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Massendurchflussregler Massendurchflussmesser CS200

Kurze Beschreibung:

CS200 MFCs mit fortschrittlicher Sensor- und Temperaturkompensationstechnologie können eine SP-Genauigkeit von ±1 % und einen niedrigen Temperaturkoeffizienten erreichen.Darüber hinaus haben CS200 MFCs mit dem fortschrittlichen Steuerungssystem eine durchschnittliche Reaktionszeit von 800 ms für alle Sollwertänderungen, wodurch etwaige Systemfehler im Prozess minimiert werden.


Produktdetail

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Merkmale

1. Hohe Genauigkeit und schnelle Reaktion

Die Genauigkeit des CS200 MFC wurde auf ±1,0 % des SP verbessert und die fortschrittlichsten Modelle haben eine reduzierte Reaktionszeit von weniger als 0,8 Sekunden.

2. Niedriger Nullpunktdrift und Temperaturkoeffizient

Die Erfindung einer neuen Sensortechnologie ermöglicht es dem CS200 MFC, Stabilität zu bewahren und Temperaturschwankungen standzuhalten.Ohne einen Auto-Zero-Verstärker beträgt die erwartete Nullpunktdrift weniger als 0,6 %FS/Jahr und der Temperaturkoeffizient weniger als 0,02 %FS/℃ (Null), 0,05 %FS/℃ (Spanne).

3. Metallversiegelte Modelle und hohe Reinheit

Der benetzte Strömungsweg des CS200 MFC der Linie besteht aus oberflächenpassiviertem Edelstahl.Alle CS200 MFCs werden in Sevenstars ultrareinen Reinräumen der Klasse 100 gemäß den Standards SEMI und ISO 9001 zusammengebaut.

4. Kompatible Schnittstellen

Der CS200 MFC ist mit den folgenden Schnittstellen kompatibel, die vom Kunden ausgewählt werden können: ±8 V–±16 V doppelseitiges Netzteil und +14 V–+28 V einseitiges Netzteil;digitaler oder analoger Signaleingang und -ausgang;Mechanische Abmessungen nach SEMI-Standard;und RS-485- oder DeviceNet-Kommunikationsmodul.

5. Verschiedene Funktionen

Leistungsstarke Kundensoftware ist standardmäßig bei jedem Modell enthalten, während zusätzliche Funktionen wie Mehrgas, Mehrbereich, automatische Nullstellung, Alarme, Sanftanlauf und Verzögerung als Kundenauswahl verfügbar sind.

Spezifikation

CS200

Typ

CS200A

CS200C

CS200D

Vollausschlagsbereich (N2)

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

( 0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM

( 0~1,2,3,5,10,20,30)SLM

Genauigkeit

±1,0 % SP (≥35 % FS) ±0,35 % FS?(<35 % FS)

Linearität

±0,5 % FS

Wiederholbarkeit

±0,2 % FS

Reaktionszeit

≤1 Sek

≤0,8 Sek. (SEMI E17-0600)

Ventilruheposition

Normalerweise geschlossen oder

Kein Ventil

Normalerweise geschlossen oder

Kein Ventil

Normalerweise geschlossen oder

Kein Ventil

Normalerweise offen (100 sccm ≤ FS ≤ 5 slm) Normalerweise offen (100 sccm ≤ FS ≤ 5 slm) Normalerweise offen (100 sccm ≤ FS ≤ 5 slm)

Differenzdruck

0,05 ~ 0,35 MPa (Durchfluss ≤ 10 slm)

0,02 MPa

(0,05~0,35) MPa(≤10slm)

0,02 MPa

(0,05~0,35) MPa(≤10slm)

0,02 MPa

0,1 ~ 0,35 MPa (10 slm < Durchfluss ≤ 30 slm)

(0,1~0,35) MPa(>10slm)

(0,1~0,35) MPa(>10slm)

0,2 ~ 0,45 MPa (Durchfluss > 30 slm)

Maximaler Betriebsdruck

0,45 MPa

Temperatur

Null: ≤ ± 0,05 % FS/℃;

Null: ≤ ± 0,02 % FS/℃;Spanne: ≤ ± 0,05 % FS/℃

Koeffizient

Spanne: ≤ ± 0,1 % FS/℃ (Durchfluss ≤ 30 slm)

Spanne: ≤ ±0,2 % FS/℃ (Durchfluss > 30 slm)

Beweisdruck

3MPa (435pisg)

Nulldrift

0,6 % FS pro Jahr ohne Autozero

Leckintegrität

1×10-9 atm·cc/s He

1×10-10atm·cc/s He

Benetzte Materialien

Viton;

Metall? (Edelstahl V/V, 5Ra)

Metall

Oberflächenchemie

——

Cr/Fe-Verhältnis > 2,0;CrO-Dicke > 20 Angström

Oberflächenfinish

25Ra

10Ra

25Ra

Betriebs-Temperatur

5~45)℃

0~50)℃

Eingangssignal

Digital: RS485 oder ProfiBus

N / A

Digital: RS485 oder ProfiBus oder DeviceNetTM

N / A

Digital: RS485 oder ProfiBus oder DeviceNetTM

N / A

oder DeviceNetTM

Analog: (0–5) VDC oder (4–20) mA oder (0–20) mA

Analog: (0–5) VDC oder (4–20) mA oder (0–20) mA

Analog: (0–5) VDC oder (4–20) mA oder (0–20) mA

Ausgangssignal

Digital: RS485 oder DeviceNetTM oder ProfiBus Analog: (0–5) VDC oder (4–20) mA oder (0–20) mA

Stromversorgung

±8 ~ ±16 VDC oder +14 ~ +28 VDC (400 mA)

Elektronischer Steckverbinder

9-poliger Sub-D-Stecker, 15-poliger Sub-D-Stecker, DeviceNetTMProfiBus, Analog

Beschläge

VCR1/4” M; VCO1/4” M;

VCR1/4” M;

KlemmringverschraubungΦ10; KlemmringverschraubungΦ6;

KlemmverschraubungΦ6,

Klemmverschraubung 3/8 Zoll;Klemmverschraubung 1/4 Zoll;

KompressionsverschraubungΦ3,

Klemmverschraubung 1/8 Zoll;KlemmverschraubungΦ3;

Kompressionsverschraubung 1/4 Zoll,

Ф6(innen)×1Schlauch;ф5(innen)×1,5Schlauch;ф4(innen)×1Schlauch;

W-Dichtung,

A-sael;

C-Dichtung

Gewicht

1 kg

0,8 kg

1,2 kg

1 kg

1,2 kg

1 kg

 

 

 

 

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