ความเร็วการสูบน้ำขนาดใหญ่ ทนทาน เสียงต่ำ DRV ปั๊มลมใบพัดหมุน ปั๊มสุญญากาศ
ปั๊มสุญญากาศซีรีส์ DRV เป็นปั๊มสุญญากาศปิดผนึกน้ำมันใบพัดหมุนแบบสองขั้นตอน เหมาะสำหรับการใช้งานในสุญญากาศระดับต่ำและปานกลาง โดยส่วนใหญ่จะใช้เพื่อขจัดอากาศและก๊าซแห้งอื่นๆเป็นหนึ่งในอุปกรณ์หลักสำหรับดูดฝุ่นระดับต่ำและปานกลาง จะใช้งานเดี่ยวๆ หรือใช้ด้านหน้าก็ได้
ปั๊มของปั๊มสุญญากาศอื่น ๆ
ปั๊มสุญญากาศมีคุณลักษณะเฉพาะคือประสิทธิภาพการทำงานที่เชื่อถือได้ ชิ้นส่วนที่สึกหรอน้อยลง การสั่นสะเทือนต่ำ เสียงรบกวนต่ำ และประสิทธิภาพสูง
ปั๊มสุญญากาศซีรีส์ SV นำเข้าจากเทคโนโลยีขั้นสูงจากต่างประเทศ และส่วนประกอบสำคัญคือส่วนประกอบนำเข้าหรือนำเข้า
วัสดุ.ปั๊มสุญญากาศซีรีย์ DRV สามารถแทนที่ผลิตภัณฑ์จากต่างประเทศที่คล้ายคลึงกันได้อย่างสมบูรณ์
โบรชัวร์สำหรับผลิตภัณฑ์ปั๊มโมเลกุลซีรีส์ EVFB
แบบอย่าง:
EVFB-100/301 ปั๊มโมเลกุลแบบผสมผสาน
EVFB-160/401 ปั๊มโมเลกุลแบบผสมผสาน
EVFB-160/450D ปั๊มโมเลกุลป้องกันการสั่นสะเทือน
EVFB-160/701ปั๊มโมเลกุลแบบผสมผสาน
EVFB-200/1401 ปั๊มโมเลกุลแบบผสมผสาน
EVFB-250/2201 ปั๊มโมเลกุลแบบผสมผสาน
EVFB-160/701ปั๊มโมเลกุลแบบผสม
EVFB-200/1401 ปั๊มโมเลกุลคอมพาวด์
EVFB-250/2201 ปั๊มโมเลกุลคอมพาวด์
EVFB-400/3600 ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ
EVFB-400/4500 ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ
ภาพรวมผลิตภัณฑ์
ปั๊มโมเลกุลเป็นปั๊มสุญญากาศถ่ายโอนโมเมนตัมหมุนความเร็วสูงชนิดหนึ่ง ช่วงแรงดันใช้งานโดยทั่วไปคือ 10-1ป่า ~ 10-7Pa เป็นหนึ่งในอุปกรณ์รับสุญญากาศที่สำคัญเพื่อให้ได้สุญญากาศสูงและสุญญากาศสูงพิเศษปั๊มโมเลกุลมีข้อได้เปรียบในด้านความเร็วเริ่มต้นที่รวดเร็ว ช่วงการทำงานที่กว้าง การใช้พลังงานต่ำ ความสะอาดสูง และการบำรุงรักษาง่าย
ผลิตภัณฑ์ปั๊มโมเลกุลที่อธิบายไว้ในหนังสือตัวอย่างนี้เป็นผลิตภัณฑ์รุ่นที่สอง
บริษัทเปิดตัวใหม่ ซึ่งส่วนใหญ่ได้รับการออกแบบและปรับให้เหมาะสมสำหรับสุญญากาศทางอุตสาหกรรมและการวิจัยทางวิทยาศาสตร์ ซึ่งรวมถึงผลิตภัณฑ์ปั๊มโมเลกุลสุญญากาศทางอุตสาหกรรมชุดแรกที่มีตัวควบคุมในตัวและสถานการณ์การใช้งานที่ยืดหยุ่นตามความสามารถนั้น ส่วนใหญ่จะมี DN100, DN160, DN200, DN250 และ DN400 และผลิตภัณฑ์อื่นๆ
ปั๊มโมเลกุลอินทิกรัลแบบหล่อลื่นด้วยจาระบี
คุณสมบัติหลักของผลิตภัณฑ์ชุดนี้:
(1) ตัวควบคุมแบบรวม: การออกแบบตัวควบคุมแบบรวม อำนวยความสะดวกในการรวมระบบ จุดเริ่มต้น-หยุดที่สำคัญ
(2) แบริ่งที่มีความแม่นยำ: แบริ่งลูกปืนเซรามิกที่มีความแม่นยำในการหล่อลื่นด้วยจาระบี ติดตั้งที่มุมใดก็ได้
(3) ความน่าเชื่อถือสูง：โรเตอร์โดยรวม เทคโนโลยีการขับขี่ BLDC
(4) ความหลากหลายในการใช้งาน：อุปกรณ์เสริมครบครัน，มีโซลูชั่นที่ปรับแต่งเองได้：
(5) มีฟังก์ชั่นปรับความเร็วได้ เพื่อตอบสนองความต้องการของความเร็วในการปั๊มที่หลากหลาย
ชุดผลิตภัณฑ์นี้ส่วนใหญ่เหมาะสำหรับ PVD, CVD, แผ่นคริสตัลเหลว และการเคลือบอุตสาหกรรมอื่น ๆแมสสเปกโตรเมตรี ฟิสิกส์พลังงานสูง การตรวจจับการรั่วไหลของสุญญากาศ การแพทย์และวิศวกรรมชีวภาพ และสาขาการวิจัยทางวิทยาศาสตร์อื่นๆ
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิคของปั๊มโมเลกุล
| แบบอย่าง | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D（ทำเอง) | ||||
| ☑ที่ เครื่องดูดฝุ่น พารามิเตอร์ | |||||||
| ปั้มน้ำ ความเร็ว (ลิตร/วินาที) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| สุดยอด ความดัน | < 5×10-6 Pa (LF) ;< 5×10 -7 Pa (CF) | < 8×10 -6 Pa (LF) < 8×10 -7 Pa (CF) | |||||
| การบีบอัด อัตราส่วน | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| สูงสุดต่อเนื่องเข้าก่อนss ใช่แล้ว | 10 ป่า | 2ป | 10 ป่า | 2 ป | 20 | 5 ป่า | |
| สูงสุดต่อเนื่องความดันหน้า | 300 | 200 | 300 | 200 ป่า | 20 | 10 ป่า | |
| ความอดทนต่อแรงกดดันสูงสุด | 1,000 | 500 | 1,000 | 500 พ่อ | 50 | 20 พ | |
| ☑ทางกายภาพ พารามิเตอร์ | |||||||
| ทางเข้า หน้าแปลน | DN100 ISO-K (LF) หรือซีเอฟ | DN160 ISO-K (LF) หรือ CF | |||||
| เบื้องหน้า หน้าแปลน | DN25 ISO-KF หรือ DN40KF (อุปกรณ์เสริม) | ||||||
| ล้างข้อมูล หน้าแปลน | DN16 ISO-KF | ||||||
| น้ำหนัก | 9.6 กก. (ISO-K | 10กก. (ISO-K) | |||||
| 10กก.(ซีเอฟ) | 11 กก. (CF) | ||||||
| การสั่นสะเทือน | ≤0.05 ไมโครเมตร | ||||||
| เสียงรบกวน | ≤55 dB (การระบายความร้อนด้วยอากาศมาตรฐาน) | ||||||
| การแบก | ลูกปืนเซรามิกหล่อลื่นด้วยจาระบี | ||||||
| การดำเนินงาน ตำแหน่ง | ใดๆ | ||||||
| โอเปร่า.บรรยากาศ แม่เหล็ก สนาม | ≤3 mT (สูงสุด 10mT จำเป็นต้องปรับแต่ง) | ||||||
| โอเปร่า.แอมบี nt | ระบายความร้อนด้วยอากาศ | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| ระบายความร้อนด้วยน้ำ | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| ข้อกำหนดน้ำหล่อเย็น | อุณหภูมิน้ำ: 15-30 ℃ ความดัน: 0.15Mpa; PH6 ~ 8 ชัดเจน ปราศจากน้ำมัน การไหล: ≥1L/min | ||||||
| ที่แนะนำ หน้าปั๊ม | 2~6 ลิตร/วินาที | 3~8ลิตร/วินาที | |||||
| ☑คอนโทรลเลอร์ พารามิเตอร์ | |||||||
| คอนโทรลเลอร์ | EVFB-II | ||||||
| หมุนเวียน ความเร็ว | 48000รูเปียห์ | 36000 รอบต่อนาที | |||||
| ต่ำ ความเร็ว | 33600rp | 25200 รอบต่อนาที | |||||
| การเริ่มต้น เวลา | ≤5นาที | ||||||
| แรงดันไฟฟ้า | 48VAC ± 2% | ||||||
| การสื่อสาร โหมด | RS-485 | ||||||
| แบบอย่าง | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑ที่ เครื่องดูดฝุ่น พารามิเตอร์ | |||||||
| สุดยอด ความดัน(ปาสคาล) | <5x10-6(LF));<5x10-7(CF) | ||||||
| ปั้มน้ำ ความเร็ว (ลิตร/วินาที) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
| การบีบอัด อัตราส่วน | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| สูงสุดต่อเนื่องเข้าก่อนss ใช่ไหม(Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| สูงสุดต่อเนื่องความดันหน้า (Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress ความอดทนต่อท่อไต (Pa) | 10 | 5 | 1,000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑ทางกายภาพ พารามิเตอร์ | |||||||
| ทางเข้า หน้าแปลน | DN160 ISO-K (LF) หรือ CF | DN200 ISO-K （LF）หรือ CF | DN250 ISO-K (LF)หรือ | ||||
| เบื้องหน้า หน้าแปลน | DN25 ISO-KF หรือ KF40 (อุปกรณ์เสริม) | DN40 ISO-KF หรือ KF50 (อุปกรณ์เสริม) | |||||
| ล้างข้อมูล หน้าแปลน | DN16 ISO-KF | ||||||
| ที่แนะนำ หน้าปั๊ม(ลิตร/วินาที) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| น้ำหนัก（kg) | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
| 23 (ซีเอฟ) | 34 | 45 (ซีเอฟ) | |||||
| การสั่นสะเทือน | ≤ | ||||||
| เสียงรบกวน(เดซิเบล) | ≤ | ||||||
| การแบก | ลูกปืนเซรามิกหล่อลื่นด้วยจาระบี | ||||||
| การดำเนินงาน ตำแหน่ง | ใดๆ | ||||||
| แม่เหล็ก สนาม ความเข้ม(เอ็มที) | ≤3 (10mT ที่ใหญ่ที่สุด，จำเป็นต้องปรับแต่ง) | ||||||
| โอเปร่า.บรรยากาศ อุณหภูมิ | อากาศ ระบายความร้อน | 5~35℃ | |||||
| น้ำ ระบายความร้อน | 5~40℃ | ||||||
| ระบายความร้อน น้ำ ความต้องการ | อุณหภูมิของน้ำ: 15-25 ℃ ความดัน: 0.15Mpa; PH6 ~ 8 ชัดเจน ปราศจากน้ำมัน ;การไหล：≥1.5L/นาที | ||||||
| ☑คอนโทรลเลอร์ พารามิเตอร์ | |||||||
| คอนโทรลเลอร์ | EVFB-III-A | ||||||
| การสื่อสาร โหมด | RS-485 | ||||||
| แรงดันไฟฟ้า（V) | 220V AC ± 10% | ||||||
| ความถี่（Hz) | 50/60±5% | ||||||
| ขีดสุด ป้อนข้อมูล พลัง（W) | 100 | ||||||
| เริ่มหยุด ควบคุม โหมด | ปุ่มคอนโทรลเลอร์ควบคุมการเริ่มและหยุด /การเริ่มและหยุดคอนโทรลเลอร์ RS485 /DB15 การควบคุมการเริ่มและหยุด | ||||||
| การป้องกัน | ตัวควบคุมกระแสเกิน, แรงดันไฟเกิน, แรงดันตก, การป้องกันความร้อนสูงเกินไป, กระแสไฟเกินของปั๊มโมเลกุล, โอเวอร์โหลด, การป้องกันความร้อนสูงเกินไป ฯลฯ | ||||||
| หมุนเวียน ความเร็ว (รอบ/นาที) | 36000±0.1% | 30,000 ± 0.1% | 24,000 ± 0.1% | ||||
| ต่ำ ความเร็ว (รอบ/นาที) | 25200±0.1% | 21,000±0.1% | 16800±0.1% | ||||
| ปัจจุบัน（A) | ≤0.6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| การป้องกัน ฟิวส์（A) | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| เวลาเริ่มต้นใช้งาน（นาที) | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| หยุดทำงาน（นาที) | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
มิติโดยรวม
| แบบอย่าง | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100 แอลเอฟ | 130 | 253.5 | 180 | 170 | — | — |
| 100 ซีเอฟ | 152 | 274.5 | 201 | 191 | 130.3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160 แอลเอฟ | 180 | 239.5 | 169.5 | 159.5 | — | — |
| 160 ซีเอฟ | 202 | 238.5 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160 แอลเอฟ | 180 | 243 | 169.5 | 159.5 | — | — |
| 160 ซีเอฟ | 202 | 242 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 |
| แบบอย่าง | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160 แอลเอฟ | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| EVFB-160/701 | 160ซีเอฟ | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 |
| EVFB-200/1400 | 200 แอลเอฟ | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| EVFB-200/1401 | 200ซีเอฟ | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 |
| EVFB-250/2200 | 250 แอลเอฟ | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| EVFB-250/2201 | 250ซีเอฟ | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
การสั่งซื้อ ข้อมูล
| ตัวเลข | ผลิตภัณฑ์ แบบอย่าง | ผลิตภัณฑ์ รหัส | เครื่องประดับ | คำสั่งตัวเลข | อธิบาย |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3123 | ปั๊มมาตรฐาน (ระบบระบายความร้อนด้วยอากาศเป็นมาตรฐานตามค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ(ไหลน้อย) | A3123-A | ปั๊มมาตรฐาน + อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ (ไหลน้อย) | |||
| ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ | A3123-B | ปั๊มมาตรฐาน + ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ (เปลี่ยนส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยอากาศ) | |||
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ （ไหลน้อย）、ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ | A3123-ซี | ปั๊มมาตรฐาน + อุปกรณ์เสริมวาล์วล้าง (ไหลน้อย) + ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ (เปลี่ยนส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยอากาศ) | |||
|
2 |
EVFB-100/301(ซีเอฟ) |
A3124 | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3124 | ปั๊มมาตรฐาน (ระบบระบายความร้อนด้วยอากาศเป็นมาตรฐานตามค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ(ไหลน้อย) | A3124-A | ปั๊มมาตรฐาน + อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ (ไหลน้อย) | |||
| ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ | A3124-B | ปั๊มมาตรฐาน + ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ (เปลี่ยนส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยอากาศ) | |||
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ （ไหลน้อย）、ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ | A3124-ซี | ปั๊มมาตรฐาน + อุปกรณ์เสริมวาล์วล้าง (ไหลน้อย) + ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ (เปลี่ยนส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยอากาศ) | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3127 | ปั๊มมาตรฐาน (ระบบระบายความร้อนด้วยอากาศเป็นมาตรฐานตามค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ(ไหลน้อย) | A3127-A | ปั๊มมาตรฐาน + อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ (ไหลน้อย) | |||
| ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ | A3127-B | ปั๊มมาตรฐาน + ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ (เปลี่ยนส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยอากาศ) | |||
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ （ไหลน้อย）、ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ | A3127-ซี | ปั๊มมาตรฐาน + อุปกรณ์เสริมวาล์วล้าง (ไหลน้อย) + ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ (เปลี่ยนส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยอากาศ) | |||
|
4 |
EVFB-160/401(ซีเอฟ) |
A3128 | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3128 | ปั๊มมาตรฐาน (ระบบระบายความร้อนด้วยอากาศเป็นมาตรฐานตามค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ(ไหลน้อย) | A3128-A | ปั๊มมาตรฐาน + อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ (ไหลน้อย) | |||
| ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ | A3128-B | ปั๊มมาตรฐาน + ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ (เปลี่ยนส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยอากาศ) | |||
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ | A3128-ซี | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำ |
| （ไหลน้อย）、ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ | อุปกรณ์เสริม (ไหลน้อย) + ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ (เปลี่ยนส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยอากาศ) | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3129 | ปั๊มมาตรฐาน (ระบบระบายความร้อนด้วยอากาศเป็นมาตรฐานตามค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ(ไหลน้อย) | A3129-A | ปั๊มมาตรฐาน + อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ (ไหลน้อย) | |||
| ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ | A3129-B | ปั๊มมาตรฐาน + ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ (เปลี่ยนส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยอากาศ) | |||
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ （ไหลน้อย）、ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ | A3129-ซี | ปั๊มมาตรฐาน + อุปกรณ์เสริมวาล์วล้าง (ไหลน้อย) + ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ (เปลี่ยนส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยอากาศ) | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(ซีเอฟ) |
A3130 | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3130 | ปั๊มมาตรฐาน (ระบบระบายความร้อนด้วยอากาศเป็นมาตรฐานตามค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ(ไหลน้อย) | A3130-A | ปั๊มมาตรฐาน + อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ (ไหลน้อย) | |||
| ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ | A3130-B | ปั๊มมาตรฐาน + ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ (เปลี่ยนส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยอากาศ) | |||
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ （ไหลน้อย）、ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ | A3130-ซี | ปั๊มมาตรฐาน + อุปกรณ์เสริมวาล์วล้าง (ไหลน้อย) + ส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยน้ำ (เปลี่ยนส่วนประกอบระบายความร้อนด้วยอากาศ) | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3139 | ปั๊มมาตรฐาน (ระบายความร้อนด้วยน้ำเป็นมาตรฐานโดยค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ | A3139-A | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำเครื่องประดับ | |||
| ส่วนประกอบของพัดลม | A3139-B | ปั้ม+พัดลมมาตรฐาน | |||
| อุปกรณ์ล้างวาล์ว、ส่วนประกอบของพัดลม | A3139-ซี | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำอุปกรณ์เสริม + ส่วนประกอบพัดลม | |||
|
8 |
EVFB-160/701(ซีเอฟ) |
A3140 | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3140 | ปั๊มมาตรฐาน (ระบายความร้อนด้วยน้ำเป็นมาตรฐานโดยค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ | A3140-A | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำเครื่องประดับ | |||
| ส่วนประกอบของพัดลม | A3140-B | ส่วนประกอบปั๊ม+พัดลมมาตรฐาน | |||
| อุปกรณ์ล้างวาล์ว、ส่วนประกอบของพัดลม | A3140-C | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำอุปกรณ์เสริม + ส่วนประกอบพัดลม | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3135 | ปั๊มมาตรฐาน (การระบายความร้อนด้วยน้ำเป็นมาตรฐานตามค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ | A3135-A | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำเครื่องประดับ | |||
| ส่วนประกอบของพัดลม | A3135-B | ส่วนประกอบปั๊ม+พัดลมมาตรฐาน | |||
| อุปกรณ์ล้างวาล์ว、 | A3135-ซี | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำ |
| ส่วนประกอบของพัดลม | อุปกรณ์เสริม + ส่วนประกอบพัดลม | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(ซีเอฟ) |
A3136 | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3136 | ปั๊มมาตรฐาน (การระบายความร้อนด้วยน้ำเป็นมาตรฐานตามค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ | A3136-A | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำเครื่องประดับ | |||
| ส่วนประกอบของพัดลม | A3136-B | ส่วนประกอบปั๊ม+พัดลมมาตรฐาน | |||
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ、 | A3136-ซี | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำอุปกรณ์เสริม + ส่วนประกอบพัดลม | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3141 | ปั๊มมาตรฐาน (การระบายความร้อนด้วยน้ำเป็นมาตรฐานตามค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ | A3141-A | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำเครื่องประดับ | |||
| ส่วนประกอบของพัดลม | A3141-B | ปั้ม+พัดลมมาตรฐาน | |||
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ、ส่วนประกอบของพัดลม | A3141-ซี | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำอุปกรณ์เสริม + ส่วนประกอบพัดลม | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(ซีเอฟ) |
A3142 | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3142 | ปั๊มมาตรฐาน (การระบายความร้อนด้วยน้ำเป็นมาตรฐานตามค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ | A3142-A | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำเครื่องประดับ | |||
| ส่วนประกอบของพัดลม | A3142-B | ปั้ม+พัดลมมาตรฐาน | |||
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ、 | A3142-ซี | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำอุปกรณ์เสริม + ส่วนประกอบพัดลม | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | ตัวควบคุมปั๊มโมเลกุล ( เหมาะสำหรับปั๊มโมเลกุลเช่น EVFB- 100/301、EVFB- 160/401、EVFB-100/450D) |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | ตัวควบคุมปั๊มโมเลกุล ( เหมาะสำหรับปั๊มโมเลกุลเช่น EVFB- 160/701、EVFB- 200/1401、EVFB-250/2201） |
ปั๊มโมเลกุลแบบแยกส่วน
คุณสมบัติหลักของผลิตภัณฑ์ชุดนี้：
(1) ตัวควบคุมแบบแยกส่วน: แหล่งจ่ายไฟ AC220V, ปุ่มสตาร์ท-สต็อป;
(2) ความน่าเชื่อถือสูง：โรเตอร์โดยรวม เทคโนโลยีการขับขี่ BLDC
(3) แบริ่งที่มีความแม่นยำ: แบริ่งลูกปืนเซรามิกที่มีความแม่นยำ ติดตั้งที่มุมใดก็ได้ (เฉพาะรุ่นที่หล่อลื่นด้วยจาระบี);
(4) ความหลากหลายในการใช้งาน：อุปกรณ์เสริมครบครัน，มีโซลูชั่นที่ปรับแต่งเองได้：
(5) มีฟังก์ชั่นปรับความเร็วได้ เพื่อตอบสนองความต้องการของความเร็วในการปั๊มที่หลากหลาย ชุดผลิตภัณฑ์นี้ส่วนใหญ่จะใช้ได้กับ PVD, CVD, แผ่นคริสตัลเหลวและอื่น ๆ
การเคลือบอุตสาหกรรม การวิจัยทางวิทยาศาสตร์ และสาขาอื่นๆ
พารามิเตอร์ทางเทคนิคของปั๊มโมเลกุล
| แบบอย่าง | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑ที่ เครื่องดูดฝุ่น พารามิเตอร์ | ||||||||||
| ความดันสูงสุด(Pa) | <5x10-6(LF));<5x10-7(CF) | |||||||||
| ปั้มน้ำ ความเร็ว (ลิตร/วินาที) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| อัตราส่วนแรงอัด | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
| ขีดสุด อย่างต่อเนื่อง ทางเข้าความดัน(ปาสคาล) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0.05 | 0.02 | 0.03 | 0.01 |
| ขีดสุดอย่างต่อเนื่อง เบื้องหน้า | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| ความอดทนต่อแรงดันสูงสุด (Pa) | 1,000 | 500 | 1,000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑ทางกายภาพ พารามิเตอร์ | ||||||||||
| ทางเข้า หน้าแปลน | DN160 ISO-K (LF) หรือ CF | DN200 ISO-K (LF) หรือ CF | DN250 ISO-K (LF) หรือ CF | DN400 ISO-K (LF) หรือ CF | DN400 ISO-K (LF) หรือ CF | |||||
| เบื้องหน้า หน้าแปลน | DN25 ISO-KF，KF40 (อุปกรณ์เสริม) | DN40 ISO-KF, KF50 (อุปกรณ์เสริม) | DN100 ISO-K (LF) | DN100 ISO-K (LF)หรือKF50 (อุปกรณ์เสริม) | ||||||
| ล้างข้อมูล หน้าแปลน | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| ที่แนะนำ | 4~10 ลิตร/วินาที | 8~16 ลิตร/วินาที | 16~24 ลิตร/วินาที | 30~70 ลิตร/วินาที | ||||||
| น้ำหนัก（kg) | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | µs 100 ISO-K(LF) | อยู่ที่ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (ซีเอฟ) | 34 (ซีเอฟ) | 45 (ซีเอฟ) | อยู่ที่ 105 (ซีเอฟ) | อยู่ที่ 88 (ซีเอฟ) | ||
| การสั่นสะเทือน | ≤ 0.05 | ≤ 0.3 | ||||
| เสียงรบกวน (เดซิเบล) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| การแบก | ลูกปืนเซรามิกหล่อลื่นด้วยจาระบี | ลูกปืนเซรามิก | ||||
| การดำเนินงาน ตำแหน่ง | ใดๆ | แนวตั้ง ±5° | ||||
| โอเปร่า.สภาพแวดล้อม สนามแม่เหล็ก | ≤ 3mT (10mT ที่ใหญ่ที่สุด，จำเป็นต้องปรับแต่ง) | ≤ 3ตัน | ||||
| ปฏิบัติการโดยรอบ อุณหภูมิ | อากาศ ระบายความร้อน | 5~35oซ | / | / | ||
| ระบายความร้อนด้วยน้ำ | 5~40oซ | |||||
| ระบายความร้อน น้ำ ความต้องการ | อุณหภูมิของน้ำ：15-25 ℃ มั่นใจล่วงหน้า：0.15Mpa การไหล：≥1.5L/นาที | อัตราการไหล：≥ 3 ลิตร/นาที | ||||
| ☑คอนโทรลเลอร์ พารามิเตอร์ | ||||||
| แยกออกจากกัน ตัวควบคุม | EVFB-III-B (2U) | EVFB-VI (4U) | ||||
| ระยะไกล ควบคุม | การควบคุมระยะไกลพิเศษ (โปรดปรึกษาวิศวกรของเรา) | |||||
| การสื่อสาร โหมด | RS-485 | |||||
| แรงดันไฟฟ้า（V) | ตั้งแต่ 100 ถึง 240VAC (± | 220VAC(±10%) | ||||
| ความถี่（Hz) | 50/60เฮิร์ต±5% | |||||
| กำลังไฟฟ้าเข้าสูงสุด（W) | 1,000 | 1500 | ||||
| เริ่มหยุด ควบคุม โหมด | ปุ่มคอนโทรลเลอร์ควบคุมการเริ่มและหยุด /การเริ่มและหยุดคอนโทรลเลอร์ RS485 /DB15 การควบคุมการเริ่มและหยุด | |||||
| การป้องกัน | ตัวควบคุมกระแสเกิน, แรงดันไฟเกิน, แรงดันตก, การป้องกันความร้อนสูงเกินไป, กระแสไฟเกินของปั๊มโมเลกุล,โอเวอร์โหลด, การป้องกันความร้อนสูงเกินไป ฯลฯ | |||||
| หมุนเวียน ความเร็ว (รอบ/นาที) | 36000±0.1% | 30,000 ± 0.1% | 24,000 ± 0.1% | 13500±0.1% | 16200±0.1% | |
| ต่ำ ความเร็ว (รอบ/นาที) | 25200±0.1% | 21,000±0.1% | 16800±0.1% | / | ||
| ปัจจุบัน（A) | ≤ 0.6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| การป้องกัน ฟิวส์（A) | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| การเริ่มต้น เวลา（นาที) | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| หยุดทำงาน（นาที) | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| ปฏิบัติการ โดยรอบ เงื่อนไข | ไม่มีก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและอนุภาคฝุ่นที่ชัดเจน อุณหภูมิสภาพแวดล้อม: -10 ℃ ~ 50 ℃ สภาพแวดล้อมความชื้น：≤ 90%，ความเข้มของการสั่นสะเทือน：≤ 0.5g | |||||
0มิติโดยรวม
| แบบอย่าง | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 แอลเอฟ | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| 160ซีเอฟ | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 แอลเอฟ | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| 200ซีเอฟ | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 แอลเอฟ | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| 250ซีเอฟ | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
ขนาดปั๊มโมเลกุล EVFB-400/3600 Turbomolecular
ขนาดปั๊มโมเลกุล EVFB-400/4500 Turbomolecular
ลักษณะของตัวควบคุมที่แยกจากกัน
คอนโทรลเลอร์แยก EVFB-III-B (2U)
คอนโทรลเลอร์แยก EVFB-VI (4U)
คำสั่ง ข้อมูล
| ตัวเลข | ผลิตภัณฑ์ แบบอย่าง | ผลิตภัณฑ์ รหัส | เครื่องประดับ | คำสั่ง ตัวเลข | อธิบาย |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3139-F | ปั๊มมาตรฐาน (การระบายความร้อนด้วยน้ำเป็นมาตรฐานตามค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ | A3139-เอฟเอ | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำอุปกรณ์เสริม | |||
| ส่วนประกอบของพัดลม | A3139-FB | ส่วนประกอบปั๊ม+พัดลมมาตรฐาน | |||
| อุปกรณ์ล้างวาล์ว、ส่วนประกอบพัดลม | A3139-เอฟซี | ปั๊มมาตรฐาน + อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่อากาศ + ส่วนประกอบพัดลม | |||
|
2 |
EVFB-160/701(ซีเอฟ) |
A3140-F | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3140-F | ปั๊มมาตรฐาน (การระบายความร้อนด้วยน้ำเป็นมาตรฐานตามค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ | A3140-เอฟเอ | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำอุปกรณ์เสริม | |||
| ส่วนประกอบของพัดลม | A3140-FB | ส่วนประกอบปั๊ม+พัดลมมาตรฐาน | |||
| อุปกรณ์ล้างวาล์ว、ส่วนประกอบพัดลม | A3140-เอฟซี | ปั๊มมาตรฐาน + อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่อากาศ + ส่วนประกอบพัดลม | |||
|
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3135-F | ปั๊มมาตรฐาน (ระบายความร้อนด้วยน้ำคือ มาตรฐานโดยค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ | A3135-เอฟเอ | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำอุปกรณ์เสริม | |||
| ส่วนประกอบของพัดลม | A3135-FB | ส่วนประกอบปั๊ม+พัดลมมาตรฐาน | |||
| อุปกรณ์ล้างวาล์ว、ส่วนประกอบพัดลม | A3135-เอฟซี | ปั๊มมาตรฐาน + อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่อากาศ + ส่วนประกอบพัดลม | |||
|
4 |
EVFB-200/1401(ซีเอฟ) |
A3136-F | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3136-F | ปั๊มมาตรฐาน (การระบายความร้อนด้วยน้ำเป็นมาตรฐานตามค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ | A3136-เอฟเอ | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำอุปกรณ์เสริม | |||
| ส่วนประกอบของพัดลม | A3136-FB | ส่วนประกอบปั๊ม+พัดลมมาตรฐาน | |||
| อุปกรณ์ล้างวาล์ว、ส่วนประกอบพัดลม | A3136-เอฟซี | ปั๊มมาตรฐาน + อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่อากาศ + ส่วนประกอบพัดลม | |||
|
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3141-F | ปั๊มมาตรฐาน (การระบายความร้อนด้วยน้ำเป็นมาตรฐานตามค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ | A3141-เอฟเอ | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำอุปกรณ์เสริม | |||
| ส่วนประกอบของพัดลม | A3141-FB | ส่วนประกอบปั๊ม+พัดลมมาตรฐาน | |||
| อุปกรณ์ล้างวาล์ว、ส่วนประกอบพัดลม | A3141-เอฟซี | ปั๊มมาตรฐาน + อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่อากาศ + ส่วนประกอบพัดลม | |||
|
6 |
EVFB-250/2201(ซีเอฟ) |
A3142-F | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3142-F | ปั๊มมาตรฐาน (การระบายความร้อนด้วยน้ำเป็นมาตรฐานตามค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ | A3142-เอฟเอ | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำอุปกรณ์เสริม | |||
| ส่วนประกอบของพัดลม | A3142-FB | ส่วนประกอบปั๊ม+พัดลมมาตรฐาน | |||
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ | A3142-เอฟซี | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำ |
| ส่วนประกอบของพัดลม | อุปกรณ์เสริม + ส่วนประกอบพัดลม | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3187 | ปั๊มมาตรฐาน (ระบายความร้อนด้วยน้ำ เป็นมาตรฐานโดยค่าเริ่มต้น) |
| 8 | EVFB-400/3600(ซีเอฟ) | A3188 | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3188 | ปั๊มมาตรฐาน (ระบายความร้อนด้วยน้ำ เป็นมาตรฐานโดยค่าเริ่มต้น) |
|
9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3185 | ปั๊มมาตรฐาน (การระบายความร้อนด้วยน้ำเป็นมาตรฐานตามค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ | A3185-A | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำอุปกรณ์เสริม | |||
|
10 |
EVFB-400/4500(ซีเอฟ) |
A3186 | ปั๊มโมเลกุลมาตรฐาน | A3186 | ปั๊มมาตรฐาน (การระบายความร้อนด้วยน้ำเป็นมาตรฐานตามค่าเริ่มต้น) |
| อุปกรณ์เสริมวาล์วไล่น้ำ | A3186-A | ปั๊มมาตรฐาน+วาล์วไล่น้ำอุปกรณ์เสริม | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
แผงควบคุมด้วยมือ |
A3261-1 | ลูกค้าเลือกได้，เหมาะสำหรับปั๊มโมเลกุลเช่น EVFB- 160/701 、 EVFB-200/1401 、EVFB-250/2201 |
| 12 | EVFB-VI | เอ3270 | ตัวควบคุมที่แยกจากกัน (4U) | เอ3270 | เหมาะสำหรับปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ เช่น EVFB-400/3600、EVFB-400/450 |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | ตัวควบคุมที่แยกจากกัน (2U) | A3264 | เหมาะสำหรับปั๊มโมเลกุล เช่น EVFB-160/701 、 EVFB- 200/1401 、 EVFB-250/2201 (ประเภทแยก) |
