کنترل کننده جریان جرم Mass Flowmeter CS200
امکانات
1. دقت بالا و پاسخ سریع
دقت MFC CS200 به 1.0% SP بهبود یافته است و پیشرفته ترین مدل ها زمان پاسخگویی کمتر از 0.8 ثانیه را کاهش می دهند.
2. رانش صفر و ضریب دما
اختراع فناوری حسگر جدید CS200 MFC را قادر می سازد تا پایداری خود را حفظ کرده و در برابر نوسانات دما مقاومت کند.بدون تقویت‌کننده صفر خودکار، رانش صفر مورد انتظار کمتر از 0.6% FS/سال و ضریب دما کمتر از 0.02% FS/℃(صفر)، 0.05%FS/℃ (فضه) است.
3. مدل های فلزی مهر و موم شده و ویژگی با خلوص بالا
مسیر جریان خیس شده CS200 MFC از جنس فولاد ضد زنگ غیرفعال شده سطحی ساخته شده است.همه MFC های CS200 در اتاق های تمیز کلاس 100 فوق تمیز Sevenstar مطابق با استانداردهای SEMI و ISO 9001 مونتاژ می شوند.
4. رابط های سازگار
CS200 MFC با رابط های زیر سازگار است که ممکن است توسط مشتری انتخاب شود: منبع تغذیه دو طرفه ± 8 ولت - 16 ولت و منبع تغذیه تک سر + 14 ولت - + 28 ولت.ورودی و خروجی سیگنال دیجیتال یا آنالوگ؛ابعاد مکانیکی استاندارد SEMI;و ماژول ارتباطی RS-485 یا DeviceNet.
5. توابع متفرقه
نرم افزار قدرتمند مشتری به صورت استاندارد با هر مدل ارائه می شود، در حالی که عملکردهای اضافی مانند چند گاز، چند برد، صفر خودکار، آلارم، شروع نرم و تاخیر به عنوان انتخاب مشتری در دسترس هستند.
مشخصات
| CS200 | |||||||
| تایپ کنید | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| محدوده مقیاس کامل (N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0~1،2،3،5،10،20،30،50)SLM | (0 تا 1،2،3،5،10،20،30)SLM | ||||||
| دقت | ± 1.0٪ SP (≥35٪ FS) ± 0.35٪ FS؟ (~35٪ FS) | ||||||
| خطی بودن | ± 0.5٪ FS | ||||||
| تکرارپذیری | ± 0.2٪ FS | ||||||
| زمان پاسخ | ≤1 ثانیه | ≤0.8 ثانیه (SEMI E17-0600) | |||||
| موقعیت استراحت سوپاپ | به طور معمول بسته یا | بدون دریچه | به طور معمول بسته یا | بدون دریچه | به طور معمول بسته یا | بدون دریچه | |
| به طور معمول باز (100 sccm≤FS≤5 slm) | به طور معمول باز (100 sccm≤FS≤5 slm) | به طور معمول باز (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| فشار دیفرانسیل | 0.05 تا 0.35 مگا پاسکال (جریان≤10 slm) | ＜0.02 مگا پاسکال | (0.05-0.35) مگاپاسکال (≤10slm) | ＜0.02 مگا پاسکال | (0.05-0.35) مگاپاسکال (≤10slm) | ＜0.02 مگا پاسکال | |
| 0.1 تا 0.35 مگا پاسکال (10 slm) جریان ≤30 slm) | (0.1 تا 0.35) مگاپاسکال (（＞10 slm) | (0.1 تا 0.35) مگاپاسکال (（＞10 slm) | |||||
| 0.2 تا 0.45 مگا پاسکال (جریان) 30 slm) | |||||||
| حداکثر فشار عملیاتی | 0.45 مگا پاسکال | |||||
| درجه حرارت | صفر:≤±0.05% FS/℃; | صفر:≤±0.02% FS/℃;دهانه: ≤±0.05% FS/℃ | ||||
| ضریب | دهانه: ≤±0.1% FS/℃（جریان≤30slm） | |||||
| دهانه: ≤±0.2% FS/℃ (جریان> 30 slm) | ||||||
| فشار اثبات | 3MPa (435pisg) | |||||
| دریفت صفر | ＜0.6% FS در سال بدون autozero | |||||
| یکپارچگی نشت | 1×10-9 atm·cc / ثانیه He | 1×10-10atm·cc / ثانیه او | ||||
| مواد خیس شده | ویتون؛ | فلز؟ (فولاد ضد زنگ V/V، 5Ra) | فلز | |||
| شیمی سطح | —— | نسبت کروم به آهن ＞2.0;ضخامت CrO ＞20 آنگستروم | ||||
| پایان سطح | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
| دمای عملیات | (5 تا 45 ℃ | (0 تا 50 ℃ | ||||
| سیگنال ورودی | دیجیتال: RS485 یا ProfiBus | N/A | دیجیتال: RS485 یا ProfiBus یا DeviceNetTM | N/A | دیجیتال:RS485 یا ProfiBus یا DeviceNetTM | N/A |
| یا DeviceNetTM | آنالوگ: (0 تا 5) VDC یا (4 تا 20) میلی آمپر یا (0 تا 20) میلی آمپر | آنالوگ: (0 تا 5) VDC یا (4 تا 20) میلی آمپر؟ یا (0 تا 20) میلی آمپر | |||||
| آنالوگ: (0 تا 5) VDC یا (4 تا 20) میلی آمپر یا (0 تا 20) میلی آمپر | |||||||
| سیگنال خروجی | دیجیتال: RS485 یا DeviceNetTM یا ProfiBus Analog: (0 ~ 5) VDC یا (4 ~ 20) mA یا (0 ~ 20) mA | ||||||
| منبع تغذیه | 8± ~ 16 ولت دی سی یا +14 تا 28 ولت دی سی (400 میلی آمپر) | ||||||
| کانکتور الکترونیکی | زیر D نر 9 پین , زیر D نر 15 پین ，DeviceNetTM،ProfiBus، آنالوگ | ||||||
| اتصالات | VCR1/4 اینچ M； VCO1/4 اینچ M； | VCR1/4 اینچ M; | |||||
| اتصالات فشرده سازیΦ10؛ اتصالات فشرده سازیΦ6. | اتصالات فشرده سازیΦ6، | ||||||
| اتصالات فشرده سازی 3/8 اینچ؛اتصالات فشرده سازی 1/4 اینچ | اتصالات فشرده سازیΦ3، | ||||||
| اتصالات فشرده سازی 1/8 اینچ؛اتصالات فشرده سازیΦ3； | اتصالات فشرده سازی 1/4 اینچ، | ||||||
| Ф6 (داخلی) × 1 شیلنگ؛ ф5 (داخلی) × 1.5 شیلنگ؛ ф4 (داخلی) × 1 شیلنگ; | مهر و موم W، | ||||||
| A-sael ; | C-seal | ||||||
| وزن | 1 کیلوگرم | 0.8 کیلوگرم | 1.2 کیلوگرم | 1 کیلوگرم | 1.2 کیلوگرم | 1 کیلوگرم | |
