Grutte pumping snelheid duorsum Low noise DRV rotary vane luchtpomp vacuum pump
De fakuümpomp fan 'e DRV-searje is in dûbele poadium rotaryvane-oalje-fersegele fakuümpomp, geskikt foar lege en medium fakuümapplikaasjes, fral brûkt om lucht en oare droege gassen te ferwiderjen.It is ien fan 'e wichtichste apparatuer foar leech en medium fakuüm, it kin allinich brûkt wurde as as foarop
pomp fan oare fakuümpompen.
De fakuümpomp hat de skaaimerken fan betroubere rinnende prestaasjes, minder dragende dielen, lege trilling, leech lûd en hege effisjinsje.
De fakuümpomp fan 'e SV-searje wurdt ymporteare út bûtenlânske avansearre technology, en de kaaikomponinten binne ymporteare komponinten as ymporteare
materialen.De fakuümpomp fan 'e DRV-searje kin ferlykbere bûtenlânske produkten folslein ferfange.
Brosjuere foar it EVFB Series Molecular Pump Product
Model:
EVFB-100/301 Compound yntegreare molekulêre pomp
EVFB-160/401 Compound yntegreare molekulêre pomp
EVFB-160/450D Anti-vibraasje molekulêre pomp
EVFB-160/701Compound yntegreare molekulêre pomp
EVFB-200/1401 Compound yntegreare molekulêre pomp
EVFB-250/2201 Compound yntegreare molekulêre pomp
EVFB-160/701Compound molekulêre pomp
EVFB-200/1401 Compound molekulêre pomp
EVFB-250/2201 gearstalde molekulêre pomp
EVFB-400/3600 turbo molekulêre pomp
EVFB-400/4500 turbo molekulêre pomp
produktoersjoech
Molekulêre pomp is in soarte fan hege snelheid rotearjende momentum oerdracht fakuümpomp, syn wurkdruk berik is oer it algemien 10-1Pa ~ 10-7Pa, is ien fan de wichtige fakuüm akwisysje apparatuer te berikken hege fakuüm en ultra-hege fakuüm.Molekulêre pomp hat de foardielen fan snelle start-up snelheid, breed wurkjend berik, lege enerzjyferbrûk, hege skjinens en ienfâldich ûnderhâld.
Molekulêre pompprodukten beskreaun yn dit foarbyldboek binne de twadde generaasje produkten
nij lansearre troch it bedriuw, dy't benammen ûntwurpen en optimalisearre foar yndustriële fakuüm en wittenskiplike ûndersyk fjilden, ynklusyf de earste rige fan yndustriële fakuüm molekulêre pomp produkten mei yntegrearre controllers en fleksibele tapassing senario.Neffens it kaliber binne der benammen DN100, DN160, DN200, DN250 en DN400 en oare produkten.
Grease smeerde yntegraal molekulêre pomp
De wichtichste skaaimerken fan dizze searje produkten:
（1） Yntegreare controller: yntegreare controllerûntwerp，Fasilitearje systeemyntegraasje，In kaai start-stop；
（2） Precision bearing: Grease lubrication presys keramyske ball bearing, ynstallearre op elke hoeke;
（3） Hege betrouberens: Algemiene rotors, BLDC driuwende technology;
（4） Funksjoneel ferskaat: Folsleine oanbod fan aksessoires， Oanpaste oplossings binne beskikber；
（5） Soargje foar ferstelbere snelheid funksje, Om te foldwaan oan de easken fan in ferskaat oan pompen snelheid;
Dizze rige fan produkten binne benammen geskikt foar PVD, CVD, floeibere kristal plaat en oare yndustriële coating;Massaspektrometry, hege-enerzjyfysika, fakuümlekdeteksje, medisinen en biologyske technyk en oare wittenskiplike ûndersyksfjilden.
Molekulêre pump technyske spesifikaasjes
| Model | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D(maatwurk） | ||||
| ☑De fakuüm parameters | |||||||
| Pompen faasje (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Ultimate druk | < 5×10-6 Pa (LF);< 5×10 -7 Pa (CF) | < 8×10 -6 Pa (LF) < 8×10 -7 Pa (CF) | |||||
| Kompresje ferhâlding | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| Maksimum trochgeande ynletpress ure | 10 Pa | 2 Pa | 10 Pa | 2 Pa | 20 | 5 Pa | |
| Maksimum trochgeande foarlinedruk | 300 | 200 | 300 | 200 Pa | 20 | 10 Pa | |
| Maxforeline druktolerânsje | 1000 | 500 | 1000 | 500 Pa | 50 | 20 Pa | |
| ☑Lichaamlik parameter | |||||||
| Inlet flange | DN100 ISO-K (LF) of CF | DN160 ISO-K (LF) of CF | |||||
| Foarline flange | DN25 ISO-KF of DN40KF (Opsjoneel) | ||||||
| Purge flange | DN16 ISO-KF | ||||||
| Gewicht | 9,6 kg (ISO-K | 10 kg (ISO-K) | |||||
| 10 kg (CF) | 11 kg (CF) | ||||||
| Vibraasje | ≤0,05 μm | ||||||
| Lûd | ≤55 dB (De standert luchtkoeling) | ||||||
| Lager | Grease smeerde keramyske kogellager | ||||||
| Operating posysje | Elk | ||||||
| Oper.ambient Magnetysk fjild | ≤3 mT (De grutste 10mT, moatte oanpasse) | ||||||
| Opera.ambie nt | Aircooling | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Wetterkoeling | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Koelwetter easken | Wettertemperatuer: 15-30 ℃; druk: 0.15Mpa; PH6 ~ 8, dúdlik, oaljefrij; flow: ≥ 1L/min | ||||||
| Oanrikkemandearre foarpomp | 2~6 L/s | 3~8L/s | |||||
| ☑Controller parameters | |||||||
| Controller | EVFB-II | ||||||
| Rotaasje faasje | 48000rp | 36000 rpm | |||||
| Leech faasje | 33600 rp | 25200 rpm | |||||
| Opstarte tiid | ≤5 min | ||||||
| foltaazje | 48VAC±2% | ||||||
| Kommunikaasje wize | RS-485 | ||||||
| Model | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑De fakuüm parameters | |||||||
| Ultimate druk (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | ||||||
| Pompen faasje (L/s) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
| Kompresje ferhâlding | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| Maksimum trochgeande ynletpress ure (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| Maksimum kontinueuze foarlinedruk (Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress uretolerânsje (Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑Lichaamlik parameter | |||||||
| Inlet flange | DN160 ISO-K (LF) of CF | DN200 ISO-K (LF) 或 CF | DN250 ISO-K (LF) of | ||||
| Foarline flange | DN25 ISO-KF of KF40 (opsjoneel) | DN40 ISO-KF of KF50 (opsjoneel) | |||||
| Purge flange | DN16 ISO-KF | ||||||
| Oanrikkemandearre foarpomp (L/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| Gewicht(kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| Vibraasje | ≤ | ||||||
| Noise (dB) | ≤ | ||||||
| Lager | Grease smeerde keramyske kogellager | ||||||
| Operating posysje | Elk | ||||||
| Magnetysk fjild intensiteit (mT) | ≤3 （De grutste 10mT, moatte oanpasse） | ||||||
| Oper.ambient temperatuer | Loft cooling | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Wetter cooling | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Cooling wetter easken | Wettertemperatuer: 15-25 ℃; druk: 0.15Mpa; PH6 ~ 8, dúdlik, oaljefrij ；flow: ≥1.5L/min | ||||||
| ☑Controller parameters | |||||||
| Controller | EVFB-III-A | ||||||
| Kommunikaasje wize | RS-485 | ||||||
| foltaazje(V） | 220V AC±10% | ||||||
| Frekwinsje(Hz） | 50/60±5% | ||||||
| Maksimum ynfier Krêft(W） | 100 | ||||||
| Start / stopje Kontrolearje wize | Controller knoppen kontrôle start en stopje / RS485 controller start en stopje / DB15 Control start en stopje | ||||||
| Beskermings | Controller overcurrent, overvoltage, undervoltage, oververhitting beskerming, molekulêre pomp overcurrent, overload, oververhitting beskerming, etc | ||||||
| Rotaasje faasje (r/min) | 36000±0.1% | 30000±0,1% | 24000±0.1% | ||||
| Leech faasje (r/min) | 25200±0.1% | 21000±0.1% | 16800±0.1% | ||||
| Aktueel(A） | ≤0.6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| Beskerming fuse(A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| Opstarttiid(min） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| Downtime(min） | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
Algemiene dimensje
| Model | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100 LF | 130 | 253,5 | 180 | 170 | - | - |
| 100 CF | 152 | 274,5 | 201 | 191 | 130,3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160 LF | 180 | 239,5 | 169,5 | 159,5 | - | - |
| 160 CF | 202 | 238,5 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160 LF | 180 | 243 | 169,5 | 159,5 | - | - |
| 160 CF | 202 | 242 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 |
| Model | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160 LF | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201.8 | 124.8 |
| EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124.8 |
| EVFB-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155.1 |
| EVFB-200/1401 | 200CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155.1 |
| EVFB-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203.8 | 165,3 |
| EVFB-250/2201 | 250CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
Bestelle Ynformaasje
| Nûmer | Produkt model | Produkt koade | Accessories | Oardernûmer | Ferklearje |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | standert molekulêre pomp | A3123 | De standert pomp (Luchtkoeling is standert standert) |
| Purge valve accessoires(lytse stream) | A3123-A | De standert pomp + Purge valve accessoires (lytse flow) | |||
| Water-cooling komponinten | A3123-B | De standert pomp + Water-cooling komponinten (ferfange lucht koele komponinten) | |||
| Purge valve accessoires (lytse stream), komponinten foar wetterkoeling | A3123-C | De standert pomp + Purge fentyl accessoires (lytse flow) + Water-koeling komponinten (Ferfange luchtkuolle komponinten) | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | standert molekulêre pomp | A3124 | De standert pomp (Luchtkoeling is standert standert) |
| Purge valve accessoires(lytse stream) | A3124-A | De standert pomp + Purge valve accessoires (lytse flow) | |||
| Water-cooling komponinten | A3124-B | De standert pomp + Water-cooling komponinten (ferfange lucht koele komponinten) | |||
| Purge valve accessoires (lytse stream), komponinten foar wetterkoeling | A3124-C | De standert pomp + Purge fentyl accessoires (lytse flow) + Water-koeling komponinten (Ferfange luchtkuolle komponinten) | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | standert molekulêre pomp | A3127 | De standert pomp (Luchtkoeling is standert standert) |
| Purge valve accessoires(lytse stream) | A3127-A | De standert pomp + Purge valve accessoires (lytse flow) | |||
| Water-cooling komponinten | A3127-B | De standert pomp + Water-cooling komponinten (ferfange lucht koele komponinten) | |||
| Purge valve accessoires (lytse stream), komponinten foar wetterkoeling | A3127-C | De standert pomp + Purge fentyl accessoires (lytse flow) + Water-koeling komponinten (Ferfange luchtkuolle komponinten) | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | standert molekulêre pomp | A3128 | De standert pomp (Luchtkoeling is standert standert) |
| Purge valve accessoires(lytse stream) | A3128-A | De standert pomp + Purge valve accessoires (lytse flow) | |||
| Water-cooling komponinten | A3128-B | De standert pomp + Water-cooling komponinten (ferfange lucht koele komponinten) | |||
| Purge valve accessoires | A3128-C | De standert pomp + Purge klep |
| (lytse stream), komponinten foar wetterkoeling | aksessoires (lytse trochstreaming) + wetterkoelingskomponinten (ferfangeluchtkuolle komponinten) | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | standert molekulêre pomp | A3129 | De standert pomp (Luchtkoeling is standert standert) |
| Purge valve accessoires(lytse stream) | A3129-A | De standert pomp + Purge valve accessoires (lytse flow) | |||
| Water-cooling komponinten | A3129-B | De standert pomp + Water-cooling komponinten (ferfange lucht koele komponinten) | |||
| Purge valve accessoires (lytse stream), komponinten foar wetterkoeling | A3129-C | De standert pomp + Purge fentyl accessoires (lytse flow) + Water-koeling komponinten (Ferfange luchtkuolle komponinten) | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | standert molekulêre pomp | A3130 | De standert pomp (Luchtkoeling is standert standert) |
| Purge valve accessoires(lytse stream) | A3130-A | De standert pomp + Purge valve accessoires (lytse flow) | |||
| Water-cooling komponinten | A3130-B | De standert pomp + Water-cooling komponinten (ferfange lucht koele komponinten) | |||
| Purge valve accessoires (lytse stream), komponinten foar wetterkoeling | A3130-C | De standert pomp + Purge fentyl accessoires (lytse flow) + Water-koeling komponinten (Ferfange luchtkuolle komponinten) | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | standert molekulêre pomp | A3139 | De standert pomp (Waterkoelingis standert standert) |
| Purge valve accessoires | A3139-A | De standert pomp + Purge klepaccessoires | |||
| Fan komponinten | A3139-B | De standert pomp + Fan | |||
| Purge valve accessoires,Fan komponinten | A3139-C | De standert pomp + Purge klepaccessoires + Fan komponinten | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | standert molekulêre pomp | A3140 | De standert pomp (Waterkoelingis standert standert) |
| Purge valve accessoires | A3140-A | De standert pomp + Purge klepaccessoires | |||
| Fan komponinten | A3140-B | De standert pomp + Fan komponinten | |||
| Purge valve accessoires,Fan komponinten | A3140-C | De standert pomp + Purge klepaccessoires + Fan komponinten | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | standert molekulêre pomp | A3135 | De standert pomp (Waterkoeling is standert standert) |
| Purge valve accessoires | A3135-A | De standert pomp + Purge klepaccessoires | |||
| Fan komponinten | A3135-B | De standert pomp + Fan komponinten | |||
| Purge valve accessoires, | A3135-C | De standert pomp + Purge klep |
| Fan komponinten | accessoires + Fan komponinten | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | standert molekulêre pomp | A3136 | De standert pomp (Waterkoeling is standert standert) |
| Purge valve accessoires | A3136-A | De standert pomp + Purge klepaccessoires | |||
| Fan komponinten | A3136-B | De standert pomp + Fan komponinten | |||
| Purge valve accessoires, | A3136-C | De standert pomp + Purge klepaccessoires + Fan komponinten | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | standert molekulêre pomp | A3141 | De standert pomp (Waterkoeling is standert standert) |
| Purge valve accessoires | A3141-A | De standert pomp + Purge klepaccessoires | |||
| Fan komponinten | A3141-B | De standert pomp + Fan | |||
| Purge valve accessoires、 Fan komponinten | A3141-C | De standert pomp + Purge klepaccessoires + Fan komponinten | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | standert molekulêre pomp | A3142 | De standert pomp (Waterkoeling is standert standert) |
| Purge valve accessoires | A3142-A | De standert pomp + Purge klepaccessoires | |||
| Fan komponinten | A3142-B | De standert pomp + Fan | |||
| Purge valve accessoires, | A3142-C | De standert pomp + Purge klepaccessoires + Fan komponinten | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Molekulêre pompcontroller (Geskikt foar molekulêre pompen lykas EVFB-100/301, EVFB-160/401, EVFB-100/450D) |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Molekulêre pompcontroller (Geskikt foar molekulêre pompen lykas EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201) |
Skieden Compound molekulêre pompen
Haadfunksjes fan dizze searje produkten:
（1） Separearre controller: AC220V Netzteil, In kaai start-stop;
（2） Hege betrouberens: Algemiene rotors, BLDC driuwende technology;
（3） Precision bearing：Precision keramyske kogellager，Ynstallearre op elke hoeke（Allinnich grease smeerde modellen）；
（4） Funksjoneel ferskaat: Folsleine oanbod fan aksessoires， Oanpaste oplossings binne beskikber；
（5） Soargje foar ferstelbere snelheidsfunksje，Om te foldwaan oan de easken fan in ferskaat oan pompsnelheid； Dizze searje produkten binne benammen fan tapassing op PVD, CVD, floeibere kristalplaat en oare
yndustriële coating, wittenskiplik ûndersyk en oare fjilden.
Molekulêre pomp technyske parameters
| Model | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑De fakuüm parameters | ||||||||||
| Ultimatepressure (Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | |||||||||
| Pompen faasje (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Compression ratio | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
| Maksimum kontinu ynlaatdruk (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0.05 | 0.02 | 0.03 | 0.01 |
| Maksimumkontinu Foarline | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Maxforelinepressuretolerânsje (Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑Lichaamlik parameter | ||||||||||
| Inlet flange | DN160 ISO-K (LF) of CF | DN200 ISO-K (LF) of CF | DN250 ISO-K (LF) of CF | DN400 ISO-K (LF) of CF | DN400 ISO-K (LF) of CF | |||||
| Foarline flange | DN25 ISO-KF,KF40 (Opsjoneel) | DN40 ISO-KF, KF50 (Opsjoneel) | DN100 ISO-K (LF) | DN100 ISO-K (LF)orKF50 (Opsjoneel) | ||||||
| Purge flange | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| Oanrikkemandearre | 4~10 L/s | 8~16 L/s | 16~24 L/s | 30~70 L/s | ||||||
| Gewicht(kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
| Vibraasje | ≤ 0,05 | ≤ 0,3 | ||||
| Lûd (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| Lager | Grease smeerde keramyske kogellager | Keramyske kogellager | ||||
| Operating posysje | Elk | Fertikaal±5° | ||||
| Oper.Ambient Magnetysk fjild | ≤ 3mT (De grutste 10mT, moatte oanpasse) | ≤ 3mT | ||||
| Oper.ambient temperatuer | Loft cooling | 5~35oC | / | / | ||
| Wetterkoeling | 5~40oC | |||||
| Cooling wetter easken | Wettertemperatuer: 15-25 ℃; foar wis: 0.15Mpa; flow: ≥1.5L/min | flow: ≥ 3 l/min | ||||
| ☑Controller parameters | ||||||
| Skieden controller | EVFB-III-B(2U) | EVFB-VI (4U) | ||||
| Remote Kontrolearje | Ultra-ôfstân kontrôle (rieplachtsje asjebleaft ús yngenieurs) | |||||
| Kommunikaasje wize | RS-485 | |||||
| foltaazje(V） | Fan 100 oant 240VAC (± | 220VAC (± 10%) | ||||
| Frekwinsje(Hz） | 50/60Hz±5% | |||||
| Maksimum ynputpower(W） | 1000 | 1500 | ||||
| Start / stopje Kontrolearje wize | Controller knoppen kontrôle start en stopje / RS485 controller start en stopje / DB15 Control start en stopje | |||||
| Beskermings | Controller overcurrent, overvoltage, undervoltage, oververhitting beskerming, molekulêre pomp overcurrent,overload, oververhitting beskerming, etc | |||||
| Rotaasje faasje (r/min) | 36000±0.1% | 30000±0,1% | 24000±0.1% | 13500±0.1% | 16200±0.1% | |
| Leech faasje (r/min) | 25200±0.1% | 21000±0.1% | 16800±0.1% | / | ||
| Aktueel(A） | ≤ 0,6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| Beskerming fuse(A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| Opstarte tiid(min） | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| Downtime(min） | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| Oper. ambient betingst | Gjin korrosive gassen en dúdlike stofdieltsjes; omjouwingstemperatuer: -10 ℃ ~ 50 ℃; omjouwingFeuchte: ≤ 90%, trillingsintensiteit: ≤ 0.5g | |||||
0 algemiene Dimension
| Model | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 LF | 180 | 218,5 | 241,8 | 336,8 | 201.8 | 124.8 |
| 160CF | 202 | 218,5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124.8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155.1 |
| 200CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155.1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203.8 | 165,3 |
| 250CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
EVFB-400/3600 Turbomolecular pump ôfmjittings
EVFB-400/4500 Turbomolecular pump ôfmjittings
Uterlik fan skieden controller
EVFB-III-B (2U) skieden kontrôler
EVFB-VI (4U) skieden kontrôler
Oarder Ynformaasje
| nûmer | Produkt model | produkt koade | Accessories | Oarder nûmer | Ferklearje |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | Standert molekulêre pomp | A3139-F | De standert pomp (Waterkoeling is standert standert) |
| Purge valve accessoires | A3139-FA | De standert pomp + Purge valve accessoires | |||
| Fan komponinten | A3139-FB | De standert pomp + Fan komponinten | |||
| Purge valve accessoires, Fan komponinten | A3139-FC | De standert pomp + Purge valve accessoires + Fan komponinten | |||
|
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | standert molekulêre pomp | A3140-F | De standert pomp (Waterkoeling is standert standert) |
| Purge valve accessoires | A3140-FA | De standert pomp + Purge valve accessoires | |||
| Fan komponinten | A3140-FB | De standert pomp + Fan komponinten | |||
| Purge valve accessoires, Fan komponinten | A3140-FC | De standert pomp + Purge valve accessoires + Fan komponinten | |||
|
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | standert molekulêre pomp | A3135-F | De standert pomp (Waterkoeling is standert standert) |
| Purge valve accessoires | A3135-FA | De standert pomp + Purge valve accessoires | |||
| Fan komponinten | A3135-FB | De standert pomp + Fan komponinten | |||
| Purge valve accessoires, Fan komponinten | A3135-FC | De standert pomp + Purge valve accessoires + Fan komponinten | |||
|
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | standert molekulêre pomp | A3136-F | De standert pomp (Waterkoeling is standert standert) |
| Purge valve accessoires | A3136-FA | De standert pomp + Purge valve accessoires | |||
| Fan komponinten | A3136-FB | De standert pomp + Fan komponinten | |||
| Purge valve accessoires, Fan komponinten | A3136-FC | De standert pomp + Purge valve accessoires + Fan komponinten | |||
|
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | standert molekulêre pomp | A3141-F | De standert pomp (Waterkoeling is standert standert) |
| Purge valve accessoires | A3141-FA | De standert pomp + Purge valve accessoires | |||
| Fan komponinten | A3141-FB | De standert pomp + Fan komponinten | |||
| Purge valve accessoires, Fan komponinten | A3141-FC | De standert pomp + Purge valve accessoires + Fan komponinten | |||
|
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | standert molekulêre pomp | A3142-F | De standert pomp (Waterkoeling is standert standert) |
| Purge valve accessoires | A3142-FA | De standert pomp + Purge valve accessoires | |||
| Fan komponinten | A3142-FB | De standert pomp + Fan komponinten | |||
| Purge valve accessoires | A3142-FC | De standert pomp + Purge klep |
| Fan komponinten | accessoires + Fan komponinten | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | standert molekulêre pomp | A3187 | De standert pomp (Waterkoeling is standert standert) |
| 8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | standert molekulêre pomp | A3188 | De standert pomp (Waterkoeling is standert standert) |
|
9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | standert molekulêre pomp | A3185 | De standert pomp (Waterkoeling is standert standert) |
| Purge valve accessoires | A3185-A | De standert pomp + Purge valve accessoires | |||
|
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | standert molekulêre pomp | A3186 | De standert pomp (Waterkoeling is standert standert) |
| Purge valve accessoires | A3186-A | De standert pomp + Purge valve accessoires | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Hand betsjinne paniel |
A3261-1 | Klant opsjoneel ，Geskikt foar molekulêre pompen lykas EVFB-160/701 、 EVFB-200/1401 、 EVFB-250/2201 |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | Skieden controller (4U) | A3270 | Geskikt foar turbo molekulêre pompen lykas EVFB-400/3600, EVFB-400/450 |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | Skieden controller (2U) | A3264 | Geskikt foar molekulêre pompen lykas EVFB-160/701 、 EVFB-200/1401 、 EVFB-250/2201 (skieden type) |
