Malaking pumping speed matibay Mababang ingay DRV rotary vane air pump vacuum pump
Ang DRV series vacuum pump ay isang double stage rotary vane oil-sealed vacuum pump na angkop para sa mababa at katamtamang mga aplikasyon ng vacuum, pangunahing ginagamit upang alisin ang hangin at iba pang mga tuyong gas.Ito ay isa sa mga pangunahing kagamitan para sa mababa at katamtamang vacuum, maaari itong magamit nang mag-isa o bilang isang unahan
pump ng iba pang mga vacuum pump.
Ang vacuum pump ay may mga katangian ng maaasahang pagganap ng pagpapatakbo, hindi gaanong suot na mga bahagi, mababang vibration, mababang ingay at mataas na kahusayan.
Ang SV series na vacuum pump ay na-import mula sa dayuhang advanced na teknolohiya, at ang mga pangunahing bahagi ay mga imported na bahagi o na-import.
materyales.Ang DRV series vacuum pump ay maaaring ganap na palitan ang mga katulad na dayuhang produkto.
Brochure para sa EVFB Series Molecular Pump Product
Model：
EVFB-100/301 Compound integrated molecular pump
EVFB-160/401 Compound integrated molecular pump
EVFB-160/450D Anti-vibration molecular pump
EVFB-160/701Compound integrated molecular pump
EVFB-200/1401 Compound integrated molecular pump
EVFB-250/2201 Compound integrated molecular pump
EVFB-160/701Compound molekular na bomba
EVFB-200/1401 Compound molecular pump
EVFB-250/2201 Compound molecular pump
EVFB-400/3600 Turbo molecular pump
EVFB-400/4500 Turbo molekular na bomba
Pangkalahatang-ideya ng Produkto
Molecular pump ay isang uri ng high speed rotating momentum transfer vacuum pump, ang working pressure range nito ay karaniwang 10-1Pa ~ 10-7Ang Pa, ay isa sa mahalagang kagamitan sa pagkuha ng vacuum upang makamit ang mataas na vacuum at ultra-high na vacuum.Ang molecular pump ay may mga pakinabang ng mabilis na bilis ng pagsisimula, malawak na hanay ng trabaho, mababang paggamit ng kuryente, mataas na kalinisan at simpleng pagpapanatili.
Ang mga produktong molecular pump na inilarawan sa sample na aklat na ito ay ang pangalawang henerasyon ng mga produkto
bagong inilunsad ng kumpanya, na pangunahing idinisenyo at na-optimize para sa pang-industriya na vacuum at pang-agham na mga larangan ng pananaliksik, kabilang ang unang serye ng mga produktong pang-industriya na vacuum molecular pump na may pinagsama-samang mga controller at flexible na mga sitwasyon ng aplikasyon.Ayon sa kalibre, mayroong pangunahing DN100, DN160, DN200, DN250 at DN400 at iba pang mga produkto.
Grasa lubricated integral molecular pump
Mga pangunahing tampok ng seryeng ito ng mga produkto:
（1） Pinagsamang controller: Pinagsamang disenyo ng controller，Padali sa pagsasama ng system，Isang pangunahing pagsisimula-stop；
（2） Precision bearing：Grease lubrication precision ceramic ball bearing，Naka-install sa anumang Anggulo；
（3） Mataas na pagiging maaasahan：Pangkalahatang rotors，BLDC driving technology；
（4） Functional diversity：Buong hanay ng mga accessory，Magagamit ang mga customized na solusyon；
（5） Magbigay ng adjustable speed function，Upang matugunan ang mga kinakailangan ng iba't ibang bilis ng pumping；
Ang seryeng ito ng mga produkto ay pangunahing angkop para sa PVD, CVD, likidong kristal na plato at iba pang pang-industriyang patong;Mass spectrometry, high-energy physics, vacuum leak detection, medisina at biological engineering at iba pang larangan ng siyentipikong pananaliksik.
Mga teknikal na Pagtutukoy ng Molecular pump
| Modelo | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D（custom-made） | ||||
| ☑Ang vacuum mga parameter | |||||||
| Pagbomba bilis (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Ultimate presyon | < 5×10-6 Pa (LF) ;< 5×10 -7 Pa (CF) | < 8×10 -6 Pa (LF) < 8×10 -7 Pa (CF) | |||||
| Compression ratio | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| Maximumcontinuousinletpress ure | 10 Pa | 2Pa | 10 Pa | 2 Pa | 20 | 5 Pa | |
| MaximumcontinuousForelinepressure | 300 | 200 | 300 | 200 Pa | 20 | 10 Pa | |
| Maxforelinepressuretolerance | 1000 | 500 | 1000 | 500 Pa | 50 | 20 Pa | |
| ☑Pisikal parameter | |||||||
| Inlet flange | DN100 ISO-K (LF) o CF | DN160 ISO-K (LF) o CF | |||||
| Foreline flange | DN25 ISO-KF o DN40KF（Opsyonal） | ||||||
| Purge flange | DN16 ISO-KF | ||||||
| Timbang | 9.6 kg（ISO-K | 10kg（ISO-K） | |||||
| 10kg（CF） | 11 kg（CF） | ||||||
| Panginginig ng boses | ≤0.05 μm | ||||||
| ingay | ≤55 dB（Ang karaniwang paglamig ng hangin） | ||||||
| tindig | Grasa lubricated ceramic ball bearing | ||||||
| Nagpapatakbo posisyon | Anuman | ||||||
| Oper.ambient Magnetic patlang | ≤3 mT（Pinakamalaking 10mT，Kailangang i-customize） | ||||||
| Oper.ambie nt | Pagpapalamig ng hangin | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Pagpapalamig ng tubig | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Mga kinakailangan sa pagpapalamig ng tubig | Temperatura ng tubig：15-30℃;presyon：0.15Mpa；PH6~8，malinaw，Oilfree；daloy：≥1L/min | ||||||
| Inirerekomenda forepump | 2~6 L/s | 3~8L/s | |||||
| ☑Controller mga parameter | |||||||
| Controller | EVFB-II | ||||||
| Paikot-ikot bilis | 48000rp | 36000rpm | |||||
| Mababa bilis | 33600rp | 25200rpm | |||||
| Magsimula oras | ≤5min | ||||||
| Boltahe | 48VAC±2% | ||||||
| Komunikasyon mode | RS-485 | ||||||
| Modelo | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑Ang vacuum mga parameter | |||||||
| Ultimate presyon(Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | ||||||
| Pagbomba bilis (L/s) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
| Compression ratio | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| Maximumcontinuousinletpress ure(Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| MaximumcontinuousForelinepressure(Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress uretolerance(Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑Pisikal parameter | |||||||
| Inlet flange | DN160 ISO-K（LF）o CF | DN200 ISO-K （LF）或 CF | DN250 ISO-K （LF）o | ||||
| Foreline flange | DN25 ISO-KF o KF40(Opsyonal) | DN40 ISO-KF o KF50(Opsyonal) | |||||
| Purge flange | DN16 ISO-KF | ||||||
| Inirerekomenda forepump(L/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| Timbang（kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| Panginginig ng boses | ≤ | ||||||
| Ingay(dB) | ≤ | ||||||
| tindig | Grasa lubricated ceramic ball bearing | ||||||
| Nagpapatakbo posisyon | Anuman | ||||||
| Magnetic patlang intensity(mT) | ≤3（Ang pinakamalaking 10mT，Kailangang i-customize） | ||||||
| Oper.ambient temperatura | Hangin paglamig | 5~35 ℃ | |||||
| Tubig paglamig | 5~40 ℃ | ||||||
| Paglamig tubig kinakailangan | Temperatura ng tubig：15-25 ℃; presyon：0.15Mpa；PH6~8，malinaw，Walang langis ；daloy：≥1.5L/min | ||||||
| ☑Controller mga parameter | |||||||
| Controller | EVFB-III-A | ||||||
| Komunikasyon mode | RS-485 | ||||||
| Boltahe（V） | 220V AC±10% | ||||||
| Dalas（Hz） | 50/60±5% | ||||||
| Pinakamataas input kapangyarihan（W） | 100 | ||||||
| Magsimula/ huminto kontrol mode | Kinokontrol ng mga button ng controller ang pagsisimula at paghinto /RS485 controller start and stop /DB15 Control start and stop | ||||||
| Mga proteksyon | Overcurrent ng controller, overvoltage, undervoltage, overheating protection, molecular pump overcurrent, overload, overheating protection, atbp | ||||||
| Paikot-ikot bilis (r/min) | 36000±0.1% | 30000±0.1% | 24000±0.1% | ||||
| Mababa bilis (r/min) | 25200±0.1% | 21000±0.1% | 16800±0.1% | ||||
| Kasalukuyan（A） | ≤0.6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| Proteksyon piyus（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| Oras ng pagsisimula（min） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| Downtime（min） | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
Pangkalahatang Dimensyon
| Modelo | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100 LF | 130 | 253.5 | 180 | 170 | — | — |
| 100 CF | 152 | 274.5 | 201 | 191 | 130.3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160 LF | 180 | 239.5 | 169.5 | 159.5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 238.5 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160 LF | 180 | 243 | 169.5 | 159.5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 242 | 168.5 | 158.5 | 181 | 20 |
| Modelo | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 |
| EVFB-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| EVFB-200/1401 | 200CF | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 |
| EVFB-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| EVFB-250/2201 | 250CF | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
Pag-order Impormasyon
| Numero | produkto modelo | produkto code | Mga accessories | Umordernumero | Ipaliwanag |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | karaniwang molekular na bomba | A3123 | Ang karaniwang bomba（Ang paglamig ng hangin ay karaniwan bilang default） |
| Purge valve accessories(maliit na daloy) | A3123-A | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories（maliit na daloy） | |||
| Mga sangkap na nagpapalamig ng tubig | A3123-B | Ang karaniwang pump + Water-cooling component（Palitan ang air cooled parts） | |||
| Purge valve accessories （maliit na daloy）、Mga bahagi na nagpapalamig ng tubig | A3123-C | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories（maliit na daloy）+ Water- cooling component（Palitan ang air cooled parts） | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | karaniwang molekular na bomba | A3124 | Ang karaniwang bomba（Ang paglamig ng hangin ay karaniwan bilang default） |
| Purge valve accessories(maliit na daloy) | A3124-A | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories（maliit na daloy） | |||
| Mga sangkap na nagpapalamig ng tubig | A3124-B | Ang karaniwang pump + Water-cooling component（Palitan ang air cooled parts） | |||
| Purge valve accessories （maliit na daloy）、Mga bahagi na nagpapalamig ng tubig | A3124-C | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories（maliit na daloy）+ Water- cooling component（Palitan ang air cooled parts） | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | karaniwang molekular na bomba | A3127 | Ang karaniwang bomba（Ang paglamig ng hangin ay karaniwan bilang default） |
| Purge valve accessories(maliit na daloy) | A3127-A | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories（maliit na daloy） | |||
| Mga sangkap na nagpapalamig ng tubig | A3127-B | Ang karaniwang pump + Water-cooling component（Palitan ang air cooled parts） | |||
| Purge valve accessories （maliit na daloy）、Mga bahagi na nagpapalamig ng tubig | A3127-C | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories（maliit na daloy）+ Water- cooling component（Palitan ang air cooled parts） | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | karaniwang molekular na bomba | A3128 | Ang karaniwang bomba（Ang paglamig ng hangin ay karaniwan bilang default） |
| Purge valve accessories(maliit na daloy) | A3128-A | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories（maliit na daloy） | |||
| Mga sangkap na nagpapalamig ng tubig | A3128-B | Ang karaniwang pump + Water-cooling component（Palitan ang air cooled parts） | |||
| Purge valve accessories | A3128-C | Ang karaniwang pump + Purge valve |
| （maliit na daloy）、Mga bahagi na nagpapalamig ng tubig | accessories（maliit na daloy）+ Water- cooling component(Palitanmga sangkap na pinalamig ng hangin) | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | karaniwang molekular na bomba | A3129 | Ang karaniwang bomba（Ang paglamig ng hangin ay karaniwan bilang default） |
| Purge valve accessories(maliit na daloy) | A3129-A | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories（maliit na daloy） | |||
| Mga sangkap na nagpapalamig ng tubig | A3129-B | Ang karaniwang pump + Water-cooling component（Palitan ang air cooled parts） | |||
| Purge valve accessories （maliit na daloy）、Mga bahagi na nagpapalamig ng tubig | A3129-C | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories（maliit na daloy）+ Water- cooling component（Palitan ang air cooled parts） | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | karaniwang molekular na bomba | A3130 | Ang karaniwang bomba（Ang paglamig ng hangin ay karaniwan bilang default） |
| Purge valve accessories(maliit na daloy) | A3130-A | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories（maliit na daloy） | |||
| Mga sangkap na nagpapalamig ng tubig | A3130-B | Ang karaniwang pump + Water-cooling component（Palitan ang air cooled parts） | |||
| Purge valve accessories （maliit na daloy）、Mga bahagi na nagpapalamig ng tubig | A3130-C | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories（maliit na daloy）+ Water- cooling component（Palitan ang air cooled parts） | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | karaniwang molekular na bomba | A3139 | Ang karaniwang bomba（Paglamig ng tubigay karaniwang bilang default） |
| Purge valve accessories | A3139-A | Ang karaniwang pump + Purge valvemga accessories | |||
| Mga bahagi ng fan | A3139-B | Ang karaniwang pump + Fan | |||
| Purge valve accessories,Mga bahagi ng fan | A3139-C | Ang karaniwang pump + Purge valvemga accessory + mga bahagi ng Fan | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | karaniwang molekular na bomba | A3140 | Ang karaniwang bomba（Paglamig ng tubigay karaniwang bilang default） |
| Purge valve accessories | A3140-A | Ang karaniwang pump + Purge valvemga accessories | |||
| Mga bahagi ng fan | A3140-B | Ang karaniwang mga bahagi ng pump + Fan | |||
| Purge valve accessories,Mga bahagi ng fan | A3140-C | Ang karaniwang pump + Purge valvemga accessory + mga bahagi ng Fan | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | karaniwang molekular na bomba | A3135 | Ang karaniwang bomba（Ang paglamig ng tubig ay karaniwan bilang default） |
| Purge valve accessories | A3135-A | Ang karaniwang pump + Purge valvemga accessories | |||
| Mga bahagi ng fan | A3135-B | Ang karaniwang mga bahagi ng pump + Fan | |||
| Purge valve accessories, | A3135-C | Ang karaniwang pump + Purge valve |
| Mga bahagi ng fan | mga accessory + mga bahagi ng Fan | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | karaniwang molekular na bomba | A3136 | Ang karaniwang bomba（Ang paglamig ng tubig ay karaniwan bilang default） |
| Purge valve accessories | A3136-A | Ang karaniwang pump + Purge valvemga accessories | |||
| Mga bahagi ng fan | A3136-B | Ang karaniwang mga bahagi ng pump + Fan | |||
| Purge valve accessories、 | A3136-C | Ang karaniwang pump + Purge valvemga accessory + mga bahagi ng Fan | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | karaniwang molekular na bomba | A3141 | Ang karaniwang bomba（Ang paglamig ng tubig ay karaniwan bilang default） |
| Purge valve accessories | A3141-A | Ang karaniwang pump + Purge valvemga accessories | |||
| Mga bahagi ng fan | A3141-B | Ang karaniwang pump + Fan | |||
| Purge valve accessories、Mga bahagi ng fan | A3141-C | Ang karaniwang pump + Purge valvemga accessory + mga bahagi ng Fan | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | karaniwang molekular na bomba | A3142 | Ang karaniwang bomba（Ang paglamig ng tubig ay karaniwan bilang default） |
| Purge valve accessories | A3142-A | Ang karaniwang pump + Purge valvemga accessories | |||
| Mga bahagi ng fan | A3142-B | Ang karaniwang pump + Fan | |||
| Purge valve accessories、 | A3142-C | Ang karaniwang pump + Purge valvemga accessory + mga bahagi ng Fan | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Molecular pump controller（ Angkop para sa molecular pump tulad ng EVFB- 100/301, EVFB- 160/401, EVFB-100/450D） |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Molecular pump controller（ Angkop para sa molecular pump tulad ng EVFB- 160/701、EVFB- 200/1401、EVFB-250/2201） |
Pinaghiwalay na Compound molekular na bomba
Pangunahing tampok ng seryeng ito ng mga produkto:
（1） Nakahiwalay na controller：AC220V power supply，Isang key start-stop；
（2） Mataas na pagiging maaasahan：Pangkalahatang rotors，BLDC driving technology；
（3） Precision bearing：Precision ceramic ball bearing，Naka-install sa anumang Anggulo（Mga grease lubricated lang na modelo）；
（4） Functional diversity：Buong hanay ng mga accessory，Magagamit ang mga customized na solusyon；
（5） Magbigay ng adjustable speed function，Upang matugunan ang mga kinakailangan ng iba't ibang bilis ng pumping； Ang serye ng mga produkto ay pangunahing naaangkop sa PVD, CVD, likidong kristal na plato at iba pang
industriyal na patong, siyentipikong pananaliksik at iba pang larangan.
Mga teknikal na parameter ng molecular pump
| Modelo | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑Ang vacuum mga parameter | ||||||||||
| Ultimatepressure(Pa) | <5x10-6（LF）；<5x10-7（CF） | |||||||||
| Pagbomba bilis (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Compression ratio | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
| Pinakamataas tuloy-tuloy pumapasokpresyon(Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0.05 | 0.02 | 0.03 | 0.01 |
| Pinakamataastuloy-tuloy Foreline | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Maxforelinepressuretolerance(Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑Pisikal parameter | ||||||||||
| Inlet flange | DN160 ISO-K（LF）oCF | DN200 ISO-K（LF）oCF | DN250 ISO-K（LF）oCF | DN400 ISO-K（LF）oCF | DN400 ISO-K（LF）oCF | |||||
| Foreline flange | DN25 ISO-KF，KF40（Opsyonal） | DN40 ISO-KF，KF50（Opsyonal） | DN100 ISO-K（LF） | DN100 ISO-K（LF）orKF50（Opsyonal） | ||||||
| Purge flange | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| Inirerekomenda | 4~10 L/s | 8~16 L/s | 16~24 L/s | 30~70 L/s | ||||||
| Timbang（kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
| Panginginig ng boses | ≤ 0.05 | ≤ 0.3 | ||||
| ingay (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| tindig | Grasa lubricated ceramic ball bearing | Ceramic ball bearing | ||||
| Nagpapatakbo posisyon | Anuman | Patayo±5° | ||||
| Oper.Ambient Magnetic field | ≤ 3mT（Ang pinakamalaking 10mT，Kailangang i-customize） | ≤ 3mT | ||||
| Oper.ambient temperatura | Hangin paglamig | 5~35oC | / | / | ||
| Pagpapalamig ng tubig | 5~40oC | |||||
| Paglamig tubig kinakailangan | Temperatura ng tubig：15-25 ℃；pre sure：0.15Mpa；daloy：≥1.5L/min | daloy：≥ 3L/min | ||||
| ☑Controller mga parameter | ||||||
| Hiwalay controller | EVFB-III-B（2U） | EVFB-VI（4U） | ||||
| Remote kontrol | Ultra-distance control （mangyaring kumonsulta sa aming mga inhinyero） | |||||
| Komunikasyon mode | RS-485 | |||||
| Boltahe（V） | Mula 100 hanggang 240VAC（± | 220VAC（±10%） | ||||
| Dalas（Hz） | 50/60Hz±5% | |||||
| Maximuminputpower（W） | 1000 | 1500 | ||||
| Magsimula/ huminto kontrol mode | Kinokontrol ng mga button ng controller ang pagsisimula at paghinto /RS485 controller start and stop /DB15 Control start and stop | |||||
| Mga proteksyon | Overcurrent ng controller, overvoltage, undervoltage, overheating protection, molecular pump overcurrent,overload, overheating protection, atbp | |||||
| Paikot-ikot bilis (r/min) | 36000±0.1% | 30000±0.1% | 24000±0.1% | 13500±0.1% | 16200±0.1% | |
| Mababa bilis (r/min) | 25200±0.1% | 21000±0.1% | 16800±0.1% | / | ||
| Kasalukuyan（A） | ≤ 0.6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| Proteksyon piyus（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| Magsimula oras（min） | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| Downtime（min） | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| Oper. ambient kundisyon | Walang kinakaing unti-unting mga gas at halatang dust particle；temperatura ng kapaligiran：-10℃~50℃；kapaligiranhalumigmig：≤ 90%, intensity ng vibration：≤ 0.5g | |||||
0kabuuang Dimensyon
| Modelo | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241.8 | 336.8 | 201.8 | 124.8 |
| 160CF | 202 | 218.5 | 268.8 | 359.8 | 224.8 | 124.8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257.5 | 352.5 | 231.5 | 155.1 |
| 200CF | 253 | 267 | 274.5 | 369.5 | 248.5 | 155.1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229.8 | 324.8 | 203.8 | 165.3 |
| 250CF | 305 | 296 | 259.8 | 354.8 | 233.8 | 165.3 |
EVFB-400/3600 Mga sukat ng Turbomolecular pump
EVFB-400/4500 Mga sukat ng Turbomolecular pump
Hitsura ng hiwalay na controller
EVFB-III-B（2U）nakahiwalay na controller
EVFB-VI（4U）nakahiwalay na controller
Umorder Impormasyon
| numero | produkto modelo | produkto code | Mga accessories | Umorder numero | Ipaliwanag |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | Karaniwang molekular na bomba | A3139-F | Ang karaniwang bomba（Ang paglamig ng tubig ay karaniwan bilang default） |
| Purge valve accessories | A3139-FA | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories | |||
| Mga bahagi ng fan | A3139-FB | Ang karaniwang mga bahagi ng pump + Fan | |||
| Purge valve accessories、Fan component | A3139-FC | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories + Fan components | |||
|
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | karaniwang molekular na bomba | A3140-F | Ang karaniwang bomba（Ang paglamig ng tubig ay karaniwan bilang default） |
| Purge valve accessories | A3140-FA | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories | |||
| Mga bahagi ng fan | A3140-FB | Ang karaniwang mga bahagi ng pump + Fan | |||
| Purge valve accessories、Fan component | A3140-FC | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories + Fan components | |||
|
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | karaniwang molekular na bomba | A3135-F | Ang karaniwang bomba（Ang paglamig ng tubig ay karaniwang bilang default） |
| Purge valve accessories | A3135-FA | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories | |||
| Mga bahagi ng fan | A3135-FB | Ang karaniwang mga bahagi ng pump + Fan | |||
| Purge valve accessories、Fan component | A3135-FC | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories + Fan components | |||
|
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | karaniwang molekular na bomba | A3136-F | Ang karaniwang bomba（Ang paglamig ng tubig ay karaniwan bilang default） |
| Purge valve accessories | A3136-FA | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories | |||
| Mga bahagi ng fan | A3136-FB | Ang karaniwang mga bahagi ng pump + Fan | |||
| Purge valve accessories、Fan component | A3136-FC | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories + Fan components | |||
|
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | karaniwang molekular na bomba | A3141-F | Ang karaniwang bomba（Ang paglamig ng tubig ay karaniwan bilang default） |
| Purge valve accessories | A3141-FA | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories | |||
| Mga bahagi ng fan | A3141-FB | Ang karaniwang mga bahagi ng pump + Fan | |||
| Purge valve accessories、Fan component | A3141-FC | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories + Fan components | |||
|
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | karaniwang molekular na bomba | A3142-F | Ang karaniwang bomba（Ang paglamig ng tubig ay karaniwan bilang default） |
| Purge valve accessories | A3142-FA | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories | |||
| Mga bahagi ng fan | A3142-FB | Ang karaniwang mga bahagi ng pump + Fan | |||
| Purge valve accessories | A3142-FC | Ang karaniwang pump + Purge valve |
| Mga bahagi ng fan | mga accessory + mga bahagi ng Fan | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | karaniwang molekular na bomba | A3187 | Ang karaniwang bomba（Paglamig ng tubig ay karaniwang bilang default） |
| 8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | karaniwang molekular na bomba | A3188 | Ang karaniwang bomba（Paglamig ng tubig ay karaniwang bilang default） |
|
9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | karaniwang molekular na bomba | A3185 | Ang karaniwang bomba（Ang paglamig ng tubig ay karaniwan bilang default） |
| Purge valve accessories | A3185-A | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories | |||
|
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | karaniwang molekular na bomba | A3186 | Ang karaniwang bomba（Ang paglamig ng tubig ay karaniwan bilang default） |
| Purge valve accessories | A3186-A | Ang karaniwang pump + Purge valve accessories | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Hand operated panel |
A3261-1 | Opsyonal ang customer ，Angkop para sa mga molekular na bomba gaya ng EVFB- 160/701 、 EVFB-200/1401 、EVFB-250/2201 |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | Nakahiwalay na controller （4U） | A3270 | Angkop para sa mga Turbo molecular pump tulad ng EVFB-400/3600, EVFB-400/450 |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | Nakahiwalay na controller （2U） | A3264 | Angkop para sa mga molekular na bomba gaya ng EVFB-160/701 、 EVFB- 200/1401 、 EVFB-250/2201 (separated type) |
