Regulator masenog protoka Mjerač masenog protoka CS200
Karakteristike
1. Visoka tačnost i brza reakcija
Preciznost CS200 MFC je poboljšana na ±1,0% SP, a najnapredniji modeli imaju smanjeno vrijeme odziva manje od 0,8 sekundi.
2. Mali pomak nule i temperaturni koeficijent
Izum nove senzorske tehnologije omogućava CS200 MFC da održi stabilnost i izdrži temperaturne fluktuacije.Bez pojačala za automatsko nuliranje, očekivani pomak nule je manji od 0,6%FS/godišnje, a temperaturni koeficijent je manji od 0,02%FS/℃(nula)，0,05%FS/℃ (raspon).
3. Metalno zapečaćeni modeli i karakteristika visoke čistoće
Ovlaženi put protoka CS200 MFC konstruisan je od površinski pasiviranog nerđajućeg čelika.Svi CS200 MFC se sklapaju u Sevenstar-ovim ultračistim čistim sobama klase 100 u skladu sa SEMI i ISO 9001 standardima.
4. Kompatibilni interfejsi
CS200 MFC je kompatibilan sa sljedećim interfejsima, koje može izabrati kupac: ±8V-±16V dvostruko napajanje i +14V-+28V jednostrano napajanje;digitalni ili analogni ulaz i izlaz signala;SEMI standardne mehaničke dimenzije;i RS-485 ili DeviceNet komunikacijski modul.
5. Razne funkcije
Snažan softver za kupce dolazi standardno sa svakim modelom, dok su dodatne funkcije kao što su više plina, više raspona, auto-nula, alarmi, meki start i kašnjenje dostupne po izboru korisnika.
Specifikacija
| CS200 | |||||||
| Tip | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Puni raspon skale (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Preciznost | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS?(<35% FS) | ||||||
| Linearnost | ±0,5% FS | ||||||
| Ponovljivost | ±0,2% FS | ||||||
| Vrijeme odziva | ≤1sec | ≤0,8 sek (SEMI E17-0600) | |||||
| Odmorni položaj ventila | Normalno zatvoren ili | Nema ventila | Normalno zatvoren ili | Nema ventila | Normalno zatvoren ili | Nema ventila | |
| Normalno otvoren (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalno otvoren (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalno otvoren (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Diferencijalni pritisak | 0,05～0,35MPa (Protok≤10slm) | ＜0,02MPa | (0,05～0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02MPa | (0,05～0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02MPa | |
| 0.1～0.35MPa (10slm＜Protok≤30slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2～0,45MPa (Protok＞30slm) | |||||||
| Maksimalni radni pritisak | 0,45MPa | |||||
| Temperatura | Nula: ≤±0,05% FS/℃; | Nula: ≤±0,02% FS/℃;Raspon: ≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Koeficijent | Raspon: ≤±0,1% FS/℃ (Protok≤30slm) | |||||
| Raspon: ≤±0,2% FS/℃ (Protok>30slm) | ||||||
| Proof Pressure | 3MPa (435pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜0,6%FS godišnje bez automatske nule | |||||
| Integritet curenja | 1×10-9 atm·cc / sec He | 1×10-10atm·cc / sec He | ||||
| Ovlaženi materijali | Viton; | Metal? (Nerđajući čelik V/V, 5Ra) | Metal | |||
| Surface Chemistry | —— | Cr/Fe odnos ＞2,0;Debljina CrO ＞20 Angstroma | ||||
| Završna obrada | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Radna temperatura | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Ulazni signal | Digitalni: RS485 ili ProfiBus | N / A | Digitalni: RS485 ili ProfiBus ili DeviceNetTM | N / A | Digitalni: RS485 ili ProfiBus ili DeviceNetTM | N / A |
| ili DeviceNetTM | Analogno: (0～5)VDC ili (4～20)mA ili (0～20)mA | Analogno: (0～5)VDC ili (4～20)mA?ili (0～20)mA | |||||
| Analogno: (0～5)VDC ili (4～20)mA ili (0～20)mA | |||||||
| Izlazni signal | Digitalni: RS485 ili DeviceNetTM ili ProfiBus Analogni: (0～5)VDC ili (4～20)mA ili (0～20)mA | ||||||
| Napajanje | ±8 ~ ±16 VDC ili +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Elektronski konektor | 9-pinski muški sub-D ,15-pinski muški sub-D ，DeviceNetTM,ProfiBus ，Analogni | ||||||
| Fittings | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Kompresijski priključakΦ10; Kompresioni priključakΦ6； | Kompresijski spojΦ6, | ||||||
| Kompresijski spoj 3/8”;Kompresijski priključak 1/4”； | Kompresijski spojΦ3, | ||||||
| Kompresijski spoj 1/8”;Kompresijski priključakΦ3； | Kompresijski spoj 1/4”， | ||||||
| F6 (unutrašnje)×1 crijevo; f5 (unutrašnje)×1,5 crijevo; f4 (unutrašnje)×1 crijevo; | W-pečat, | ||||||
| A-sael ; | C-seal | ||||||
| Težina | 1kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1kg | 1,2 kg | 1kg | |
