Suuri pumppausnopeus kestävä Hiljainen DRV pyörivä siipi ilmapumppu tyhjiöpumppu
DRV-sarjan tyhjiöpumppu on kaksivaiheinen pyörivä siipi, öljytiivisteinen tyhjiöpumppu, joka soveltuu matala- ja keskityhjiösovelluksiin ja jota käytetään pääasiassa ilman ja muiden kuivien kaasujen poistamiseen.Se on yksi tärkeimmistä matala- ja keskityhjiön laitteista, sitä voidaan käyttää yksinään tai etuosana
muiden tyhjiöpumppujen pumppu.
Tyhjiöpumpun ominaisuudet ovat luotettava toimintakyky, vähemmän kuluvia osia, alhainen tärinä, alhainen melu ja korkea hyötysuhde.
SV-sarjan tyhjiöpumppu tuodaan ulkomailta kehittyneestä teknologiasta, ja tärkeimmät komponentit ovat maahantuotuja tai tuotuja komponentteja.
materiaaleja.DRV-sarjan tyhjiöpumppu voi korvata täysin samanlaiset ulkomaiset tuotteet.
EVFB-sarjan molekyylipumpputuotteen esite
Malli:
EVFB-100/301 Yhdistelmäintegroitu molekyylipumppu
EVFB-160/401 Yhdistelmäintegroitu molekyylipumppu
EVFB-160/450D Anti-Vibration molekyylipumppu
EVFB-160/701 Yhdistelmäintegroitu molekyylipumppu
EVFB-200/1401 Yhdistelmäintegroitu molekyylipumppu
EVFB-250/2201 Yhdistelmäintegroitu molekyylipumppu
EVFB-160/701 Yhdistelmämolekyylipumppu
EVFB-200/1401 Yhdistelmämolekyylipumppu
EVFB-250/2201 Yhdistelmämolekyylipumppu
EVFB-400/3600 Turbo molekyylipumppu
EVFB-400/4500 Turbo molekyylipumppu
Tuote-esittely
Molekyylipumppu on eräänlainen nopea pyörivä momentinsiirtotyhjiöpumppu, sen työpainealue on yleensä 10-1Pa ~ 10-7Pa on yksi tärkeimmistä tyhjiönottolaitteista korkean tyhjiön ja erittäin korkean tyhjiön saavuttamiseksi.Molekyylipumpun etuna on nopea käynnistysnopeus, laaja toiminta-alue, alhainen virrankulutus, korkea puhtaus ja yksinkertainen huolto.
Tässä mallikirjassa kuvatut molekyylipumpputuotteet ovat toisen sukupolven tuotteita
Yrityksen äskettäin lanseeratut tuotteet on suunniteltu ja optimoitu pääasiassa teollisiin tyhjiö- ja tieteellisiin tutkimusaloihin, mukaan lukien ensimmäinen sarja teollisia tyhjiömolekyylipumpputuotteita, joissa on integroidut säätimet ja joustavat sovellusskenaariot.Kaliiperin mukaan on pääasiassa DN100, DN160, DN200, DN250 ja DN400 ja muita tuotteita.
Rasvavoideltu kiinteä molekyylipumppu
Tämän tuotesarjan pääominaisuudet:
(1) Integroitu ohjain: Integroitu ohjainrakenne, Helpottaa järjestelmän integrointia, Avain käynnistys-pysäytys；
(2) Tarkkuuslaakeri: Rasvavoitelu, tarkkuuskeraaminen kuulalaakeri, Asennettu mihin tahansa kulmaan；
(3) Korkea luotettavuus: Kokonaisroottorit, BLDC-ajotekniikka；
(4) Toiminnallinen monimuotoisuus: Täysi valikoima lisävarusteita, räätälöityjä ratkaisuja on saatavilla；
（5） Tarjoa säädettävä nopeustoiminto，Täyttääkseen erilaisten pumppausnopeuksien vaatimukset；
Tämä tuotesarja soveltuu pääasiassa PVD-, CVD-, nestekidelevyille ja muille teollisille pinnoitteille;Massaspektrometria, korkean energian fysiikka, tyhjiövuotojen havaitseminen, lääketiede ja biologinen tekniikka ja muut tieteelliset tutkimusalat.
Molekyylipumpun tekniset tiedot
| Malli | EVFB-100/301 | EVFB-160/401 | EVFB-160/450D（mittatilaustyönä） | ||||
| ☑The tyhjiö parametrit | |||||||
| Pumppaus nopeus (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | He | |
| 300 | 230 | 460 | 380 | 38 | 310 | ||
| Perimmäinen paine | < 5×10-6 Pa (LF);< 5 × 10 -7 Pa (CF) | < 8 × 10 -6 Pa (LF) < 8 × 10 -7 Pa (CF) | |||||
| Puristus suhde | > | > | > | > | > 1×108 | > 1×10 3 | |
| Suurin jatkuva sisäänmenoss ure | 10 Pa | 2Pa | 10 Pa | 2 Pa | 20 | 5 Pa | |
| Suurin jatkuva etulinjan paine | 300 | 200 | 300 | 200 Pa | 20 | 10 Pa | |
| Maxforeline-paineensietokyky | 1000 | 500 | 1000 | 500 Pa | 50 | 20 Pa | |
| ☑Fyysinen parametri | |||||||
| Sisääntulo laippa | DN100 ISO-K (LF) tai CF | DN160 ISO-K (LF) tai CF | |||||
| Etulinja laippa | DN25 ISO-KF tai DN40KF (valinnainen) | ||||||
| Puhdistaa laippa | DN16 ISO-KF | ||||||
| Paino | 9,6 kg (ISO-K | 10kg (ISO-K) | |||||
| 10 kg (CF) | 11 kg (CF) | ||||||
| Tärinä | ≤0,05 μm | ||||||
| Melu | ≤55 dB (vakioilmajäähdytys) | ||||||
| Laakeri | Rasvavoideltu keraaminen kuulalaakeri | ||||||
| Toiminnassa asema | Minkä tahansa | ||||||
| Oper.ambient Magneettinen ala | ≤3 mT (suurin 10 mT, muokattava) | ||||||
| Oper.ambie nt | Ilmastointi | 5 ~ 35 ℃ | |||||
| Vesijäähdytys | 5 ~ 40 ℃ | ||||||
| Jäähdytysveden vaatimukset | Veden lämpötila:15-30℃；paine：0,15Mpa；PH6~8，kirkas，Öljytön；virtaus：≥1L/min | ||||||
| Suositeltava etupumppu | 2-6 l/s | 3-8L/s | |||||
| ☑Ohjain parametrit | |||||||
| Ohjain | EVFB-II | ||||||
| Pyörivä nopeus | 48000 rp | 36000 rpm | |||||
| Matala nopeus | 33600 rp | 25200 rpm | |||||
| Aloittaa aika | ≤5 min | ||||||
| Jännite | 48 VAC±2 % | ||||||
| Viestintä tila | RS-485 | ||||||
| Malli | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | ||||
| ☑The tyhjiö parametrit | |||||||
| Perimmäinen paine (Pa) | <5x10-6(LF）；<5x10-7（CF） | ||||||
| Pumppaus nopeus (L/s) | N2 | He | N | He | N2 | He | |
| 6 | 5 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | ||
| Puristus suhde | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | |
| Suurin jatkuva sisäänmenoss ure (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | |
| Suurin jatkuva etulinjapaine (Pa) | 30 | 2 | 3 | 2 | 2 | 1 | |
| Maxforelinepress uretoleranssi (Pa) | 10 | 5 | 1000 | 5 | 5 | 2 | |
| ☑Fyysinen parametri | |||||||
| Sisääntulo laippa | DN160 ISO-K (LF) tai CF | DN200 ISO-K （LF）或 CF | DN250 ISO-K (LF) tai | ||||
| Etulinja laippa | DN25 ISO-KF tai KF40 (valinnainen) | DN40 ISO-KF tai KF50 (valinnainen) | |||||
| Puhdistaa laippa | DN16 ISO-KF | ||||||
| Suositeltava etupumppu (l/s) | 4~ | 8~ | 16~2 | ||||
| Paino（kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ||||
| 23 (CF) | 34 | 45 (CF) | |||||
| Tärinä | ≤ | ||||||
| Melu (dB) | ≤ | ||||||
| Laakeri | Rasvavoideltu keraaminen kuulalaakeri | ||||||
| Toiminnassa asema | Minkä tahansa | ||||||
| Magneettinen ala intensiteetti (mT) | ≤3 (Suurin 10 mT, täytyy mukauttaa) | ||||||
| Oper.ambient lämpötila | ilmaa jäähdytys | 5-35 ℃ | |||||
| Vesi jäähdytys | 5-40 ℃ | ||||||
| Jäähdytys vettä vaatimukset | Veden lämpötila: 15-25 ℃；paine: 0,15 Mpa；PH6 ~ 8， selkeä, öljytön ；Virtaus：≥1,5L/min | ||||||
| ☑Ohjain parametrit | |||||||
| Ohjain | EVFB-III-A | ||||||
| Viestintä tila | RS-485 | ||||||
| Jännite（V） | 220 V AC±10 % | ||||||
| Taajuus（Hz） | 50/60±5 % | ||||||
| Enimmäismäärä syöttö Tehoa（W） | 100 | ||||||
| Käynnistä/pysäytys ohjata tila | Ohjaimen painikkeet ohjaavat käynnistystä ja pysäytystä /RS485-ohjaimen käynnistystä ja pysäytystä /DB15 Ohjaavat käynnistystä ja pysäytystä | ||||||
| Suojaukset | Säätimen ylivirta, ylijännite, alijännite, ylikuumenemissuoja, molekyylipumpun ylivirta, ylikuormitus, ylikuumenemissuoja jne. | ||||||
| Pyörivä nopeus (r/min) | 36000±0,1 % | 30 000±0,1 % | 24000±0,1 % | ||||
| Matala nopeus (r/min) | 25200±0,1 % | 21 000±0,1 % | 16800±0,1 % | ||||
| Nykyinen（A） | ≤0,6 | ≤1 | ≤1 | ||||
| Suojaus sulake（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | ||||
| Käynnistysaika（min） | ~5 | ~6 | ~7 | ||||
| Seisokki（min） | ~5 | ~10 | ~12 | ||||
Kokonaismitat
| Malli | DN | d1 | h | h1 | h2 | d2 | n |
| EVFB-100/301 | 100 LF | 130 | 253,5 | 180 | 170 | — | — |
| 100 CF | 152 | 274,5 | 201 | 191 | 130.3 | 16 | |
| EVFB-160/401 | 160 LF | 180 | 239,5 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 238,5 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 | |
| EVFB-160/450D | 160 LF | 180 | 243 | 169,5 | 159,5 | — | — |
| 160 CF | 202 | 242 | 168,5 | 158,5 | 181 | 20 |
| Malli | DN | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241,8 | 336,8 | 201.8 | 124,8 |
| EVFB-160/701 | 160CF | 202 | 218.5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 |
| EVFB-200/1400 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155.1 |
| EVFB-200/1401 | 200 CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155.1 |
| EVFB-250/2200 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203.8 | 165,3 |
| EVFB-250/2201 | 250 CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
Tilaus Tiedot
| Määrä | Tuote malli | Tuote koodi | Lisätarvikkeet | Tilausmäärä | Selittää |
|
1 |
EVFB-100/301(LF) |
A3123 | tavallinen molekyylipumppu | A3123 | Vakiopumppu (Ilmajäähdytys on vakiona) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet(pieni virtaus) | A3123-A | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) | |||
| Vesijäähdytyskomponentit | A3123-B | Vakiopumppu + vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet (pieni virtaus) 、Vesijäähdytyskomponentit | A3123-C | Vakiopumppu + Tyhjennysventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) + Vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
|
2 |
EVFB-100/301(CF) |
A3124 | tavallinen molekyylipumppu | A3124 | Vakiopumppu (Ilmajäähdytys on vakiona) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet(pieni virtaus) | A3124-A | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) | |||
| Vesijäähdytyskomponentit | A3124-B | Vakiopumppu + vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet (pieni virtaus) 、Vesijäähdytyskomponentit | A3124-C | Vakiopumppu + Tyhjennysventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) + Vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
|
3 |
EVFB-160/401(LF) |
A3127 | tavallinen molekyylipumppu | A3127 | Vakiopumppu (Ilmajäähdytys on vakiona) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet(pieni virtaus) | A3127-A | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) | |||
| Vesijäähdytyskomponentit | A3127-B | Vakiopumppu + vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet (pieni virtaus) 、Vesijäähdytyskomponentit | A3127-C | Vakiopumppu + Tyhjennysventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) + Vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
|
4 |
EVFB-160/401(CF) |
A3128 | tavallinen molekyylipumppu | A3128 | Vakiopumppu (Ilmajäähdytys on vakiona) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet(pieni virtaus) | A3128-A | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) | |||
| Vesijäähdytyskomponentit | A3128-B | Vakiopumppu + vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3128-C | Vakiopumppu + tyhjennysventtiili |
| (pieni virtaus) 、Vesijäähdytyskomponentit | lisävarusteet (pieni virtaus)+ Vesijäähdytyskomponentit (Vaihdailmajäähdytetyt komponentit) | ||||
|
5 |
EVFB-160/450D(LF) |
A3129 | tavallinen molekyylipumppu | A3129 | Vakiopumppu (Ilmajäähdytys on vakiona) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet(pieni virtaus) | A3129-A | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) | |||
| Vesijäähdytyskomponentit | A3129-B | Vakiopumppu + vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet (pieni virtaus) 、Vesijäähdytyskomponentit | A3129-C | Vakiopumppu + Tyhjennysventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) + Vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
|
6 |
EVFB-160/450D(CF) |
A3130 | tavallinen molekyylipumppu | A3130 | Vakiopumppu (Ilmajäähdytys on vakiona) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet(pieni virtaus) | A3130-A | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) | |||
| Vesijäähdytyskomponentit | A3130-B | Vakiopumppu + vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet (pieni virtaus) 、Vesijäähdytyskomponentit | A3130-C | Vakiopumppu + Tyhjennysventtiilin lisävarusteet (pieni virtaus) + Vesijäähdytyskomponentit (Vaihda ilmajäähdytteiset osat) | |||
|
7 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139 | tavallinen molekyylipumppu | A3139 | Vakiopumppu (vesijäähdytyson oletuksena vakio) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3139-A | Vakiopumppu + tyhjennysventtiiliLisätarvikkeet | |||
| Tuulettimen komponentit | A3139-B | Vakiopumppu + tuuletin | |||
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet,Tuulettimen komponentit | A3139-C | Vakiopumppu + tyhjennysventtiililisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
|
8 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140 | tavallinen molekyylipumppu | A3140 | Vakiopumppu (vesijäähdytyson oletuksena vakio) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3140-A | Vakiopumppu + tyhjennysventtiiliLisätarvikkeet | |||
| Tuulettimen komponentit | A3140-B | Vakiopumpun + tuulettimen komponentit | |||
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet,Tuulettimen komponentit | A3140-C | Vakiopumppu + tyhjennysventtiililisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
|
9 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135 | tavallinen molekyylipumppu | A3135 | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3135-A | Vakiopumppu + tyhjennysventtiiliLisätarvikkeet | |||
| Tuulettimen komponentit | A3135-B | Vakiopumpun + tuulettimen komponentit | |||
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet, | A3135-C | Vakiopumppu + tyhjennysventtiili |
| Tuulettimen komponentit | lisävarusteet + tuulettimen komponentit | ||||
|
10 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136 | tavallinen molekyylipumppu | A3136 | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3136-A | Vakiopumppu + tyhjennysventtiiliLisätarvikkeet | |||
| Tuulettimen komponentit | A3136-B | Vakiopumpun + tuulettimen komponentit | |||
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet、 | A3136-C | Vakiopumppu + tyhjennysventtiililisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
|
11 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141 | tavallinen molekyylipumppu | A3141 | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3141-A | Vakiopumppu + tyhjennysventtiiliLisätarvikkeet | |||
| Tuulettimen komponentit | A3141-B | Vakiopumppu + tuuletin | |||
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet、 Tuulettimen komponentit | A3141-C | Vakiopumppu + tyhjennysventtiililisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
|
12 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142 | tavallinen molekyylipumppu | A3142 | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3142-A | Vakiopumppu + tyhjennysventtiiliLisätarvikkeet | |||
| Tuulettimen komponentit | A3142-B | Vakiopumppu + tuuletin | |||
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet、 | A3142-C | Vakiopumppu + tyhjennysventtiililisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
| 13 | EVFB-II | A3261 | - | A3261 | Molekyylipumppuohjain (sopii molekyylipumpuille, kuten EVFB-100/301, EVFB-160/401, EVFB-100/450D) |
| 14 | EVFB-III-A | A3263 | - | A3263 | Molekyylipumppuohjain（ Soveltuu molekyylipumpuille, kuten EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201) |
Erotetut yhdistemolekyylipumput
Tämän tuotesarjan tärkeimmät ominaisuudet:
(1) Erillinen ohjain: AC220V virtalähde, näppäin käynnistys-pysäytys；
(2) Korkea luotettavuus: Kokonaisroottorit, BLDC-ajotekniikka；
(3) Tarkkuuslaakeri: Tarkkuuskeraaminen kuulalaakeri, Asennettu mihin tahansa kulmaan (Vain rasvavoideltu malli)；
(4) Toiminnallinen monimuotoisuus: Täysi valikoima lisävarusteita, räätälöityjä ratkaisuja on saatavilla；
(5) Tarjoa säädettävä nopeustoiminto ， Erilaisten pumppausnopeuden vaatimusten täyttämiseksi； Tämä tuotesarja soveltuu pääasiassa PVD-, CVD-, nestekidelevyille ja muille
teollinen pinnoite, tieteellinen tutkimus ja muilla aloilla.
Molekyylipumpun tekniset parametrit
| Malli | EVFB-160/701 | EVFB-200/1401 | EVFB-250/2201 | EVFB-400/3600 | EVFB-400/4500 | |||||
| ☑The tyhjiö parametrit | ||||||||||
| Ultimatepressure (Pa) | <5x10-6(LF）；<5x10-7（CF） | |||||||||
| Pumppaus nopeus (L/s) | N2 | He | N2 | He | N2 | H | N2 | He | N2 | He |
| 650 | 550 | 1350 | 1200 | 2050 | 1800 | 3600 | 3000 | 4800 | 3500 | |
| Puristussuhde | >1x1011 | >1x104 | >1x1011 | >1x104 | >1x1010 | >1x104 | >1x108 | >6x102 | >1x108 | >8x103 |
| Enimmäismäärä jatkuva sisääntulopaine (Pa) | 2 | 1 | 2 | 1 | 2 | 1 | 0,05 | 0,02 | 0,03 | 0,01 |
| Enimmäismääräjatkuva Etulinja | 300 | 200 | 300 | 200 | 200 | 100 | 50 | 35 | 40 | 30 |
| Maxforeline-painetoleranssi (Pa) | 1000 | 500 | 1000 | 500 | 500 | 200 | 340 | 160 | 160 | 80 |
| ☑Fyysinen parametri | ||||||||||
| Sisääntulo laippa | DN160 ISO-K（LF）tai CF | DN200 ISO-K (LF) tai CF | DN250 ISO-K（LF）tai CF | DN400 ISO-K（LF）tai CF | DN400 ISO-K（LF）tai CF | |||||
| Etulinja laippa | DN25 ISO-KF,KF40 (valinnainen) | DN40 ISO-KF, KF50 (valinnainen) | DN100 ISO-K (LF) | DN100 ISO-K (LF)taiKF50 (valinnainen) | ||||||
| Puhdistaa laippa | DN16 ISO-KF | / | DN16 ISO-KF | |||||||
| Suositeltava | 4-10 l/s | 8-16 l/s | 16-24 l/s | 30-70 l/s | ||||||
| Paino（kg） | 20 ISO-K(LF) | 30 ISO-K(LF) | 40 ISO-K(LF) | ≈ 100 ISO-K(LF) | ≈ 83 ISO-K(LF) | |
| 23 (CF) | 34 (CF) | 45 (CF) | ≈ 105 (CF) | ≈ 88 (CF) | ||
| Tärinä | ≤ 0,05 | ≤ 0,3 | ||||
| Melu (dB) | ≤ 50 | ≤ 60 | ||||
| Laakeri | Rasvavoideltu keraaminen kuulalaakeri | Keraaminen kuulalaakeri | ||||
| Toiminnassa asema | Minkä tahansa | Pysty ±5° | ||||
| Oper.Ambient Magneettikenttä | ≤ 3 mT (suurin 10 mT, on mukautettava) | ≤ 3mT | ||||
| Oper.ambient lämpötila | ilmaa jäähdytys | 5-35oC | / | / | ||
| Vesijäähdytys | 5-40 oC | |||||
| Jäähdytys vettä vaatimukset | Veden lämpötila: 15-25 ℃；ennakkovarma：0,15Mpa；virtaus：≥1,5L/min | virtaus:≥ 3L/min | ||||
| ☑Ohjain parametrit | ||||||
| Erotettu ohjain | EVFB-III-B (2U) | EVFB-VI (4U) | ||||
| Etä ohjata | Ultraetäisyysohjaus (ota yhteyttä suunnittelijoihimme) | |||||
| Viestintä tila | RS-485 | |||||
| Jännite（V） | 100 - 240 VAC（± | 220 VAC (±10 %) | ||||
| Taajuus（Hz） | 50/60 Hz±5 % | |||||
| Suurin syöttöteho（W） | 1000 | 1500 | ||||
| Käynnistä/pysäytys ohjata tila | Ohjaimen painikkeet ohjaavat käynnistystä ja pysäytystä /RS485-ohjaimen käynnistystä ja pysäytystä /DB15 Ohjaavat käynnistystä ja pysäytystä | |||||
| Suojaukset | Säätimen ylivirta, ylijännite, alijännite, ylikuumenemissuoja, molekyylipumpun ylivirta,ylikuormitus, ylikuumenemissuoja jne | |||||
| Pyörivä nopeus (r/min) | 36000±0,1 % | 30 000±0,1 % | 24000±0,1 % | 13500±0,1 % | 16200±0,1 % | |
| Matala nopeus (r/min) | 25200±0,1 % | 21 000±0,1 % | 16800±0,1 % | / | ||
| Nykyinen（A） | ≤ 0,6 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 5 | ||
| Suojaus sulake（A） | 6.5 | 6.5 | 6.5 | 12 | ||
| Aloittaa aika（min） | ~5 | ~6 | ~7 | ~20 | ||
| Seisokki（min） | ~5 | ~10 | ~12 | ~30 | ||
| Oper. ambient kunto | Ei syövyttäviä kaasuja eikä ilmeisiä pölyhiukkasia；ympäristön lämpötila: -10℃ ~ 50℃；ympäristökosteus: ≤ 90 %, tärinän voimakkuus: ≤ 0,5 g | |||||
0kokonaismitta
| Malli | D N | d1 | d2 | h | h1 | h3 | L |
| EVFB-160/700 EVFB-160/701 | 160 LF | 180 | 218.5 | 241,8 | 336,8 | 201.8 | 124,8 |
| 160CF | 202 | 218.5 | 268,8 | 359,8 | 224,8 | 124,8 | |
| EVFB-200/1400 EVFB-200/1401 | 200 LF | 240 | 267 | 257,5 | 352,5 | 231,5 | 155.1 |
| 200 CF | 253 | 267 | 274,5 | 369,5 | 248,5 | 155.1 | |
| EVFB-250/2200 EVFB-250/2201 | 250 LF | 290 | 296 | 229,8 | 324,8 | 203.8 | 165,3 |
| 250 CF | 305 | 296 | 259,8 | 354,8 | 233,8 | 165,3 |
EVFB-400/3600 Turbomolekyylipumpun mitat
EVFB-400/4500 Turbomolekyylipumpun mitat
Erillisen ohjaimen ulkonäkö
EVFB-III-B（2U）erillinen ohjain
EVFB-VI（4U）erillinen ohjain
Tilaus Tiedot
| määrä | Tuote malli | tuote koodi | Lisätarvikkeet | Tilaus määrä | Selittää |
|
1 |
EVFB-160/701(LF) |
A3139-F | Tavallinen molekyylipumppu | A3139-F | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3139-FA | Vakiopumppu + Purge-venttiilitarvikkeet | |||
| Tuulettimen komponentit | A3139-FB | Vakiopumpun + tuulettimen komponentit | |||
| Tyhjennysventtiilin lisävarusteet, tuulettimen komponentit | A3139-FC | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
|
2 |
EVFB-160/701(CF) |
A3140-F | tavallinen molekyylipumppu | A3140-F | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3140-FA | Vakiopumppu + Purge-venttiilitarvikkeet | |||
| Tuulettimen komponentit | A3140-FB | Vakiopumpun + tuulettimen komponentit | |||
| Tyhjennysventtiilin lisävarusteet, tuulettimen komponentit | A3140-FC | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
|
3 |
EVFB-200/1401(LF) |
A3135-F | tavallinen molekyylipumppu | A3135-F | Vakiopumppu (vesijäähdytys on oletuksena vakio) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3135-FA | Vakiopumppu + Purge-venttiilitarvikkeet | |||
| Tuulettimen komponentit | A3135-FB | Vakiopumpun + tuulettimen komponentit | |||
| Tyhjennysventtiilin lisävarusteet, tuulettimen komponentit | A3135-FC | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
|
4 |
EVFB-200/1401(CF) |
A3136-F | tavallinen molekyylipumppu | A3136-F | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3136-FA | Vakiopumppu + Purge-venttiilitarvikkeet | |||
| Tuulettimen komponentit | A3136-FB | Vakiopumpun + tuulettimen komponentit | |||
| Tyhjennysventtiilin lisävarusteet, tuulettimen komponentit | A3136-FC | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
|
5 |
EVFB-250/2201(LF) |
A3141-F | tavallinen molekyylipumppu | A3141-F | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3141-FA | Vakiopumppu + Purge-venttiilitarvikkeet | |||
| Tuulettimen komponentit | A3141-FB | Vakiopumpun + tuulettimen komponentit | |||
| Tyhjennysventtiilin lisävarusteet, tuulettimen komponentit | A3141-FC | Vakiopumppu + huuhteluventtiilin lisävarusteet + tuulettimen komponentit | |||
|
6 |
EVFB-250/2201(CF) |
A3142-F | tavallinen molekyylipumppu | A3142-F | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3142-FA | Vakiopumppu + Purge-venttiilitarvikkeet | |||
| Tuulettimen komponentit | A3142-FB | Vakiopumpun + tuulettimen komponentit | |||
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3142-FC | Vakiopumppu + tyhjennysventtiili |
| Tuulettimen komponentit | lisävarusteet + tuulettimen komponentit | ||||
| 7 | EVFB-400/3600(LF) | A3187 | tavallinen molekyylipumppu | A3187 | Vakiopumppu (vesijäähdytys on oletuksena vakio) |
| 8 | EVFB-400/3600(CF) | A3188 | tavallinen molekyylipumppu | A3188 | Vakiopumppu (vesijäähdytys on oletuksena vakio) |
|
9 |
EVFB-400/4500(LF) |
A3185 | tavallinen molekyylipumppu | A3185 | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3185-A | Vakiopumppu + Purge-venttiilitarvikkeet | |||
|
10 |
EVFB-400/4500(CF) |
A3186 | tavallinen molekyylipumppu | A3186 | Vakiopumppu (Vesijäähdytys on vakiona) |
| Tyhjennysventtiilin tarvikkeet | A3186-A | Vakiopumppu + Purge-venttiilitarvikkeet | |||
|
11 |
EVFB-III-HMI |
A3261-1 |
Käsikäyttöinen paneeli |
A3261-1 | Asiakas valinnainen ，Sopii molekyylipumpuille, kuten EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201 |
| 12 | EVFB-VI | A3270 | Erillinen ohjain (4U) | A3270 | Sopii Turbo-molekyylipumpuille, kuten EVFB-400/3600, EVFB-400/450 |
| 13 | EVFB-III-B | A3264 | Erillinen ohjain (2U) | A3264 | Sopii molekyylipumpuille, kuten EVFB-160/701, EVFB-200/1401, EVFB-250/2201 (erillinen tyyppi) |
