Stor pumpehastighed holdbar Støjsvag DRV-luftpumpe med roterende vinge vakuumpumpe
DRV-seriens vakuumpumpe er en olietæt vakuumpumpe med to-trins roterende vinge, egnet til lav- og mellemvakuumapplikationer, hovedsagelig brugt til at fjerne luft og andre tørre gasser.Det er et af hovedudstyret til lav- og mellemvakuum, det kan bruges alene eller som forgrund
pumpe af andre vakuumpumper.
Vakuumpumpen har karakteristika for pålidelig drift, færre sliddele, lav vibration, lav støj og høj effektivitet.
SV-seriens vakuumpumpe er importeret fra udenlandsk avanceret teknologi, og nøglekomponenterne er importerede komponenter eller importerede
materialer.DRV-seriens vakuumpumpe kan fuldstændig erstatte lignende udenlandske produkter.
Brochure til EVFB Series Molecular Pump Product
Model:
EVFB-100/301 Sammensat integreret molekylær pumpe
EVFB-160/401 Sammensat integreret molekylær pumpe
EVFB-160/450D Anti-vibrations molekylær pumpe
EVFB-160/701 Sammensat integreret molekylær pumpe
EVFB-200/1401 Sammensat integreret molekylær pumpe
EVFB-250/2201 Sammensat integreret molekylær pumpe
EVFB-160/701 Sammensat molekylær pumpe
EVFB-200/1401 Sammensat molekylær pumpe
EVFB-250/2201 Sammensat molekylær pumpe
EVFB-400/3600 Turbo molekylær pumpe
EVFB-400/4500 Turbo molekylær pumpe
Produkt oversigt
Molekylær pumpe er en slags højhastigheds roterende momentumoverførselsvakuumpumpe, dens arbejdstrykområde er generelt 10-1Pa ~ 10-7Pa, er et af de vigtige vakuumopsamlingsudstyr til at opnå højvakuum og ultrahøjt vakuum.Molekylær pumpe har fordelene ved hurtig opstartshastighed, bredt arbejdsområde, lavt strømforbrug, høj renlighed og enkel vedligeholdelse.
Molekylærpumpeprodukter beskrevet i denne prøvebog er anden generation af produkter
nylanceret af virksomheden, som hovedsageligt er designet og optimeret til industrielt vakuum og videnskabelige forskningsområder, herunder den første serie af industrielle vakuummolekylære pumpeprodukter med integrerede controllere og fleksible anvendelsesscenarier.Ifølge kaliberen er der hovedsageligt DN100, DN160, DN200, DN250 og DN400 og andre produkter.
Fedtsmurt integreret molekylær pumpe
Hovedtræk ved denne serie af produkter:
（1） Integreret controller: Integreret controllerdesign，Letring af systemintegration，En vigtig start-stop；
（2） Præcisionsleje: Fedtsmøring præcisions keramiske kuglelejer， Installeret i enhver vinkel；
（3） Høj pålidelighed: Overordnede rotorer, BLDC-drivteknologi；
（4） Funktionel mangfoldighed：Fuldt udvalg af tilbehør，Tilpassede løsninger er tilgængelige；
（5） Giver justerbar hastighedsfunktion，For at opfylde kravene til en række forskellige pumpehastigheder；
Denne serie af produkter er hovedsagelig egnet til PVD, CVD, flydende krystalplade og anden industriel belægning;Massespektrometri, højenergifysik, vakuumlækagedetektion, medicin og biologisk ingeniørvidenskab og andre videnskabelige forskningsområder.
Molekylær pumpe tekniske specifikationer
| Model | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D(specialfremstillet） | ||||
| ☑Det vakuum parametre | |||||||
| Pumping fart (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Ultimativt tryk | < 5×10-6 Pa (LF);< 5×10 -7 Pa (CF) | < 8×10 -6 Pa (LF) < 8×10 -7 Pa (CF) | |||||
| Kompression forhold | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| Maksimalkontinuerliginletpress ure | 10 Pa | 2 Pa | 10 Pa | 2 Pa | 20 | 5 Pa | |
| Maksimalt kontinuerligt forlinietryk | 300 | 200 | 300 | 200 Pa | 20 | 10 Pa | |
| Maxforeline tryktolerance | 1000 | 500 | 1000 | 500 Pa | 50 | 20 Pa | |
| ☑Fysisk parameter | |||||||
| Fjord flange | DN100 ISO-K (LF) eller CF | DN160 ISO-K (LF) eller CF | |||||
| Forlinie flange | DN25 ISO-KF eller DN40KF (valgfrit) | ||||||
| Udrensning flange | DN16 ISO-KF | ||||||
| Vægt | 9,6 kg (ISO-K | 10 kg (ISO-K) | |||||
| 10 kg (CF) | 11 kg (CF) | ||||||
| Vibration | ≤0,05 μm | ||||||
| Støj | ≤55 dB (standard luftkøling) | ||||||
| Leje | Fedtsmurt keramisk kugleleje | ||||||
| Drift position | Nogen | ||||||
| Oper.ambient Magnetisk Mark | ≤3 mT（De største 10mT，Skal tilpasses） | ||||||
| Oper.ambie nt | Luftkøling | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Vandkøling | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Kølevandskrav | Vandtemperatur: 15-30℃; tryk: 0,15Mpa; PH6~8, klart, oliefrit; flow: ≥1L/min. | ||||||
| Anbefalede forpumpe | 2~6 L/s | 3~8L/s | |||||
| ☑Controller parametre | |||||||
| Controller | EVFB-II | ||||||
| Roterende fart | 48000rp | 36000 rpm | |||||
| Lav fart | 33600rp | 25200 rpm | |||||
| Start op tid | ≤5 min | ||||||
| Spænding | 48VAC±2% | ||||||
| Meddelelse mode | RS-485 | ||||||
| Model | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑Det vakuum parametre | |||||||
| Ultimativt tryk (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | ||||||
| Pumping fart (L/s) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
| Kompression forhold | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| Maksimalkontinuerliginletpress ure(Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| Maksimalt kontinuerligt forlinietryk (Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress uretolerance (Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑Fysisk parameter | |||||||
| Fjord flange | DN160 ISO-K（LF）eller CF | DN200 ISO-K (LF) eller CF | DN250 ISO-K (LF) eller | ||||
| Forlinie flange | DN25 ISO-KF eller KF40 (valgfrit) | DN40 ISO-KF eller KF50 (valgfrit) | |||||
| Udrensning flange | DN16 ISO-KF | ||||||
| Anbefalede forpumpe (L/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| Vægt(kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| Vibration | ≤ | ||||||
| Støj (dB) | ≤ | ||||||
| Leje | Fedtsmurt keramisk kugleleje | ||||||
| Drift position | Nogen | ||||||
| Magnetisk Mark intensitet (mT) | ≤3 (Den største 10mT, skal tilpasses) | ||||||
| Oper.ambient temperatur | Luft afkøling | 5~35℃ | |||||
| Vand afkøling | 5~40℃ | ||||||
| Køling vand krav | Vandtemperatur: 15-25 ℃; tryk: 0,15Mpa, PH6~8, klart, oliefri ；flow：≥1,5L/min | ||||||
| ☑Controller parametre | |||||||
| Controller | EVFB-III-A | ||||||
| Meddelelse mode | RS-485 | ||||||
| Spænding(V） | 220V AC±10 % | ||||||
| Frekvens(Hz） | 50/60±5 % | ||||||
| Maksimum input Strøm(W） | 100 | ||||||
| Start/stop styring mode | Controllerknapper kontrollerer start og stop /RS485 controller start og stop /DB15 Kontrolstart og stop | ||||||
| Beskyttelser | Controller overstrøm, overspænding, underspænding, overophedningsbeskyttelse, molekylær pumpe overstrøm, overbelastning, overophedningsbeskyttelse osv. | ||||||
| Roterende fart (r/min) | 36000±0,1 % | 30000±0,1 % | 24000±0,1 % | ||||
| Lav fart (r/min) | 25200±0,1 % | 21000±0,1 % | 16800±0,1 % | ||||
| Nuværende(A） | ≤0,6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| Beskyttelse sikring(A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| Opstartstid(min） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| Nedetid(min） | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
Overordnet dimension
| Model | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100 LF | 130 | 253,5 | 180 | 170 | — | — |
| 100 CF | 152 | 274,5 | 201 | 191 | 130,3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160 LF | 180 | 239,5 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 238,5 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160 LF | 180 | 243 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 242 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 |
| Model | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160 LF | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201,8 | 124,8 |
| EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 |
| EVFB-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155,1 |
| EVFB-200/1401 | 200CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155,1 |
| EVFB-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203,8 | 165,3 |
| EVFB-250/2201 | 250CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
Bestilling Information
| Nummer | Produkt model | Produkt kode | tilbehør | Bestillenummer | Forklare |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | standard molekylær pumpe | A3123 | Standardpumpen (luftkøling er standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler(lille flow) | A3123-A | Standardpumpen + renseventiltilbehør（lille flow） | |||
| Vandkølende komponenter | A3123-B | Standardpumpen + vandkølende komponenter (Udskift luftkølede komponenter) | |||
| Tilbehør til renseventiler （lille flow）、Vandkølende komponenter | A3123-C | Standardpumpen + renseventiltilbehør（lille flow）+ Vandkølende komponenter（Udskift luftkølede komponenter） | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | standard molekylær pumpe | A3124 | Standardpumpen (luftkøling er standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler(lille flow) | A3124-A | Standardpumpen + renseventiltilbehør（lille flow） | |||
| Vandkølende komponenter | A3124-B | Standardpumpen + vandkølende komponenter (Udskift luftkølede komponenter) | |||
| Tilbehør til renseventiler （lille flow）、Vandkølende komponenter | A3124-C | Standardpumpen + renseventiltilbehør（lille flow）+ Vandkølende komponenter（Udskift luftkølede komponenter） | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | standard molekylær pumpe | A3127 | Standardpumpen (luftkøling er standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler(lille flow) | A3127-A | Standardpumpen + renseventiltilbehør（lille flow） | |||
| Vandkølende komponenter | A3127-B | Standardpumpen + vandkølende komponenter (Udskift luftkølede komponenter) | |||
| Tilbehør til renseventiler （lille flow）、Vandkølende komponenter | A3127-C | Standardpumpen + renseventiltilbehør（lille flow）+ Vandkølende komponenter（Udskift luftkølede komponenter） | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | standard molekylær pumpe | A3128 | Standardpumpen (luftkøling er standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler(lille flow) | A3128-A | Standardpumpen + renseventiltilbehør（lille flow） | |||
| Vandkølende komponenter | A3128-B | Standardpumpen + vandkølende komponenter (Udskift luftkølede komponenter) | |||
| Tilbehør til renseventiler | A3128-C | Standard pumpe + renseventil |
| （lille flow）、Vandkølende komponenter | tilbehør（lille flow）+ Vandkølende komponenter(Udskiftluftkølede komponenter) | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | standard molekylær pumpe | A3129 | Standardpumpen (luftkøling er standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler(lille flow) | A3129-A | Standardpumpen + renseventiltilbehør（lille flow） | |||
| Vandkølende komponenter | A3129-B | Standardpumpen + vandkølende komponenter (Udskift luftkølede komponenter) | |||
| Tilbehør til renseventiler （lille flow）、Vandkølende komponenter | A3129-C | Standardpumpen + renseventiltilbehør（lille flow）+ Vandkølende komponenter（Udskift luftkølede komponenter） | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | standard molekylær pumpe | A3130 | Standardpumpen (luftkøling er standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler(lille flow) | A3130-A | Standardpumpen + renseventiltilbehør（lille flow） | |||
| Vandkølende komponenter | A3130-B | Standardpumpen + vandkølende komponenter (Udskift luftkølede komponenter) | |||
| Tilbehør til renseventiler （lille flow）、Vandkølende komponenter | A3130-C | Standardpumpen + renseventiltilbehør（lille flow）+ Vandkølende komponenter（Udskift luftkølede komponenter） | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | standard molekylær pumpe | A3139 | Standardpumpen (vandkølinger standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler | A3139-A | Standard pumpe + renseventiltilbehør | |||
| Ventilator komponenter | A3139-B | Standard pumpe + blæser | |||
| Tilbehør til renseventiler,Ventilator komponenter | A3139-C | Standard pumpe + renseventiltilbehør + Ventilatorkomponenter | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | standard molekylær pumpe | A3140 | Standardpumpen (vandkølinger standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler | A3140-A | Standard pumpe + renseventiltilbehør | |||
| Ventilator komponenter | A3140-B | Standard pumpe + ventilator komponenter | |||
| Tilbehør til renseventiler,Ventilator komponenter | A3140-C | Standard pumpe + renseventiltilbehør + Ventilatorkomponenter | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | standard molekylær pumpe | A3135 | Standardpumpen (Vandkøling er standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler | A3135-A | Standard pumpe + renseventiltilbehør | |||
| Ventilator komponenter | A3135-B | Standard pumpe + ventilator komponenter | |||
| Tilbehør til renseventiler, | A3135-C | Standard pumpe + renseventil |
| Ventilator komponenter | tilbehør + Ventilatorkomponenter | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | standard molekylær pumpe | A3136 | Standardpumpen (Vandkøling er standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler | A3136-A | Standard pumpe + renseventiltilbehør | |||
| Ventilator komponenter | A3136-B | Standard pumpe + ventilator komponenter | |||
| Tilbehør til renseventiler、 | A3136-C | Standard pumpe + renseventiltilbehør + Ventilatorkomponenter | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | standard molekylær pumpe | A3141 | Standardpumpen (Vandkøling er standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler | A3141-A | Standard pumpe + renseventiltilbehør | |||
| Ventilator komponenter | A3141-B | Standard pumpe + blæser | |||
| Tilbehør til renseventiler、Blæserkomponenter | A3141-C | Standard pumpe + renseventiltilbehør + Ventilatorkomponenter | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | standard molekylær pumpe | A3142 | Standardpumpen (Vandkøling er standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler | A3142-A | Standard pumpe + renseventiltilbehør | |||
| Ventilator komponenter | A3142-B | Standard pumpe + blæser | |||
| Tilbehør til renseventiler、 | A3142-C | Standard pumpe + renseventiltilbehør + Ventilatorkomponenter | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Molekylær pumpecontroller（ Velegnet til molekylære pumper såsom EVFB-100/301、EVFB-160/401、EVFB-100/450D） |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Molekylær pumpecontroller（ Velegnet til molekylære pumper såsom EVFB-160/701、EVFB-200/1401、EVFB-250/2201） |
Separerede Compound molekylære pumper
Hovedtræk ved denne serie af produkter:
（1） Separat controller：AC220V strømforsyning，En nøgle start-stop；
（2） Høj pålidelighed: Samlede rotorer，BLDC drivteknologi；
（3） Præcisionsleje: Præcisions keramiske kuglelejer，Installeret i enhver vinkel（Kun fedtsmurte modeller）；
（4） Funktionel mangfoldighed：Fuldt udvalg af tilbehør，Tilpassede løsninger er tilgængelige；
（5） Giver justerbar hastighedsfunktion，For at opfylde kravene til en række forskellige pumpehastigheder； Denne serie af produkter er hovedsageligt anvendelige til PVD, CVD, flydende krystalplade og andre
industriel belægning, videnskabelig forskning og andre områder.
Molekylær pumpe tekniske parametre
| Model | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑Det vakuum parametre | ||||||||||
| Ultimativt tryk (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | |||||||||
| Pumping fart (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Kompressions forhold | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
| Maksimum sammenhængende Fjordtryk (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0,05 | 0,02 | 0,03 | 0,01 |
| Maksimumsammenhængende Forlinie | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Maxforeline tryktolerance (Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑Fysisk parameter | ||||||||||
| Fjord flange | DN160 ISO-K（LF）ellerCF | DN200 ISO-K（LF）ellerCF | DN250 ISO-K（LF）ellerCF | DN400 ISO-K（LF）ellerCF | DN400 ISO-K（LF）ellerCF | |||||
| Forlinie flange | DN25 ISO-KF,KF40 (Valgfrit) | DN40 ISO-KF，KF50（Valgfrit） | DN100 ISO-K（LF） | DN100 ISO-K（LF）ellerKF50 (Valgfrit) | ||||||
| Udrensning flange | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| Anbefalede | 4~10 L/s | 8~16 L/s | 16~24 L/s | 30~70 L/s | ||||||
| Vægt(kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
| Vibration | ≤ 0,05 | ≤ 0,3 | ||||
| Støj (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| Leje | Fedtsmurt keramisk kugleleje | Keramisk kugleleje | ||||
| Drift position | Nogen | Lodret±5° | ||||
| Oper.Ambient Magnetfelt | ≤ 3mT（De største 10mT，Skal tilpasses） | ≤ 3mT | ||||
| Oper.omgivende temperatur | Luft afkøling | 5~35oC | / | / | ||
| Vandkøling | 5~40oC | |||||
| Køling vand krav | Vandtemperatur: 15-25 ℃; sikker: 0.15Mpa; flow: ≥1.5L/min. | flow：≥ 3L/min | ||||
| ☑Controller parametre | ||||||
| Adskilt controller | EVFB-III-B（2U） | EVFB-VI（4U） | ||||
| Fjern styring | Ultra-afstandskontrol (kontakt venligst vores ingeniører) | |||||
| Meddelelse mode | RS-485 | |||||
| Spænding(V） | Fra 100 til 240VAC（± | 220VAC（±10%） | ||||
| Frekvens(Hz） | 50/60Hz±5 % | |||||
| Maksimal indgangseffekt(W） | 1000 | 1500 | ||||
| Start/stop styring mode | Controllerknapper kontrollerer start og stop /RS485 controller start og stop /DB15 Kontrolstart og stop | |||||
| Beskyttelser | Controller overstrøm, overspænding, underspænding, overophedningsbeskyttelse, molekylær pumpe overstrøm,overbelastning, overophedningsbeskyttelse mv | |||||
| Roterende fart (r/min) | 36000±0,1 % | 30000±0,1 % | 24000±0,1 % | 13500±0,1 % | 16200±0,1 % | |
| Lav fart (r/min) | 25200±0,1 % | 21000±0,1 % | 16800±0,1 % | / | ||
| Nuværende(A） | ≤ 0,6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| Beskyttelse sikring(A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| Start op tid(min） | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| Nedetid(min） | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| Oper. omgivende tilstand | Ingen ætsende gasser og tydelige støvpartikler; miljøtemperatur: -10 ℃ ~ 50 ℃ ； miljøluftfugtighed: ≤ 90 %, vibrationsintensitet: ≤ 0,5 g | |||||
0overordnet Dimension
| Model | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 LF | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201,8 | 124,8 |
| 160CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155,1 |
| 200CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155,1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203,8 | 165,3 |
| 250CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
EVFB-400/3600 Turbomolekylær pumpe dimensioner
EVFB-400/4500 Turbomolekylær pumpe dimensioner
Udseende af adskilt controller
EVFB-III-B（2U）separeret controller
EVFB-VI（4U）separeret controller
Bestille Information
| nummer | Produkt model | produkt kode | tilbehør | Bestille nummer | Forklare |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | Standard molekylær pumpe | A3139-F | Standardpumpen (Vandkøling er standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler | A3139-FA | Standardpumpen + skylleventiltilbehør | |||
| Ventilator komponenter | A3139-FB | Standard pumpe + ventilator komponenter | |||
| Udluftningsventiltilbehør、Blæserkomponenter | A3139-FC | Standardpumpen + skylleventiltilbehør + ventilatorkomponenter | |||
|
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | standard molekylær pumpe | A3140-F | Standardpumpen (Vandkøling er standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler | A3140-FA | Standardpumpen + skylleventiltilbehør | |||
| Ventilator komponenter | A3140-FB | Standard pumpe + ventilator komponenter | |||
| Udluftningsventiltilbehør、Blæserkomponenter | A3140-FC | Standardpumpen + skylleventiltilbehør + ventilatorkomponenter | |||
|
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | standard molekylær pumpe | A3135-F | Standardpumpen (Vandkøling er standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler | A3135-FA | Standardpumpen + skylleventiltilbehør | |||
| Ventilator komponenter | A3135-FB | Standard pumpe + ventilator komponenter | |||
| Udluftningsventiltilbehør、Blæserkomponenter | A3135-FC | Standardpumpen + skylleventiltilbehør + ventilatorkomponenter | |||
|
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | standard molekylær pumpe | A3136-F | Standardpumpen (Vandkøling er standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler | A3136-FA | Standardpumpen + skylleventiltilbehør | |||
| Ventilator komponenter | A3136-FB | Standard pumpe + ventilator komponenter | |||
| Udluftningsventiltilbehør、Blæserkomponenter | A3136-FC | Standardpumpen + skylleventiltilbehør + ventilatorkomponenter | |||
|
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | standard molekylær pumpe | A3141-F | Standardpumpen (Vandkøling er standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler | A3141-FA | Standardpumpen + skylleventiltilbehør | |||
| Ventilator komponenter | A3141-FB | Standard pumpe + ventilator komponenter | |||
| Udluftningsventiltilbehør、Blæserkomponenter | A3141-FC | Standardpumpen + skylleventiltilbehør + ventilatorkomponenter | |||
|
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | standard molekylær pumpe | A3142-F | Standardpumpen (Vandkøling er standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler | A3142-FA | Standardpumpen + skylleventiltilbehør | |||
| Ventilator komponenter | A3142-FB | Standard pumpe + ventilator komponenter | |||
| Tilbehør til renseventiler | A3142-FC | Standard pumpe + renseventil |
| Ventilator komponenter | tilbehør + Ventilatorkomponenter | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | standard molekylær pumpe | A3187 | Standardpumpen (vandkøling er standard som standard) |
| 8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | standard molekylær pumpe | A3188 | Standardpumpen (vandkøling er standard som standard) |
|
9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | standard molekylær pumpe | A3185 | Standardpumpen (Vandkøling er standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler | A3185-A | Standardpumpen + skylleventiltilbehør | |||
|
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | standard molekylær pumpe | A3186 | Standardpumpen (Vandkøling er standard som standard) |
| Tilbehør til renseventiler | A3186-A | Standardpumpen + skylleventiltilbehør | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Håndbetjent panel |
A3261-1 | Kundevalgfri ，Velegnet til molekylære pumper såsom EVFB-160/701 、 EVFB-200/1401 、EVFB-250/2201 |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | Separat controller （4U） | A3270 | Velegnet til turbo molekylære pumper såsom EVFB-400/3600, EVFB-400/450 |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | Separat controller （2U） | A3264 | Velegnet til molekylære pumper såsom EVFB-160/701 、 EVFB- 200/1401 、 EVFB-250/2201 (adskilt type) |
