Controlador de caudal masico Medidor de caudal masico CS200
características
1. Alta precisión e resposta rápida
A precisión do CS200 MFC mellorouse ata o ±1,0% do SP, e os modelos máis avanzados teñen un tempo de resposta reducido de menos de 0,8 segundos.
2. Baixa deriva cero e coeficiente de temperatura
A invención da nova tecnoloxía de sensores permite que o CS200 MFC manteña a estabilidade e resista as flutuacións de temperatura.Sen un amplificador de cero automático, a deriva cero esperada é inferior ao 0,6% FS/ano e o coeficiente de temperatura é inferior ao 0,02% FS/℃ (cero) ， 0,05% FS/ ℃ (span).
3. Modelos selados con metal e característica de alta pureza
O camiño de fluxo humedecido da liña CS200 MFC está construído en aceiro inoxidable pasivado de superficie.Todos os MFC CS200 están montados en salas limpas clase 100 de Sevenstar de acordo coas normas SEMI e ISO 9001.
4. Interfaces compatibles
O CS200 MFC é compatible coas seguintes interfaces, que pode seleccionar o cliente: fonte de alimentación de dobre extremo ±8V-±16V e fonte de alimentación de extremo único +14V-+28V;entrada e saída de sinal dixital ou analóxico;Dimensións mecánicas estándar SEMI;e módulo de comunicacións RS-485 ou DeviceNet.
5. Funcións varias
Cada modelo inclúe de serie un potente software para o cliente, mentres que as funcións adicionais, como multigas, multirango, cero automático, alarmas, arranque suave e atraso están dispoñibles como opcións do cliente.
Especificación
| CS200 | |||||||
| Tipo | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Rango de escala completa (N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Precisión | ±1,0 % SP (≥35 % FS) ±0,35 % FS? (<35 % FS) | ||||||
| Linealidade | ±0,5% FS | ||||||
| Repetibilidade | ±0,2% FS | ||||||
| Tempo de resposta | ≤1 seg | ≤0,8 seg (SEMI E17-0600) | |||||
| Posición de descanso da válvula | Normalmente pechado ou | Sen válvula | Normalmente pechado ou | Sen válvula | Normalmente pechado ou | Sen válvula | |
| Normalmente aberto (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalmente aberto (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalmente aberto (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Presión diferencial | 0,05~0,35 MPa (caudal ≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05~0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | (0,05~0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02 MPa | |
| 0,1 ~ 0,35 MPa (10 slm ＜ Caudal ≤ 30 slm ) | (0,1~0,35) MPa（＞10slm） | (0,1~0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2 ~ 0,45 MPa (caudal ＞ 30 slm) | |||||||
| Presión máxima de operación | 0,45 MPa | |||||
| Temperatura | Cero: ≤±0,05% FS/℃; | Cero: ≤±0,02% FS/℃;Intervalo: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Coeficiente | Intervalo: ≤±0,1% FS/℃ (caudal ≤30slm) | |||||
| Intervalo: ≤±0,2% FS/℃ (Fluxo>30slm) | ||||||
| Presión de proba | 3MPa (435 pisg) | |||||
| Deriva Cero | ＜0,6% FS ao ano sen autocero | |||||
| Integridade da fuga | 1×10-9 atm·cc/seg He | 1×10-10atm·cc/seg He | ||||
| Materiais mollados | Vitón; | Metal? (Aceiro inoxidable V/V, 5Ra) | Metal | |||
| Química de superficies | —— | Relación Cr/Fe > 2,0;Espesor de CrO > 20 Angstroms | ||||
| Acabado superficial | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
| Temperatura de funcionamento | （5~45）℃ | （0~50）℃ | ||||
| Sinal de entrada | Dixital: RS485 ou ProfiBus | N / A | Dixital: RS485 ou ProfiBus ou DeviceNetTM | N / A | Dixital: RS485 ou ProfiBus ou DeviceNetTM | N / A |
| ou DeviceNetTM | Analóxico: (0~5)VDC ou (4~20)mA ou (0~20)mA | Analóxico: (0~5)VDC ou (4~20)mA? ou (0~20)mA | |||||
| Analóxico: (0~5)VDC ou (4~20)mA ou (0~20)mA | |||||||
| Sinal de saída | Dixital: RS485 ou DeviceNetTM ou ProfiBus Analóxico: (0~5)VDC ou (4~20)mA ou (0~20)mA | ||||||
| Fonte de alimentación | ±8 ~ ±16 VDC ou +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Conector electrónico | Sub-D macho de 9 pines, Sub-D macho de 15 pines, DeviceNetTM,ProfiBus, analóxico | ||||||
| Accesorios | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Acoplamento de compresiónΦ10;Axuste de compresiónΦ6; | Acoplamento de compresiónΦ6, | ||||||
| Racor de compresión 3/8”;Racor de compresión 1/4"; | Acoplamento de compresiónΦ3, | ||||||
| Racor de compresión 1/8”;Acoplamento de compresiónΦ3; | Racor de compresión 1/4", | ||||||
| Ф6 (interior) × 1 mangueira; ф5 (interior) × 1,5 mangueira; ф4 (interior) × 1 mangueira; | selo W, | ||||||
| A-sael ; | Selo C | ||||||
| Peso | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
