaji wa umeme wa mwisho-mbili na +14V-+28V usambazaji wa umeme wa mwisho mmoja;pembejeo na pato la ishara ya dijiti au ya analog;vipimo vya mitambo vya SEMI;na moduli ya mawasiliano ya RS-485 au DeviceNet.

5. Kazi Mbalimbali

Programu ya mteja yenye nguvu huja na kila modeli, huku utendakazi wa ziada kama vile gesi nyingi, anuwai nyingi, sufuri otomatiki, kengele, kuanza kwa upole na ucheleweshaji zinapatikana kama chaguo za wateja.

Vipimo

	CS200
Aina	CS200A		CS200C			CS200D
Kiwango kamili cha mizani (N2)	( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM		( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM
	( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM		( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM
Usahihi	±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS)
Linearity	±0.5% FS
Kuweza kurudiwa	±0.2% FS
Muda wa Majibu	≤1sek		≤0.8 sek (SEMI E17-0600)
Nafasi ya Kupumzika ya Valve	Kawaida Imefungwa au	Hakuna Valve	Kawaida Imefungwa au	Hakuna Valve	Kawaida Imefungwa au		Hakuna Valve
	Kawaida Fungua (100 sccm≤FS≤5 slm)		Kawaida Fungua (100 sccm≤FS≤5 slm)		Kawaida Fungua (100 sccm≤FS≤5 slm)
Shinikizo la Tofauti	0.05 ~ 0.35MPa (Mtiririko≤10slm)	＜MPa 0.02	(0.05-0.35) MPa (≤10slm)	＜MPa 0.02	(0.05-0.35) MPa (≤10slm)		＜MPa 0.02
	0.1 ~0.35MPa(10slm＜Flow≤30slm)		(0.1-0.35) MPa (((((((()10slm)		(0.1-0.35) MPa (((((((()10slm)
	0.2-0.45MPa (Mtiririko) 30slm

Upeo wa Shinikizo la Uendeshaji	MPa 0.45
Halijoto	Sufuri:≤±0.05% FS/℃;		Sufuri:≤±0.02% FS/℃;Muda:≤±0.05% FS/℃
Mgawo	Muda: ≤±0.1% FS/℃ (Mtiririko≤30slm)
	Muda: ≤±0.2% FS/℃ (Mtiririko>30slm)
Shinikizo la Uthibitisho	3MPa (435pisg)
Zero Drift	＜0.6%FS kwa mwaka bila autozero
Leak uadilifu	1×10-9 atm·cc / sec Yeye		1×10-10atm·cc / sek Yeye
Nyenzo Wetted	Viton;		Chuma? (Chuma cha pua V/V, 5Ra)		Chuma
Kemia ya uso	--		Uwiano wa Cr/Fe ＞2.0;Unene wa CRO ＞20 Angstroms
Uso Maliza	25 Ra		10Ra		25 Ra
Joto la Operesheni	(5～45）℃		(0～50）℃
Mawimbi ya Kuingiza	Dijitali: RS485 au ProfiBus	N/A	Dijitali: RS485 au ProfiBus au DeviceNetTM	N/A	Dijitali:RS485 au ProfiBus au DeviceNetTM	N/A

	au DeviceNetTM		Analogi:(0～5)VDC au (4～20)mA au (0～20)mA		Analogi:(0～5)VDC au (4～20)mA?au (0～20)mA
	Analogi:(0～5)VDC au (4～20)mA au(0～20)mA
Mawimbi ya Pato	Dijitali: RS485 au DeviceNetTM au ProfiBus Analogi:(0～5)VDC au (4～20)mA au (0～20)mA
Ugavi wa Nguvu	±8 ~ ±16 VDC au +14 ~ +28 VDC(400mA)
Kiunganishi cha Kielektroniki	Pini 9 za kiume ndogo ya D ，Pini 15 za kiume ndogo ya D ，DeviceNetTM,ProfiBus, Analogi
Fittings	VCR1/4” M; VCO1/4” M;		VCR1/4” M;
	Kuweka MfinyizoΦ10;Kuweka MfinyizoΦ6;		Kuweka MfinyizoΦ6,
	Kuweka Mfinyazo 3/8";Kuweka Mfinyazo1/4”;		Kuweka MfinyizoΦ3,
	Fitting Fitting1/8”;Kuweka MfinyizoΦ3;		Kuweka Mfinyazo1/4”,
	Ф6(ndani)×1hose;ф5(ndani)×1.5hose;ф4(ndani)×1hose;		Muhuri wa W,
	A-sael ;		C-muhuri
Uzito	1kg	0.8kg	1.2kg	1kg	1.2kg	1kg