Ελεγκτής ροής μάζας Μετρητής ροής μάζας CS200
Χαρακτηριστικά
1. Υψηλή ακρίβεια και γρήγορη απόκριση
Η ακρίβεια του CS200 MFC έχει βελτιωθεί στο ±1,0% του SP και τα πιο προηγμένα μοντέλα έχουν μειωμένο χρόνο απόκρισης μικρότερο από 0,8 sec.
2. Χαμηλός συντελεστής μηδενικής μετατόπισης και θερμοκρασίας
Η εφεύρεση της νέας τεχνολογίας αισθητήρων επιτρέπει στο CS200 MFC να διατηρεί σταθερότητα και να αντέχει τις διακυμάνσεις της θερμοκρασίας.Χωρίς ενισχυτή αυτόματου μηδενισμού, η αναμενόμενη μετατόπιση του μηδενός είναι μικρότερη από 0,6%FS/έτος και ο συντελεστής θερμοκρασίας είναι μικρότερος από 0,02%FS/℃(μηδέν)，0,05%FS/℃ (εύρος).
3. Μοντέλα σφραγισμένα με μέταλλο και χαρακτηριστικό υψηλής καθαρότητας
Η διαδρομή υγρής ροής της σειράς CS200 MFC είναι κατασκευασμένη από επιφανειακά παθητικοποιημένο ανοξείδωτο χάλυβα.Όλα τα CS200 MFC συναρμολογούνται σε εξαιρετικά καθαρούς χώρους καθαρισμού κατηγορίας 100 της Sevenstar σύμφωνα με τα πρότυπα SEMI και ISO 9001.
4. Συμβατές διεπαφές
Το CS200 MFC είναι συμβατό με τις ακόλουθες διεπαφές, οι οποίες μπορεί να επιλεγούν από τον πελάτη: Τροφοδοτικό διπλού άκρου ±8V-±16V και τροφοδοτικό μονής άκρης +14V-+28V.είσοδος και έξοδος ψηφιακού ή αναλογικού σήματος.SEMI τυπικές μηχανικές διαστάσεις;και RS-485 ή μονάδα επικοινωνίας DeviceNet.
5. Διάφορες Λειτουργίες
Το ισχυρό λογισμικό πελατών διατίθεται στάνταρ με κάθε μοντέλο, ενώ πρόσθετες λειτουργίες όπως πολλαπλών αερίων, πολλαπλών εμβέλειας, αυτόματης μηδενισμού, συναγερμών, ομαλής εκκίνησης και καθυστέρησης είναι διαθέσιμες ως επιλογές πελατών.
Προσδιορισμός
| CS200 | |||||||
| Τύπος | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Εύρος πλήρους κλίμακας (N2) | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Ακρίβεια | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| Γραμμικότητα | ±0,5% FS | ||||||
| Επαναληψιμότητα | ±0,2% FS | ||||||
| Χρόνος απόκρισης | ≤1δευτ | ≤0,8 δευτ. (SEMI E17-0600) | |||||
| Θέση ηρεμίας βαλβίδας | Κανονικά κλειστό ή | Χωρίς Βαλβίδα | Κανονικά κλειστό ή | Χωρίς Βαλβίδα | Κανονικά κλειστό ή | Χωρίς Βαλβίδα | |
| Κανονικά ανοιχτό (100 sccm≤FS≤5 slm) | Κανονικά ανοιχτό (100 sccm≤FS≤5 slm) | Κανονικά ανοιχτό (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Διαφορική πίεση | 0,05~0,35MPa (Ροή≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05~0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05~0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | |
| 0,1 ~ 0,35 MPa (10 slm＜Ροή≤ 30 slm) | (0,1-0,35) MPa (（＞10slm) | (0,1-0,35) MPa (（＞10slm) | |||||
| 0,2-0,45 MPa (Ροή) 30 slm) | |||||||
| Μέγιστη Πίεση Λειτουργίας | 0,45 MPa | |||||
| Θερμοκρασία | Μηδέν:≤±0,05% FS/℃; | Μηδέν:≤±0,02% FS/℃;Διάρκεια:≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Συντελεστής | Διάρκεια: ≤±0,1% FS/℃（Ροή≤30slm） | |||||
| Διάρκεια: ≤±0,2% FS/℃（Ροή>30slm） | ||||||
| Πίεση απόδειξης | 3 MPa (435 pisg) | |||||
| Μηδενικό Drift | ＜0,6%FS ετησίως χωρίς autozero | |||||
| Διαρροή ακεραιότητας | 1×10-9 atm·cc / sec He | 1×10-10atm·cc / sec He | ||||
| Διαβρεγμένα Υλικά | Viton; | Μέταλλο; (Ανοξείδωτο ατσάλι V/V, 5Ra) | Μέταλλο | |||
| Χημεία Επιφανειών | —— | Αναλογία Cr/Fe ＞2,0;Πάχος CrO ＞20 Angstroms | ||||
| Φινίρισμα επιφάνειας | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
| Θερμοκρασία λειτουργίας | (5～45）℃ | (0～50）℃ | ||||
| Σήμα εισόδου | Ψηφιακό: RS485 ή ProfiBus | N/A | Ψηφιακό: RS485 ή ProfiBus ή DeviceNetTM | N/A | Ψηφιακό: RS485 ή ProfiBus ή DeviceNetTM | N/A |
| ή DeviceNetTM | Αναλογικό:(0~5)VDC ή (4~20)mA ή (0~20)mA | Αναλογικό:(0~5)VDC ή (4~20)mA;ή (0~20)mA | |||||
| Αναλογικό: (0~5)VDC ή (4~20)mA ή (0~20)mA | |||||||
| Σήμα εξόδου | Ψηφιακό: RS485 ή DeviceNetTM ή ProfiBus Analog:(0~5)VDC ή (4~20)mA ή (0~20)mA | ||||||
| Παροχή ηλεκτρικού ρεύματος | ±8 ~ ±16 VDC ή +14 ~ +28 VDC (400 mA) | ||||||
| Ηλεκτρονικός σύνδεσμος | 9 ακίδων αρσενικό υπο-D, 15 ακίδων αρσενικό υπο-D ，DeviceNetTM,ProfiBus, Αναλογικό | ||||||
| Εξαρτήματα | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4" M; | |||||
| Εξάρτημα συμπίεσηςΦ10; Εξάρτημα συμπίεσηςΦ6； | Εξάρτημα συμπίεσηςΦ6, | ||||||
| Εξάρτημα συμπίεσης 3/8”;Συναρμολόγηση συμπίεσης 1/4"; | Εξάρτημα συμπίεσηςΦ3, | ||||||
| Εξάρτημα συμπίεσης 1/8”;Εξάρτημα συμπίεσηςΦ3; | Εξάρτημα συμπίεσης 1/4", | ||||||
| Ф6(εσωτερικός)×1 σωλήνας;ф5(εσωτερικός)×1,5 σωλήνας;ф4(εσωτερικός)×1 σωλήνας; | W-seal, | ||||||
| A-sael ; | Γ-σφραγίδα | ||||||
| Βάρος | 1 κιλό | 0,8 κιλά | 1,2 κιλά | 1 κιλό | 1,2 κιλά | 1 κιλό | |
