Mass Flow Controller Mass Flow Meter CS200
විශේෂාංග
1. ඉහළ නිරවද්‍යතාවය සහ වේගවත් ප්‍රතිචාරය
CS200 MFC හි නිරවද්‍යතාවය SP හි ± 1.0% දක්වා වැඩි දියුණු කර ඇති අතර වඩාත්ම දියුණු මාදිලිවල ප්රතිචාර කාලය තත්පර 0.8 ට වඩා අඩු වේ.
2. අඩු ශුන්‍ය ප්ලාවිතය සහ උෂ්ණත්ව සංගුණකය
නව සංවේදක තාක්ෂණය සොයා ගැනීම CS200 MFC ස්ථායීතාවය පවත්වා ගැනීමට සහ උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන්ට ඔරොත්තු දීමට හැකියාව ලබා දෙයි.ස්වයංක්‍රීය ශුන්‍ය ඇම්ප්ලිෆයර් නොමැතිව, අපේක්ෂිත ශුන්‍ය ප්ලාවිතය 0.6%FS/වසරකට වඩා අඩු වන අතර, උෂ්ණත්ව සංගුණකය 0.02%FS/℃(ශුන්‍ය) ，0.05%FS/ ℃ (span) ට වඩා අඩුය.
3. ලෝහ මුද්‍රා තැබූ ආකෘති සහ ඉහළ සංශුද්ධතාවය
පේළියේ CS200 MFC හි තෙත් කරන ලද ප්රවාහ මාර්ගය මතුපිට-නිෂ්ක්‍රීය මල නොබැඳෙන වානේ වලින් සාදා ඇත.සියලුම CS200 MFC SEMI සහ ISO 9001 ප්‍රමිතීන්ට අනුකූලව Sevenstar හි ultraclean Class 100-class cleanrooms තුළ එකලස් කර ඇත.
4. ගැළපෙන අතුරුමුහුණත්
CS200 MFC පහත අතුරුමුහුණත් සමඟ අනුකූල වේ, එය පාරිභෝගිකයා විසින් තෝරාගත හැක: ±8V-±16V ද්විත්ව අන්ත බල සැපයුම සහ +14V-+28V තනි-අන්ත බල සැපයුම;ඩිජිටල් හෝ ඇනලොග් සංඥා ආදානය සහ ප්රතිදානය;SEMI සම්මත යාන්ත්රික මානයන්;සහ RS-485 හෝ DeviceNet සන්නිවේදන මොඩියුලය.
5. විවිධ කාර්යයන්
ප්‍රබල පාරිභෝගික මෘදුකාංග එක් එක් මාදිලිය සමඟ සම්මත වන අතර බහු-ගෑස්, බහු-පරාස, ස්වයංක්‍රීය-ශුන්‍ය, එලාම්, මෘදු ආරම්භය සහ ප්‍රමාදය වැනි අමතර කාර්යයන් පාරිභෝගික තේරීම් ලෙස පවතී.
පිරිවිතර
| CS200 | |||||||
| ටයිප් කරන්න | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| සම්පූර්ණ පරිමාණ පරාසය (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| නිරවද්යතාව | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| රේඛීයත්වය | ± 0.5% FS | ||||||
| පුනරාවර්තන හැකියාව | ± 0.2% FS | ||||||
| ප්රතිචාර කාලය | ≤1 තත් | ≤0.8 තත්පර (SEMI E17-0600) | |||||
| කපාට විවේක ස්ථානය | සාමාන්යයෙන් වසා ඇත හෝ | කපාට නැත | සාමාන්යයෙන් වසා ඇත හෝ | කපාට නැත | සාමාන්යයෙන් වසා ඇත හෝ | කපාට නැත | |
| සාමාන්යයෙන් විවෘතයි (100 sccm≤FS≤5 slm) | සාමාන්යයෙන් විවෘතයි (100 sccm≤FS≤5 slm) | සාමාන්යයෙන් විවෘතයි (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| අවකල පීඩනය | 0.05～0.35MPa (ප්‍රවාහය≤10slm) | ජී0.02MPa | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | ජී0.02MPa | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | ජී0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa (10slm＜Flow≤30slm) | (0.1～0.35) MPa (＞10slm) | (0.1～0.35) MPa (＞10slm) | |||||
| 0.2～0.45MPa (ප්‍රවාහය＞30slm) | |||||||
| උපරිම මෙහෙයුම් පීඩනය | 0.45MPa | |||||
| උෂ්ණත්වය | බිංදුව:≤±0.05% FS/℃; | බිංදුව:≤±0.02% FS/℃;පරාසය:≤±0.05% FS/℃ | ||||
| සංගුණකය | පරතරය: ≤±0.1% FS/℃(ප්රවාහ≤30slm) | |||||
| පරාසය: ≤±0.2% FS/℃(ප්‍රවාහය>30slm) | ||||||
| සාධනය පීඩනය | 3MPa (435pisg) | |||||
| Zero Drift | ජීautozero නොමැතිව වසරකට 0.6%FS | |||||
| අඛණ්ඩතාව කාන්දු වීම | 1×10-9 atm·cc / තත්පර ඔහු | 1×10-10atm·cc / තත්පර ඔහු | ||||
| තෙත් කරන ලද ද්රව්ය | විටොන්; | ලෝහ?(මල නොබැඳෙන වානේ V/V, 5Ra) | ලෝහ | |||
| මතුපිට රසායන විද්යාව | —— | Cr/Fe අනුපාතය ＞2.0;CrO ඝණකම ＞angstroms 20 | ||||
| මතුපිට නිමාව | 25 රා | 10 රා | 25 රා | |||
| මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය | (5～45)℃ | (0～50)℃ | ||||
| ආදාන සංඥාව | ඩිජිටල්: RS485 හෝ ProfiBus | N/A | ඩිජිටල්: RS485 හෝ ProfiBus හෝ DeviceNetTM | N/A | ඩිජිටල්:RS485 හෝ ProfiBus හෝ DeviceNetTM | N/A |
| හෝ DeviceNetTM | ඇනලොග්:(0～5)VDC හෝ (4～20)mA හෝ (0～20)mA | ප්‍රතිසම:(0～5)VDC හෝ (4～20)mA?හෝ (0～20)mA | |||||
| ප්‍රතිසම:(0～5)VDC හෝ (4～20)mA හෝ(0～20)mA | |||||||
| ප්රතිදාන සංඥාව | ඩිජිටල්: RS485 හෝ DeviceNetTM හෝ ProfiBus Analog:(0～5)VDC හෝ (4～20)mA හෝ (0～20)mA | ||||||
| බල සැපයුම | ±8 ~ ±16 VDC හෝ +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| ඉලෙක්ට්රොනික සම්බන්ධකය | 9 pin male sub-D ，15 pin male sub-D ，DeviceNetTM,ProfiBus, ඇනලොග් | ||||||
| සවි කිරීම් | VCR1/4" M; VCO1/4" M; | VCR1/4"M; | |||||
| සම්පීඩන සවි කිරීමΦ10; සම්පීඩන සවි කිරීමΦ6 | සම්පීඩන සවි කිරීමΦ6, | ||||||
| සම්පීඩන සවි කිරීම 3/8";සම්පීඩන සවි කිරීම 1/4"; | සම්පීඩන සවි කිරීමΦ3, | ||||||
| සම්පීඩන සවි කිරීම 1/8";සම්පීඩන සවි කිරීමΦ3; | සම්පීඩන සවි කිරීම 1/4”, | ||||||
| Ф6(අභ්‍යන්තර)×1හෝස්;ф5(අභ්‍යන්තර)×1.5හෝස්;ф4(අභ්‍යන්තර)×1හෝස්; | W-seal, | ||||||
| A-sael ; | සී-මුද්‍රාව | ||||||
| බර | 1kg | 0.8kg | 1.2kg | 1kg | 1.2kg | 1kg | |
