Masa Fluo-Regilo Masa Fluo-Mezurilo CS200
Trajtoj
1. Alta Precizeco kaj Rapida Respondo
La precizeco de la CS200 MFC estis plibonigita al ±1.0% de SP, kaj la plej altnivelaj modeloj havas reduktitan respondtempon de malpli ol 0.8 sek.
2. Malalta Nula Drift kaj Temperatura Koeficiento
La invento de nova sensila teknologio ebligas al la CS200 MFC konservi stabilecon kaj elteni temperaturfluktuojn.Sen aŭtomata nula amplifilo, la atendata nula drivo estas malpli ol 0,6% FS/jaro, kaj la temperaturkoeficiento estas malpli ol 0,02% FS/℃ (nul)， 0,05%FS/ ℃ (interspaco).
3. Metal-Sigelitaj Modeloj kaj Alta Pureco Trajto
La malsekigita fluvojo de-la-linia CS200 MFC estas konstruita el surfac-pasivita neoksidebla ŝtalo.Ĉiuj CS200 MFC-oj estas kunvenitaj en la ultrapuraj Klaso 100-klasaj purĉambroj de Sevenstar laŭ kaj SEMI kaj ISO 9001-normoj.
4. Kongruaj Interfacoj
La CS200 MFC estas kongrua kun la jenaj interfacoj, kiuj povas esti elektitaj de la kliento: ±8V-±16V duobla elektroprovizo kaj +14V-+28V unu-fina elektroprovizo;cifereca aŭ analoga signala enigo kaj eligo;SEMI-normaj mekanikaj dimensioj;kaj RS-485 aŭ DeviceNet komunika modulo.
5. Diversaj Funkcioj
Potenca klienta programaro venas norma kun ĉiu modelo, dum pliaj funkcioj kiel ekzemple multgasa, plurgama, aŭtomata nulo, alarmoj, milda starto kaj prokrasto estas disponeblaj kiel klientaj elektoj.
Specifo
| CS200 | |||||||
| Tajpu | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Plenskala gamo (N2) | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Precizeco | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS? (＜35% FS) | ||||||
| Lineareco | ± 0,5% FS | ||||||
| Ripeteblo | ± 0,2% FS | ||||||
| Tempo de respondo | ≤1 sek | ≤0.8 sek (SEMI E17-0600) | |||||
| Valva Ripozo-Pozicio | Normale Fermita aŭ | Neniu Valvo | Normale Fermita aŭ | Neniu Valvo | Normale Fermita aŭ | Neniu Valvo | |
| Normale Malferma（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normale Malferma（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normale Malferma（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Diferenca Premo | 0.05~0.35MPa (Fluo≤10slm) | ＜0.02MPa | (0.05~0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05~0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | |
| 0.1~0.35MPa (10slm＜Flow≤30slm) | (0.1~0.35) MPa（＞10slm） | (0.1~0.35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0.2~0.45MPa (Fluo＞30slm) | |||||||
| Maksimuma Operacia Premo | 0.45MPa | |||||
| Temperaturo | Nulo: ≤±0.05% FS/℃; | Nulo: ≤±0.02% FS/℃;Interspaco: ≤±0.05% FS/℃ | ||||
| Koeficiento | Interspaco: ≤±0.1% FS/℃（Fluo≤30slm） | |||||
| Interspaco: ≤±0.2% FS/℃（Fluo>30slm） | ||||||
| Pruvo-Premo | 3MPa (435 piĝoj) | |||||
| Nula Drivo | ＜0.6% FS jare sen aŭtonulo | |||||
| Liki integrecon | 1×10-9 atm·cc / sek He | 1×10-10atm·cc / sek He | ||||
| Malsekigitaj Materialoj | Viton; | Metalo? (Neoksidebla ŝtalo V/V, 5Ra) | Metalo | |||
| Surfaca Kemio | —— | Rilatumo Cr/Fe > 2.0;CrO dikeco > 20 Angstromoj | ||||
| Surfaca Fino | 25 Ra | 10Ra | 25 Ra | |||
| Operacia Temperaturo | （5~45）℃ | （0~50）℃ | ||||
| Eniga Signalo | Cifereca: RS485 aŭ ProfiBus | N/A | Cifereca: RS485 aŭ ProfiBus aŭ DeviceNetTM | N/A | Cifereca: RS485 aŭ ProfiBus aŭ DeviceNetTM | N/A |
| aŭ DeviceNetTM | Analoga: (0~5)VDC aŭ (4~20)mA aŭ (0~20)mA | Analoga: (0~5)VDC aŭ (4~20)mA?aŭ (0~20)mA | |||||
| Analoga: (0~5)VDC aŭ (4~20)mA aŭ (0~20)mA | |||||||
| Eliga Signalo | Cifereca: RS485 aŭ DeviceNetTM aŭ ProfiBus Analoga: (0~5)VDC aŭ (4~20)mA aŭ (0~20)mA | ||||||
| Elektroprovizo | ±8 ~ ±16 VDC aŭ +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Elektronika Konektilo | 9 stifta maskla sub-D ，15 stifta maskla sub-D ，DeviceNetTM,ProfiBus ，Analoga | ||||||
| Fittings | VCR1/4" M； VCO1/4" M； | VCR1/4” M; | |||||
| Kunpremada FittingΦ10; Kunpremada FittingΦ6; | Kunpremada FittingΦ6, | ||||||
| Kunprema Fitting 3/8”;Kunpremada Fitting1/4”； | Kunpremada FittingΦ3, | ||||||
| Kunprema Fitting1/8”;Kunpremada FittingΦ3; | Kunprema Fitting1/4", | ||||||
| Ф6(interna)×1hose;ф5(interna)×1.5hose;ф4(interna)×1hose; | W-sigelo, | ||||||
| A-sael ; | C-sigelo | ||||||
| Pezo | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
