Mass-Flow Controller Mass-Flow Meter CS200
Ezaugarriak
1. Zehaztasun handia eta erantzun azkarra
CS200 MFC-ren zehaztasuna SP-ren % 1,0raino hobetu da, eta eredu aurreratuenek 0,8 segundo baino gutxiagoko erantzun-denbora murriztu dute.
2. Zero deriba txikia eta tenperatura koefizientea
Sentsore-teknologia berriaren asmakuntzari esker, CS200 MFC egonkortasuna mantentzea eta tenperatura-gorabeherak jasaten ditu.Zero automatikoko anplifikadorerik gabe, espero den zero desbidera 0,6% FS/urte baino txikiagoa da, eta tenperatura-koefizientea 0,02% FS/℃ (zero), 0,05% FS/ ℃ (span) baino txikiagoa da.
3. Metalez zigilatutako ereduak eta purutasun handiko ezaugarria
CS200 MFC lineako fluxu hezearen bidea gainazalean pasibotutako altzairu herdoilgaitzez eraikia dago.CS200 MFC guztiak Sevenstar-en 100 klaseko gela garbi ultragarbietan muntatzen dira, bai SEMI eta bai ISO 9001 arauen arabera.
4. Interfaze bateragarriak
CS200 MFC bateragarria da bezeroak hauta ditzakeen interfaze hauekin: ± 8V-±16V bikoitzeko elikadura eta +14V-+28V bakarreko elikadura-hornidura;seinale digitala edo analogikoa sarrera eta irteera;SEMI dimentsio mekaniko estandarrak;eta RS-485 edo DeviceNet komunikazio modulua.
5. Askotariko funtzioak
Bezeroaren software indartsua eredu bakoitzarekin batera dator, eta, hala nola, gas anitzeko, sorta anitzeko, zero automatikoa, alarmak, abiarazte leuna eta atzerapena bezeroen hautapen gisa erabilgarri daude.
Zehaztapena
| CS200 | |||||||
| Mota | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Eskala osoa (N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Zehaztasuna | ±% 1,0 SP (≥% 35 FS) ±% 0,35 FS? (<% 35 FS) | ||||||
| Linealtasuna | ±% 0,5 FS | ||||||
| Errepikagarritasuna | ±% 0,2 FS | ||||||
| Erantzun Denbora | ≤1seg | ≤0,8 s (SEMI E17-0600) | |||||
| Balbularen atseden-posizioa | Normalean itxita edo | Balbularik ez | Normalean itxita edo | Balbularik ez | Normalean itxita edo | Balbularik ez | |
| Normalean irekita (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalean irekita (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalean irekita (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Presio Diferentziala | 0,05 ~ 0,35 MPa (Flow ≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05~0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05~0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | |
| 0,1~0,35MPa (10slm＜Flow≤30slm) | (0,1~0,35) MPa（＞10slm） | (0,1~0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2~0,45MPa (Emaria>30slm) | |||||||
| Funtzionamendu-presio maximoa | 0,45 MPa | |||||
| Tenperatura | Zero: ≤±0,05% FS/℃; | Zero: ≤±0,02% FS/℃;Tartea: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Koefizientea | Tartea: ≤±0,1% FS/℃ (Flow ≤30slm) | |||||
| Tartea: ≤±0,2% FS/℃ (Flow>30slm) | ||||||
| Froga Presioa | 3MPa (435pig) | |||||
| Zero Deriba | ＜0,6% FS urtean autozerorik gabe | |||||
| Ihesaren osotasuna | 1×10-9 atm·cc/seg He | 1×10-10atm·cc/seg He | ||||
| Material bustiak | Viton; | Metala? (Altzairu herdoilgaitza V/V, 5Ra) | Metala | |||
| Gainazaleko Kimika | —— | Cr/Fe erlazioa > 2,0;CrO lodiera > 20 Angstroms | ||||
| Azalera akabera | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Funtzionamendu-tenperatura | （5~45) ℃ | （0~50) ℃ | ||||
| Sarrera Seinalea | Digitala: RS485 edo ProfiBus | N/A | Digitala: RS485 edo ProfiBus edo DeviceNetTM | N/A | Digitala: RS485 edo ProfiBus edo DeviceNetTM | N/A |
| edo DeviceNetTM | Analogikoa: (0~5)VDC edo (4~20)mA edo (0~20)mA | Analogikoa: (0~5)VDC edo (4~20)mA?edo (0~20)mA | |||||
| Analogikoa: (0~5)VDC edo (4~20)mA edo (0~20)mA | |||||||
| Irteera Seinalea | Digitala: RS485 edo DeviceNetTM edo ProfiBus Analogikoa: (0~5)VDC edo (4~20)mA edo (0~20)mA | ||||||
| Energia hornidura | ±8 ~ ±16 VDC edo +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Konektore Elektronikoa | 9 pin arra sub-D ，15 pin arra sub-D ，DeviceNetTM,ProfiBus ，Analogikoa | ||||||
| Hornidurak | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Konpresio egokitzeaΦ10;Konpresio egokitzeaΦ6; | Konpresio egokitzeaΦ6, | ||||||
| Konpresio egokitzea 3/8”;Konpresio doikuntza 1/4"; | Konpresio egokitzeaΦ3, | ||||||
| Konpresio egokitzea1/8”;Konpresio egokitzeaΦ3; | Konpresio doikuntza 1/4 ", | ||||||
| Ф6 (barrukoa) × 1 mahuka; ф5 (barrukoa) × 1.5 mahuka; ф4 (barrukoa) × 1 mahuka; | W-zigilua, | ||||||
| A-sael ; | C-zigilua | ||||||
| Pisua | 1kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1kg | 1,2 kg | 1kg | |
