Kütle Akış Kontrol Cihazı Kütle Akış Ölçer CS200
Özellikler
1. Yüksek Doğruluk ve Hızlı Tepki
CS200 MFC'nin doğruluğu SP'nin ±%1,0'ına yükseltilmiştir ve en gelişmiş modellerin yanıt süresi 0,8 saniyeden daha kısadır.
2. Düşük Sıfır Kayma ve Sıcaklık Katsayısı
Yeni sensör teknolojisinin icadı, CS200 MFC'nin kararlılığını korumasını ve sıcaklık dalgalanmalarına dayanmasını sağlar.Otomatik sıfır amplifikatörü olmadan, beklenen sıfır kayması %0,6 FS/yıl'dan azdır ve sıcaklık katsayısı %0,02 FS/°C(sıfır), %0,05 FS/°C'den (aralık) azdır.
3. Metal Mühürlü Modeller ve Yüksek Saflık Özelliği
CS200 MFC hattının ıslak akış yolu, yüzeyi pasifleştirilmiş paslanmaz çelikten yapılmıştır.Tüm CS200 MFC'ler Sevenstar'ın ultra temiz Sınıf 100 sınıfı temiz odalarında hem SEMI hem de ISO 9001 standartlarına uygun olarak monte edilir.
4. Uyumlu Arayüzler
CS200 MFC, müşteri tarafından seçilebilecek aşağıdaki arayüzlerle uyumludur: ±8V-±16V çift uçlu güç kaynağı ve +14V-+28V tek uçlu güç kaynağı;dijital veya analog sinyal girişi ve çıkışı;YARI standart mekanik boyutlar;ve RS-485 veya DeviceNet iletişim modülü.
5. Çeşitli İşlevler
Güçlü müşteri yazılımı her modelde standart olarak gelirken, çoklu gaz, çoklu aralık, otomatik sıfırlama, alarmlar, yumuşak başlatma ve gecikme gibi ek işlevler müşterinin tercihine göre mevcuttur.
Şartname
| CS200 | |||||||
| Tip | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Tam ölçekli aralık (N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Kesinlik | ±%1,0 SP (≥%35 FS) ±%0,35 FS?(<%35 FS) | ||||||
| Doğrusallık | ±%0,5 FS | ||||||
| Tekrarlanabilirlik | ±%0,2 FS | ||||||
| Tepki Süresi | ≤1sn | ≤0,8 sn (YARI E17-0600) | |||||
| Valf Dinlenme Konumu | Normalde Kapalı veya | Vana Yok | Normalde Kapalı veya | Vana Yok | Normalde Kapalı veya | Vana Yok | |
| Normalde Açık（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normalde Açık（100 sccm≤FS≤5 slm） | Normalde Açık（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Diferansiyel basınç | 0,05~0,35MPa (Akış≤10slm) | ＜0.02MPa | (0,05～0,35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | (0,05～0,35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | |
| 0,1~0,35MPa（10slm＜Akış≤30slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2~0,45MPa (Akış~30slm) | |||||||
| Maksimum Çalışma Basıncı | 0.45MPa | |||||
| Sıcaklık | Sıfır: ≤±0,05% FS/°C; | Sıfır: ≤±0,02% FS/°C;Açıklık:≤±0,05% FS/°C | ||||
| Katsayı | Açıklık: ≤±0,1% FS/°C (Akış≤30slm) | |||||
| Açıklık: ≤±0,2% FS/°C(Akış>30slm） | ||||||
| Basınç geçirmez | 3MPa (435pisg) | |||||
| Sıfır Kayma | ＜Otomatik sıfırlama olmadan yılda %0,6 FS | |||||
| Sızıntı bütünlüğü | 1×10-9 atm·cc/sn He | 1×10-10atm·cc/sn He | ||||
| Islak Malzemeler | Viton; | Metal mi?(Paslanmaz Çelik V/V, 5Ra) | Metal | |||
| Yüzey Kimyası | —— | Cr/Fe oranı ＞2,0;CrO kalınlığı ＞20 Angstrom | ||||
| Yüzey | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Çalışma Sıcaklığı | (5～45）°C | (0~50）°C | ||||
| Giriş sinyali | Dijital: RS485 veya ProfiBus | Yok | Dijital: RS485 veya ProfiBus veya DeviceNetTM | Yok | Dijital: RS485 veya ProfiBus veya DeviceNetTM | Yok |
| veya DeviceNetTM | Analog:(0~5)VDC veya (4~20)mA veya (0~20)mA | Analog:(0~5)VDC veya (4~20)mA?veya (0~20)mA | |||||
| Analog:(0~5)VDC veya (4~20)mA veya(0~20)mA | |||||||
| Çıkış sinyali | Dijital: RS485 veya DeviceNetTM veya ProfiBus Analog:(0~5)VDC veya (4~20)mA veya (0~20)mA | ||||||
| Güç kaynağı | ±8 ~ ±16 VDC veya +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| Elektronik Konektör | 9 pinli erkek sub-D ，15 pinli erkek sub-D ，DeviceNetTM，ProfiBus ， Analog | ||||||
| Bağlantı parçaları | VCR1/4” M; VCO1/4” M; | VCR1/4” M; | |||||
| Sıkıştırma BağlantısıΦ10;Sıkıştırma BağlantısıΦ6; | Sıkıştırma BağlantısıΦ6, | ||||||
| Sıkıştırmalı Bağlantı 3/8”;Sıkıştırma Bağlantısı1/4”; | Sıkıştırma BağlantısıΦ3, | ||||||
| Sıkıştırma Bağlantısı1/8”;Sıkıştırma BağlantısıΦ3; | Sıkıştırma Bağlantısı1/4”， | ||||||
| Ф6(iç)×1 hortum;ф5(iç)×1,5hortum;ф4(iç)×1 hortum; | W-mühür, | ||||||
| A-sael; | C-mühür | ||||||
| Ağırlık | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
