Velika brzina pumpanja i izdržljiva Vakuumska pumpa za vazduh DRV sa rotacionom lopatnom pumpom niske buke
Vakum pumpa serije DRV je dvostepena vakuumska pumpa sa uljnim zaptivnim lopaticama, pogodna za aplikacije niskog i srednjeg vakuuma, uglavnom se koristi za uklanjanje vazduha i drugih suvih gasova.Jedan je od glavnih uređaja za niski i srednji vakuum, može se koristiti samostalno ili kao prednji
pumpe drugih vakuum pumpi.
Vakum pumpa ima karakteristike pouzdanog rada, manje habajućih delova, niske vibracije, niske buke i visoke efikasnosti.
Vakum pumpa SV serije je uvezena iz strane napredne tehnologije, a ključne komponente su uvozne komponente ili uvozne
materijala.Vakum pumpa serije DRV može u potpunosti zamijeniti slične strane proizvode.
Brošura za proizvod molekularne pumpe serije EVFB
model:
EVFB-100/301 Kombinovana integrisana molekularna pumpa
EVFB-160/401 Kombinovana integrisana molekularna pumpa
EVFB-160/450D Antivibraciona molekularna pumpa
EVFB-160/701 Kombinovana integrisana molekularna pumpa
EVFB-200/1401 Kombinovana integrisana molekularna pumpa
EVFB-250/2201 Kombinovana integrisana molekularna pumpa
EVFB-160/701Složena molekularna pumpa
EVFB-200/1401 Složena molekularna pumpa
EVFB-250/2201 Složena molekularna pumpa
EVFB-400/3600 Turbo molekularna pumpa
EVFB-400/4500 Turbo molekularna pumpa
Pregled proizvoda
Molekularna pumpa je vrsta vakuumske pumpe velike brzine s prijenosom rotacije zamaha, njen radni raspon tlaka je općenito 10-1Pa ~ 10-7Pa je jedna od važnih vakuumskih akvizicionih uređaja za postizanje visokog i ultra-visokog vakuuma.Molekularna pumpa ima prednosti brze startne brzine, širokog radnog opsega, niske potrošnje energije, visoke čistoće i jednostavnog održavanja.
Proizvodi molekularne pumpe opisani u ovoj knjizi primjera su druga generacija proizvoda
koje je kompanija nedavno lansirala, a koji su uglavnom dizajnirani i optimizirani za industrijske vakuumske i naučna istraživanja, uključujući prvu seriju proizvoda industrijskih vakuumskih molekularnih pumpi s integriranim kontrolerima i fleksibilnim scenarijima primjene.Prema kalibru, tu su uglavnom DN100, DN160, DN200, DN250 i DN400 i drugi proizvodi.
Integralna molekularna pumpa podmazana mašću
Glavne karakteristike ove serije proizvoda:
（1） Integrirani kontroler: Integrirani dizajn kontrolera, Olakšavanje integracije sistema, Ključ start-stop；
（2） Precizni ležaj: Precizni keramički kuglični ležaj za podmazivanje mašću, instaliran pod bilo kojim uglom;
（3） Visoka pouzdanost: ukupni rotori, BLDC tehnologija vožnje;
（4） Funkcionalna raznolikost: Puni asortiman dodatne opreme, dostupna su prilagođena rješenja;
（5） Omogućava podesivu funkciju brzine, kako bi se zadovoljili zahtjevi različitih brzina pumpanja;
Ova serija proizvoda je uglavnom pogodna za PVD, CVD, ploče s tekućim kristalima i druge industrijske premaze;Masena spektrometrija, fizika visokih energija, detekcija curenja vakuuma, medicina i biološki inženjering i druge oblasti naučnog istraživanja.
Tehničke specifikacije molekularne pumpe
| Model | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D（po mjeri） | ||||
| ☑The vakuum parametri | |||||||
| Pumpanje brzina (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Krajnji pritisak | < 5×10-6 Pa (LF) ;< 5×10 -7 Pa (CF) | < 8×10 -6 Pa (LF) < 8×10 -7 Pa (CF) | |||||
| Kompresija odnos | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| Maximumcontinuousinletpress ure | 10 Pa | 2Pa | 10 Pa | 2 Pa | 20 | 5 Pa | |
| MaximumcontinuousForelinepressure | 300 | 200 | 300 | 200 Pa | 20 | 10 Pa | |
| Maxforelinepressuretolerance | 1000 | 500 | 1000 | 500 Pa | 50 | 20 Pa | |
| ☑Fizički parametar | |||||||
| Ulaz prirubnica | DN100 ISO-K (LF) ili CF | DN160 ISO-K (LF) ili CF | |||||
| Foreline prirubnica | DN25 ISO-KF ili DN40KF (opciono) | ||||||
| Purge prirubnica | DN16 ISO-KF | ||||||
| Težina | 9,6 kg (ISO-K | 10 kg (ISO-K) | |||||
| 10 kg (CF) | 11 kg (CF) | ||||||
| Vibracije | ≤0,05 μm | ||||||
| Buka | ≤55 dB (Standardno zračno hlađenje) | ||||||
| Ležaj | Keramički kuglični ležaj podmazan mašću | ||||||
| Operating pozicija | Bilo koji | ||||||
| Oper.ambient Magnetic polje | ≤3 mT (Najvećih 10 mT, potrebno je prilagoditi) | ||||||
| Oper.ambie nt | Vazdušno hlađenje | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Vodeno hlađenje | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Zahtjevi za rashladnu vodu | Temperatura vode: 15-30 ℃; pritisak: 0,15 Mpa; PH6 ~ 8, jasno, bez ulja; protok: ≥1L/min | ||||||
| Preporučeno forepump | 2~6 L/s | 3~8L/s | |||||
| ☑Kontroler parametri | |||||||
| Kontroler | EVFB-II | ||||||
| Rotacijski brzina | 48000rp | 36000rpm | |||||
| Nisko brzina | 33600rp | 25200rpm | |||||
| Pokretanje vrijeme | ≤5min | ||||||
| voltaža | 48VAC±2% | ||||||
| Komunikacija način rada | RS-485 | ||||||
| Model | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑The vakuum parametri | |||||||
| Krajnji pritisak (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7 (CF) | ||||||
| Pumpanje brzina (L/s) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
| Kompresija odnos | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| Maximumcontinuousinletpress ure (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| Maksimalni kontinuirani prednji pritisak (Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress uretolerancija (Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑Fizički parametar | |||||||
| Ulaz prirubnica | DN160 ISO-K (LF) ili CF | DN200 ISO-K （LF）或 CF | DN250 ISO-K （LF）or | ||||
| Foreline prirubnica | DN25 ISO-KF ili KF40 (opciono) | DN40 ISO-KF ili KF50 (opciono) | |||||
| Purge prirubnica | DN16 ISO-KF | ||||||
| Preporučeno predpumpa (L/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| Težina（kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| Vibracije | ≤ | ||||||
| buka (dB) | ≤ | ||||||
| Ležaj | Keramički kuglični ležaj podmazan mašću | ||||||
| Operating pozicija | Bilo koji | ||||||
| Magnetic polje intenzitet (mT) | ≤3 (Najveći 10mT, potrebno je prilagoditi) | ||||||
| Oper.ambient temperaturu | Zrak hlađenje | 5~35℃ | |||||
| Voda hlađenje | 5~40℃ | ||||||
| Hlađenje vode zahtjevi | Temperatura vode: 15-25 ℃; pritisak: 0,15 Mpa; PH6 ~ 8, jasno, bez ulja ；protok:≥1.5L/min | ||||||
| ☑Kontroler parametri | |||||||
| Kontroler | EVFB-III-A | ||||||
| Komunikacija način rada | RS-485 | ||||||
| voltaža（V） | 220V AC±10% | ||||||
| Frekvencija（Hz） | 50/60±5% | ||||||
| Maksimum unos Snaga（W） | 100 | ||||||
| Start/stop kontrolu način rada | Dugmad kontrolera upravljaju startovanjem i zaustavljanjem /pokretanje i zaustavljanje RS485 kontrolera /DB15 Kontrola pokretanja i zaustavljanja | ||||||
| Zaštite | Prekomjerna struja kontrolera, prenapon, podnapon, zaštita od pregrijavanja, prekomjerna struja molekularne pumpe, preopterećenje, zaštita od pregrijavanja itd | ||||||
| Rotacijski brzina (o/min) | 36000±0,1% | 30000±0,1% | 24000±0,1% | ||||
| Nisko brzina (o/min) | 25200±0,1% | 21000±0,1% | 16800±0,1% | ||||
| Current（A） | ≤0,6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| Zaštita fitilj（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| Vrijeme početka rada（min） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| Zastoji（min） | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
Ukupna dimenzija
| Model | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100 LF | 130 | 253.5 | 180 | 170 | — | — |
| 100 CF | 152 | 274.5 | 201 | 191 | 130.3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160 LF | 180 | 239.5 | 169.5 | 159.5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 238.5 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160 LF | 180 | 243 | 169.5 | 159.5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 242 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 |
| Model | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 |
| EVFB-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| EVFB-200/1401 | 200CF | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 |
| EVFB-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| EVFB-250/2201 | 250CF | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
Naručivanje Informacije
| Broj | Proizvod model | Proizvod kod | Dodaci | Redbroj | Objasni |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | standardna molekularna pumpa | A3123 | Standardna pumpa (zračno hlađenje je standardno standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje(mali protok) | A3123-A | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje (mali protok) | |||
| Komponente za hlađenje vodom | A3123-B | Standardna pumpa + komponente za vodeno hlađenje (Zamijenite komponente hlađene zrakom) | |||
| Pribor za ventil za pročišćavanje (mali protok), komponente za hlađenje vode | A3123-C | Standardna pumpa + dodaci ventila za pročišćavanje (mali protok) + komponente za vodeno hlađenje (Zamijenite komponente hlađene zrakom) | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | standardna molekularna pumpa | A3124 | Standardna pumpa (zračno hlađenje je standardno standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje(mali protok) | A3124-A | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje (mali protok) | |||
| Komponente za hlađenje vodom | A3124-B | Standardna pumpa + komponente za vodeno hlađenje (Zamijenite komponente hlađene zrakom) | |||
| Pribor za ventil za pročišćavanje (mali protok), komponente za hlađenje vode | A3124-C | Standardna pumpa + dodaci ventila za pročišćavanje (mali protok) + komponente za vodeno hlađenje (Zamijenite komponente hlađene zrakom) | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | standardna molekularna pumpa | A3127 | Standardna pumpa (zračno hlađenje je standardno standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje(mali protok) | A3127-A | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje (mali protok) | |||
| Komponente za hlađenje vodom | A3127-B | Standardna pumpa + komponente za vodeno hlađenje (Zamijenite komponente hlađene zrakom) | |||
| Pribor za ventil za pročišćavanje (mali protok), komponente za hlađenje vode | A3127-C | Standardna pumpa + dodaci ventila za pročišćavanje (mali protok) + komponente za vodeno hlađenje (Zamijenite komponente hlađene zrakom) | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | standardna molekularna pumpa | A3128 | Standardna pumpa (zračno hlađenje je standardno standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje(mali protok) | A3128-A | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje (mali protok) | |||
| Komponente za hlađenje vodom | A3128-B | Standardna pumpa + komponente za vodeno hlađenje (Zamijenite komponente hlađene zrakom) | |||
| Pribor za ventil za pročišćavanje | A3128-C | Standardna pumpa + ventil za pročišćavanje |
| (mali protok), komponente za hlađenje vode | pribor (mali protok)+ Komponente za vodeno hlađenje (zamijenitevazdušno hlađene komponente) | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | standardna molekularna pumpa | A3129 | Standardna pumpa (zračno hlađenje je standardno standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje(mali protok) | A3129-A | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje (mali protok) | |||
| Komponente za hlađenje vodom | A3129-B | Standardna pumpa + komponente za vodeno hlađenje (Zamijenite komponente hlađene zrakom) | |||
| Pribor za ventil za pročišćavanje (mali protok), komponente za hlađenje vode | A3129-C | Standardna pumpa + dodaci ventila za pročišćavanje (mali protok) + komponente za vodeno hlađenje (Zamijenite komponente hlađene zrakom) | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | standardna molekularna pumpa | A3130 | Standardna pumpa (zračno hlađenje je standardno standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje(mali protok) | A3130-A | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje (mali protok) | |||
| Komponente za hlađenje vodom | A3130-B | Standardna pumpa + komponente za vodeno hlađenje (Zamijenite komponente hlađene zrakom) | |||
| Pribor za ventil za pročišćavanje (mali protok), komponente za hlađenje vode | A3130-C | Standardna pumpa + dodaci ventila za pročišćavanje (mali protok) + komponente za vodeno hlađenje (Zamijenite komponente hlađene zrakom) | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | standardna molekularna pumpa | A3139 | Standardna pumpa (vodeno hlađenjestandardno je standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje | A3139-A | Standardna pumpa + ventil za pročišćavanjedodaci | |||
| Komponente ventilatora | A3139-B | Standardna pumpa + ventilator | |||
| Pribor za ventile za odzračivanje、Komponente ventilatora | A3139-C | Standardna pumpa + ventil za pročišćavanjepribor + komponente ventilatora | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | standardna molekularna pumpa | A3140 | Standardna pumpa (vodeno hlađenjestandardno je standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje | A3140-A | Standardna pumpa + ventil za pročišćavanjedodaci | |||
| Komponente ventilatora | A3140-B | Standardna pumpa + komponente ventilatora | |||
| Pribor za ventile za odzračivanje、Komponente ventilatora | A3140-C | Standardna pumpa + ventil za pročišćavanjepribor + komponente ventilatora | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | standardna molekularna pumpa | A3135 | Standardna pumpa (vodeno hlađenje je standardno standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje | A3135-A | Standardna pumpa + ventil za pročišćavanjedodaci | |||
| Komponente ventilatora | A3135-B | Standardna pumpa + komponente ventilatora | |||
| Pribor za ventile za odzračivanje、 | A3135-C | Standardna pumpa + ventil za pročišćavanje |
| Komponente ventilatora | pribor + komponente ventilatora | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | standardna molekularna pumpa | A3136 | Standardna pumpa (Vodeno hlađenje je standardno standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje | A3136-A | Standardna pumpa + ventil za pročišćavanjedodaci | |||
| Komponente ventilatora | A3136-B | Standardna pumpa + komponente ventilatora | |||
| Pribor za ventil za pročišćavanje、 | A3136-C | Standardna pumpa + ventil za pročišćavanjepribor + komponente ventilatora | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | standardna molekularna pumpa | A3141 | Standardna pumpa (Vodeno hlađenje je standardno standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje | A3141-A | Standardna pumpa + ventil za pročišćavanjedodaci | |||
| Komponente ventilatora | A3141-B | Standardna pumpa + ventilator | |||
| Pribor za ventil za pročišćavanje、Komponente ventilatora | A3141-C | Standardna pumpa + ventil za pročišćavanjepribor + komponente ventilatora | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | standardna molekularna pumpa | A3142 | Standardna pumpa (Vodeno hlađenje je standardno standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje | A3142-A | Standardna pumpa + ventil za pročišćavanjedodaci | |||
| Komponente ventilatora | A3142-B | Standardna pumpa + ventilator | |||
| Pribor za ventil za pročišćavanje、 | A3142-C | Standardna pumpa + ventil za pročišćavanjepribor + komponente ventilatora | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Kontroler molekularne pumpe (Pogodno za molekularne pumpe kao što su EVFB-100/301、EVFB-160/401、EVFB-100/450D) |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Kontroler molekularne pumpe（ Pogodno za molekularne pumpe kao što su EVFB-160/701、EVFB-200/1401、EVFB-250/2201) |
Odvojene molekularne pumpe
Glavne karakteristike ove serije proizvoda:
（1） Odvojeni kontroler: AC220V napajanje, ključ start-stop;
（2） Visoka pouzdanost: ukupni rotori, BLDC tehnologija vožnje;
(3) Precizni ležaj: Precizni keramički kuglični ležaj, Postavljen pod bilo kojim uglom (Samo modeli podmazani mašću)；
（4） Funkcionalna raznolikost: Puni asortiman dodatne opreme, dostupna su prilagođena rješenja;
（5） Omogućava podesivu funkciju brzine, kako bi se zadovoljili zahtjevi različitih brzina pumpanja; Ova serija proizvoda uglavnom se primjenjuje na PVD, CVD, ploče s tekućim kristalima i druge
industrijsko premazivanje, naučna istraživanja i druge oblasti.
Tehnički parametri molekularne pumpe
| Model | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑The vakuum parametri | ||||||||||
| krajnji pritisak (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7 (CF) | |||||||||
| Pumpanje brzina (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Kompresija | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
| Maksimum kontinuirano ulazpritisak (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0.05 | 0.02 | 0.03 | 0.01 |
| Maksimumkontinuirano Foreline | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Maxforelinepressuretolerance (Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑Fizički parametar | ||||||||||
| Ulaz prirubnica | DN160 ISO-K (LF) ili CF | DN200 ISO-K (LF) ili CF | DN250 ISO-K (LF) ili CF | DN400 ISO-K (LF) ili CF | DN400 ISO-K (LF) ili CF | |||||
| Foreline prirubnica | DN25 ISO-KF,KF40 (Opciono) | DN40 ISO-KF, KF50 (opciono) | DN100 ISO-K (LF) | DN100 ISO-K (LF)iliKF50 (Opcionalno) | ||||||
| Purge prirubnica | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| Preporučeno | 4~10 L/s | 8~16 L/s | 16~24 L/s | 30~70 L/s | ||||||
| Težina（kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
| Vibracije | ≤ 0,05 | ≤ 0,3 | ||||
| Buka (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| Ležaj | Keramički kuglični ležaj podmazan mašću | Keramički kuglični ležaj | ||||
| Operating pozicija | Bilo koji | Vertikalno±5° | ||||
| Oper.Ambient Magnetsko polje | ≤ 3mT (najveći 10mT, potrebno je prilagoditi) | ≤ 3mT | ||||
| Oper.ambijentalno temperaturu | Zrak hlađenje | 5~35oC | / | / | ||
| Vodeno hlađenje | 5~40oC | |||||
| Hlađenje vode zahtjevi | Temperatura vode: 15-25 ℃; sigurno: 0,15Mpa; protok: ≥1,5L/min | protok: ≥ 3L/min | ||||
| ☑Kontroler parametri | ||||||
| Razdvojeni kontroler | EVFB-III-B (2U) | EVFB-VI (4U) | ||||
| Daljinski kontrolu | Ultra-distance kontrola (konsultujte naše inženjere) | |||||
| Komunikacija način rada | RS-485 | |||||
| voltaža（V） | Od 100 do 240VAC（± | 220VAC (±10%) | ||||
| Frekvencija（Hz） | 50/60Hz±5% | |||||
| Maximuminputpower（W） | 1000 | 1500 | ||||
| Start/stop kontrolu način rada | Dugmad kontrolera upravljaju startovanjem i zaustavljanjem /pokretanje i zaustavljanje RS485 kontrolera /DB15 Kontrola pokretanja i zaustavljanja | |||||
| Zaštite | Prekomjerna struja kontrolera, prenapon, podnapon, zaštita od pregrijavanja, prekomjerna struja molekularne pumpe,preopterećenje, zaštita od pregrijavanja itd | |||||
| Rotacijski brzina (o/min) | 36000±0,1% | 30000±0,1% | 24000±0,1% | 13500±0,1% | 16200±0,1% | |
| Nisko brzina (o/min) | 25200±0,1% | 21000±0,1% | 16800±0,1% | / | ||
| Current（A） | ≤ 0,6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| Zaštita fitilj（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| Pokretanje vrijeme（min） | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| Zastoji（min） | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| Oper. ambijentalno stanje | Bez korozivnih gasova i očiglednih čestica prašine；temperatura okoline:-10℃~50℃；okolinavlažnost: ≤ 90%, intenzitet vibracija: ≤ 0,5 g | |||||
0verall Dimension
| Model | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| 160CF | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| 200CF | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| 250CF | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
Dimenzije turbomolekularne pumpe EVFB-400/3600
Dimenzije turbomolekularne pumpe EVFB-400/4500
Izgled odvojenog kontrolera
EVFB-III-B (2U) odvojeni kontroler
EVFB-VI (4U) odvojeni kontroler
Red Informacije
| broj | Proizvod model | proizvod kod | Dodaci | Red broj | Objasni |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | Standardna molekularna pumpa | A3139-F | Standardna pumpa (Vodeno hlađenje je standardno standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje | A3139-FA | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje | |||
| Komponente ventilatora | A3139-FB | Standardna pumpa + komponente ventilatora | |||
| Pribor za ventil za pročišćavanje, komponente ventilatora | A3139-FC | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje + komponente ventilatora | |||
|
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | standardna molekularna pumpa | A3140-F | Standardna pumpa (Vodeno hlađenje je standardno standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje | A3140-FA | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje | |||
| Komponente ventilatora | A3140-FB | Standardna pumpa + komponente ventilatora | |||
| Pribor za ventil za pročišćavanje, komponente ventilatora | A3140-FC | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje + komponente ventilatora | |||
|
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | standardna molekularna pumpa | A3135-F | Standardna pumpa (vodeno hlađenje je standardno po defaultu) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje | A3135-FA | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje | |||
| Komponente ventilatora | A3135-FB | Standardna pumpa + komponente ventilatora | |||
| Pribor za ventil za pročišćavanje, komponente ventilatora | A3135-FC | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje + komponente ventilatora | |||
|
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | standardna molekularna pumpa | A3136-F | Standardna pumpa (Vodeno hlađenje je standardno standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje | A3136-FA | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje | |||
| Komponente ventilatora | A3136-FB | Standardna pumpa + komponente ventilatora | |||
| Pribor za ventil za pročišćavanje, komponente ventilatora | A3136-FC | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje + komponente ventilatora | |||
|
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | standardna molekularna pumpa | A3141-F | Standardna pumpa (Vodeno hlađenje je standardno standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje | A3141-FA | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje | |||
| Komponente ventilatora | A3141-FB | Standardna pumpa + komponente ventilatora | |||
| Pribor za ventil za pročišćavanje, komponente ventilatora | A3141-FC | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje + komponente ventilatora | |||
|
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | standardna molekularna pumpa | A3142-F | Standardna pumpa (Vodeno hlađenje je standardno standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje | A3142-FA | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje | |||
| Komponente ventilatora | A3142-FB | Standardna pumpa + komponente ventilatora | |||
| Pribor za ventil za pročišćavanje | A3142-FC | Standardna pumpa + ventil za pročišćavanje |
| Komponente ventilatora | pribor + komponente ventilatora | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | standardna molekularna pumpa | A3187 | Standardna pumpa (vodeno hlađenje standardno je standardno) |
| 8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | standardna molekularna pumpa | A3188 | Standardna pumpa (vodeno hlađenje standardno je standardno) |
|
9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | standardna molekularna pumpa | A3185 | Standardna pumpa (vodeno hlađenje je standardno standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje | A3185-A | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje | |||
|
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | standardna molekularna pumpa | A3186 | Standardna pumpa (vodeno hlađenje je standardno standardno) |
| Pribor za ventil za pročišćavanje | A3186-A | Standardna pumpa + pribor za ventil za pročišćavanje | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Ručni panel |
A3261-1 | Opciono za kupca ，Pogodno za molekularne pumpe kao što su EVFB-160/701 、 EVFB-200/1401 、EVFB-250/2201 |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | Odvojeni kontroler (4U) | A3270 | Pogodno za turbo molekularne pumpe kao što su EVFB-400/3600、EVFB-400/450 |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | Odvojeni kontroler (2U) | A3264 | Pogodno za molekularne pumpe kao što su EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201 (odvojeni tip) |
