د ډله ایز جریان کنټرولر ماس فلو میټر CS200
برخی
1. لوړ دقت او چټک غبرګون
د CS200 MFC دقت د SP ±1.0% ته ښه شوی، او خورا پرمختللي ماډلونه د 0.8 ثانیو څخه کم د غبرګون وخت لري.
2. ټیټ صفر ډریفټ او د تودوخې کوفیینټ
د نوي سینسر ټیکنالوژۍ اختراع CS200 MFC ته وړتیا ورکوي ترڅو ثبات وساتي او د تودوخې د بدلونونو سره مقاومت وکړي.د آټو-صفر امپلیفیر پرته، تمه شوي صفر ډریفټ له 0.6%FS/کال څخه کم دی، او د تودوخې مجموعه له 0.02%FS/℃(صفر)，0.05%FS/℃ (span) څخه کمه ده.
3. د فلزي مهر شوي ماډلونه او د لوړ پاکوالي ځانګړتیا
د لاین CS200 MFC د لندبل جریان لاره د سطحې له مینځه وړل شوي سټینلیس سټیل څخه جوړه شوې.ټول CS200 MFCs د Sevenstar د الټرا کلین کلاس 100 ټولګي پاکو خونو کې د SEMI او ISO 9001 معیارونو سره سم راټول شوي.
4. د مطابقت وړ انٹرفیسونه
CS200 MFC د لاندې انٹرفیسونو سره مطابقت لري، کوم چې ممکن د پیرودونکي لخوا غوره شي: ±8V-±16V دوه پایه بریښنا رسولو او +14V-+28V واحد پای بریښنا رسول؛ډیجیټل یا انلاګ سیګنال داخل او محصول؛د SEMI معیاري میخانیکي ابعاد؛او RS-485 یا DeviceNet مخابراتي ماډل.
5. متفرقه دندې
د پیرودونکي ځواکمن سافټویر د هر ماډل سره معیاري راځي، پداسې حال کې چې اضافي دندې لکه ملټي ګاز، ملټي رینج، آٹو صفر، الارم، نرم پیل، او ځنډ د پیرودونکو انتخابونو په توګه شتون لري.
مشخصات
| CS200 | |||||||
| ډول | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| د بشپړ پیمانه حد (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| دقت | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS؟(＜35% FS) | ||||||
| خطاطي | ±0.5% FS | ||||||
| د تکرار وړتیا | ±0.2% FS | ||||||
| د غبرګون وخت | ≤ 1 ثانیه | ≤0.8 ثانیه (SEMI E17-0600) | |||||
| د والو آرام ځای | په نورمال ډول تړل شوي یا | نه والو | په نورمال ډول تړل شوي یا | نه والو | په نورمال ډول تړل شوي یا | نه والو | |
| په نورمال ډول خلاص (100 sccm≤FS≤5 slm) | په نورمال ډول خلاص (100 sccm≤FS≤5 slm) | په نورمال ډول خلاص (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| توپیري فشار | 0.05～0.35MPa (روح≤10slm) | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa (≤10slm) | ＜0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa（10slm＜Flow≤30slm） | (0.1～0.35) MPa (～10slm) | (0.1～0.35) MPa (～10slm) | |||||
| 0.2～0.45MPa (بهی) 30slm | |||||||
| اعظمي عملیاتي فشار | 0.45MPa | |||||
| د حرارت درجه | صفر:≤±0.05% FS/℃؛ | صفر:≤±0.02% FS/℃؛موده: ≤±0.05% FS/℃ | ||||
| کثافات | موده: ≤±0.1% FS/℃（flow≤30slm） | |||||
| موده: ≤±0.2% FS/℃（پرواز>30slm） | ||||||
| د ثبوت فشار | 3MPa (435pisg) | |||||
| صفر ډریفت | ＜په کال کې 0.6% FS پرته له اوتوزیرو | |||||
| د بشپړتیا لیک | 1×10-9 atm·cc/sec He | 1×10-10atm·cc/sec He | ||||
| لوند شوي توکي | ويټون; | فلزي؟ (د سټینلیس سټیل V/V، 5Ra) | فلزي | |||
| د سطحې کیمیا | —— | د Cr/F تناسب 2.0؛د CrO ضخامت ＞20 انګسټروم | ||||
| د سطحې پای | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| د عملیاتو د حرارت درجه | (5～45) ℃ | (0～50) ℃ | ||||
| د ننوتلو سیګنال | ډیجیټل: RS485 یا ProfiBus | N/A | ډیجیټل: RS485 یا ProfiBus یا DeviceNetTM | N/A | ډیجیټل: RS485 یا ProfiBus یا DeviceNetTM | N/A |
| یا DeviceNetTM | انلاګ: (0～5)VDC یا (4～20)mA یا (0～20)mA | انلاګ: (0～5)VDC یا (4～20)mA؟ یا (0～20)mA | |||||
| انلاګ: (0～5)VDC یا (4～20)mA یا (0～20)mA | |||||||
| د محصول سیګنال | ډیجیټل: RS485 یا DeviceNetTM یا ProfiBus انلاګ: (0～5)VDC یا (4～20)mA یا (0～20)mA | ||||||
| برښنا ترتیبونکی | ±8 ~ ±16 VDC یا +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| بریښنایی نښلونکی | 9 پن نارینه فرعي D ， 15 پن نارینه فرعي D ， DeviceNetTM,پروفی بس، انلاګ | ||||||
| فټینګ | VCR1/4 "M" VCO1/4" M | VCR1/4″ M; | |||||
| کمپریشن فټینګΦ10؛ کمپریشن فټینګΦ6 | د کمپریشن فټینګ Φ6، | ||||||
| د کمپریشن فټینګ 3/8”؛د کمپریشن فټینګ 1/4” | کمپریشن فټینګΦ3، | ||||||
| د کمپریشن فټینګ 1/8”؛کمپریشن فټینګΦ3 | د کمپریشن فټینګ 1/4” | ||||||
| Ф6 (داخلي) × 1 نلی؛ ф5 (داخلي) × 1.5 نلی؛ ф4 (داخلي) × 1 نلی؛ | W- مهر، | ||||||
| الف - سیل ; | سي مهر | ||||||
| وزن | 1 کیلو ګرامه | 0.8 کیلو ګرامه | 1.2kg | 1 کیلو ګرامه | 1.2kg | 1 کیلو ګرامه | |
