மாஸ் ஃப்ளோ கன்ட்ரோலர் மாஸ் ஃப்ளோ மீட்டர் CS200
அம்சங்கள்
1. உயர் துல்லியம் மற்றும் விரைவான பதில்
CS200 MFC இன் துல்லியம் SP இன் ±1.0% ஆக மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது, மேலும் மிகவும் மேம்பட்ட மாதிரிகள் 0.8 நொடிக்கும் குறைவான மறுமொழி நேரத்தைக் கொண்டுள்ளன.
2. குறைந்த பூஜ்ஜிய சறுக்கல் மற்றும் வெப்பநிலை குணகம்
புதிய சென்சார் தொழில்நுட்பத்தின் கண்டுபிடிப்பு CS200 MFC ஆனது நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கவும் வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களை தாங்கவும் உதவுகிறது.தானியங்கு-பூஜ்ஜிய பெருக்கி இல்லாமல், எதிர்பார்க்கப்படும் பூஜ்ஜிய சறுக்கல் 0.6%FS/ஆண்டுக்கும் குறைவாக இருக்கும், மேலும் வெப்பநிலை குணகம் 0.02%FS/℃(zero) ，0.05%FS/ ℃ (span) க்கும் குறைவாக இருக்கும்.
3. உலோக-சீல் செய்யப்பட்ட மாதிரிகள் மற்றும் உயர் தூய்மை அம்சம்
CS200 MFCயின் ஈரமான ஓட்டப் பாதையானது மேற்பரப்பில் செயலற்ற எஃகு மூலம் கட்டமைக்கப்பட்டுள்ளது.அனைத்து CS200 MFCகளும் செவன்ஸ்டாரின் அல்ட்ராக்லீன் கிளாஸ் 100-வகுப்பு கிளீன்ரூம்களில் SEMI மற்றும் ISO 9001 தரநிலைகள் இரண்டிற்கும் இணங்க அசெம்பிள் செய்யப்பட்டுள்ளன.
4. இணக்கமான இடைமுகங்கள்
CS200 MFC பின்வரும் இடைமுகங்களுடன் இணக்கமானது, இது வாடிக்கையாளரால் தேர்ந்தெடுக்கப்படலாம்: ±8V-±16V இரட்டை-இறுதி மின்சாரம் மற்றும் +14V-+28V ஒற்றை-இறுதி மின்சாரம்;டிஜிட்டல் அல்லது அனலாக் சிக்னல் உள்ளீடு மற்றும் வெளியீடு;SEMI நிலையான இயந்திர பரிமாணங்கள்;மற்றும் RS-485 அல்லது DeviceNet தகவல்தொடர்பு தொகுதி.
5. இதர செயல்பாடுகள்
சக்திவாய்ந்த வாடிக்கையாளர் மென்பொருளானது ஒவ்வொரு மாடலுடனும் நிலையானதாக வருகிறது, அதே நேரத்தில் மல்டி-கேஸ், மல்டி-ரேஞ்ச்，ஆட்டோ-ஜீரோ, அலாரங்கள், சாஃப்ட் ஸ்டார்ட் மற்றும் தாமதம் போன்ற கூடுதல் செயல்பாடுகள் வாடிக்கையாளர் தேர்வுகளாகக் கிடைக்கும்.
விவரக்குறிப்பு
| CS200 | |||||||
| வகை | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| முழு அளவிலான வரம்பு (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)எஸ்.எல்.எம். | (0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| துல்லியம் | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| நேர்கோட்டுத்தன்மை | ± 0.5% FS | ||||||
| மீண்டும் நிகழும் தன்மை | ± 0.2% FS | ||||||
| பதில் நேரம் | ≤1 நொடி | ≤0.8 நொடி (SEMI E17-0600) | |||||
| வால்வு ஓய்வு நிலை | பொதுவாக மூடப்பட்டது அல்லது | வால்வு இல்லை | பொதுவாக மூடப்பட்டது அல்லது | வால்வு இல்லை | பொதுவாக மூடப்பட்டது அல்லது | வால்வு இல்லை | |
| பொதுவாக திறந்திருக்கும் (100 sccm≤FS≤5 slm) | பொதுவாக திறந்திருக்கும் (100 sccm≤FS≤5 slm) | பொதுவாக திறந்திருக்கும் (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| அழுத்த வேறுபாடு | 0.05～0.35MPa (ஓட்டம்≤10slm) | ஜ0.02MPa | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | ஜ0.02MPa | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | ஜ0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa (10slmFlow≤30slm) | (0.1～0.35) MPa (＞10slm) | (0.1～0.35) MPa (＞10slm) | |||||
| 0.2～0.45MPa (ஓட்டம்＞30slm) | |||||||
| அதிகபட்ச இயக்க அழுத்தம் | 0.45MPa | |||||
| வெப்ப நிலை | பூஜ்யம்:≤±0.05% FS/℃; | பூஜ்யம்:≤±0.02% FS/℃;இடைவெளி:≤±0.05% FS/℃ | ||||
| குணகம் | இடைவெளி: ≤±0.1% FS/℃(Flow≤30slm) | |||||
| இடைவெளி: ≤±0.2% FS/℃(ஓட்டம்>30slm) | ||||||
| ஆதார அழுத்தம் | 3MPa (435pisg) | |||||
| ஜீரோ ட்ரிஃப்ட் | ஜஆட்டோஜீரோ இல்லாமல் வருடத்திற்கு 0.6%FS | |||||
| கசிவு நேர்மை | 1×10-9 atm·cc / நொடி அவர் | 1×10-10atm·cc / நொடி அவர் | ||||
| ஈரமாக்கப்பட்ட பொருட்கள் | விட்டான்; | உலோகமா?(துருப்பிடிக்காத எஃகு V/V, 5Ra) | உலோகம் | |||
| மேற்பரப்பு வேதியியல் | —— | Cr/Fe விகிதம் ＞2.0;CrO தடிமன் 20 ஆங்ஸ்ட்ரோம்கள் | ||||
| மேற்பரப்பு முடித்தல் | 25 ரா | 10ரா | 25 ரா | |||
| செயல்பாட்டு வெப்பநிலை | (5℃ 45℃ | (0℃ 50℃ | ||||
| உள்ளீட்டு சமிக்ஞை | டிஜிட்டல்: RS485 அல்லது ProfiBus | N/A | டிஜிட்டல்: RS485 அல்லது ProfiBus அல்லது DeviceNetTM | N/A | டிஜிட்டல்:RS485 அல்லது ProfiBus அல்லது DeviceNetTM | N/A |
| அல்லது DeviceNetTM | அனலாக்:(0～5)VDC அல்லது (4～20)mA அல்லது (0～20)mA | அனலாக்:(0～5)VDC அல்லது (4～20)mA?அல்லது (0～20)mA | |||||
| அனலாக்:(0～5)VDC அல்லது (4～20)mA அல்லது(0～20)mA | |||||||
| வெளியீட்டு சமிக்ஞை | டிஜிட்டல்: RS485 அல்லது DeviceNetTM அல்லது ProfiBus அனலாக்:(0～5)VDC அல்லது (4～20)mA அல்லது (0～20)mA | ||||||
| பவர் சப்ளை | ±8 ~ ±16 VDC அல்லது +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| எலக்ட்ரானிக் கனெக்டர் | 9 பின் ஆண் துணை-D ，15 பின் ஆண் துணை-D ，DeviceNetTM,ProfiBus, அனலாக் | ||||||
| பொருத்துதல்கள் | VCR1/4” M; VCO1/4” M; | VCR1/4” எம்; | |||||
| சுருக்க பொருத்துதல்Φ10;அமுக்கம் பொருத்துதல்Φ6 | சுருக்க பொருத்துதல்Φ6, | ||||||
| சுருக்க பொருத்துதல் 3/8”;சுருக்க பொருத்துதல் 1/4”; | சுருக்க பொருத்துதல்Φ3, | ||||||
| சுருக்க பொருத்துதல்1/8";சுருக்க பொருத்துதல்Φ3; | சுருக்க பொருத்துதல் 1/4”, | ||||||
| Ф6 (உள்) × 1 குழாய்; | டபிள்யூ-சீல், | ||||||
| A-sael ; | சி-சீல் | ||||||
| எடை | 1 கிலோ | 0.8 கிலோ | 1.2 கிலோ | 1 கிலோ | 1.2 கிலோ | 1 கிலோ | |
