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질량유량 컨트롤러 질량유량계 CS200

간단한 설명:

고급 센서 및 온도 보상 기술을 갖춘 CS200 MFC는 ±1%SP 정확도와 낮은 온도 계수를 달성할 수 있습니다.또한 고급 제어 시스템을 갖춘 CS200 MFC는 모든 설정값 변경에 대해 평균 800ms의 응답 시간을 제공하여 프로세스의 시스템 오류를 최소화합니다.


제품 상세 정보

제품 태그

특징

1. 높은 정확도와 빠른 응답

CS200 MFC의 정확도는 SP의 ±1.0%로 향상되었으며, 최신 모델의 경우 응답 시간이 0.8초 미만으로 단축되었습니다.

2. 낮은 영점 드리프트 및 온도 계수

새로운 센서 기술의 발명으로 CS200 MFC는 안정성을 유지하고 온도 변동을 견딜 수 있습니다.자동 영점 증폭기가 없으면 예상 영점 드리프트는 0.6%FS/년 미만이고 온도 계수는 0.02%FS/℃(영), 0.05%FS/℃(스팬) 미만입니다.

3. 금속 밀봉 모델과 고순도 특성

최신 CS200 MFC의 습식 흐름 경로는 표면 부동태화 스테인리스 스틸로 구성됩니다.모든 CS200 MFC는 SEMI 및 ISO 9001 표준에 따라 Sevenstar의 울트라클린 클래스 100 클래스 클린룸에서 조립됩니다.

4. 호환 가능한 인터페이스

CS200 MFC는 고객이 선택할 수 있는 다음 인터페이스와 호환됩니다. ±8V-±16V 더블 엔드 전원 공급 장치 및 +14V-+28V 싱글 엔드 전원 공급 장치;디지털 또는 아날로그 신호 입력 및 출력;SEMI 표준 기계적 치수;RS-485 또는 DeviceNet 통신 모듈.

5. 기타 기능

강력한 고객 소프트웨어는 각 모델마다 표준으로 제공되며 다중 가스, 다중 범위, 자동 영점 조정, 경보, 소프트 스타트 및 지연과 같은 추가 기능은 고객 선택에 따라 제공됩니다.

사양

CS200

유형

CS200A

CS200C

CS200D

풀 스케일 범위(N2)

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

(0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

(0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM

(0~1,2,3,5,10,20,30)SLM

정확성

±1.0% SP(≥35% FS) ±0.35% FS?(<35% FS)

선형성

±0.5%FS

반복성

±0.2%FS

응답 시간

1초 이하

0.8초 이하(SEMI E17-0600)

밸브 휴지 위치

평상시 닫힘 또는

밸브 없음

평상시 닫힘 또는

밸브 없음

평상시 닫힘 또는

밸브 없음

상시 열림(100sccm≤FS≤5slm) 상시 열림(100sccm≤FS≤5slm) 상시 열림(100sccm≤FS≤5slm)

차압

0.05~0.35MPa(유량≤10slm)

0.02MPa

(0.05~0.35)MPa(≤10slm)

0.02MPa

(0.05~0.35)MPa(≤10slm)

0.02MPa

0.1~0.35MPa(10slm<유량≤30slm)

(0.1~0.35)MPa(>10slm)

(0.1~0.35)MPa(>10slm)

0.2~0.45MPa(유량>30slm)

최대 작동 압력

0.45MPa

온도

0: ≤±0.05% FS/℃;

0: ≤±0.02% FS/℃;범위: ≤±0.05% FS/℃

계수

스팬: ≤±0.1% FS/℃(유량≤30slm)

스팬: ≤±0.2% FS/℃(유량>30slm)

보증 압력

3MPa(435pisg)

제로 드리프트

자동 영점 조정 없이 연간 0.6%FS

누출 무결성

1×10-9 atm·cc/초 He

1×10-10atm·cc/초 그는

습식 재료

비톤;

금속?(스테인리스강 V/V, 5Ra)

금속

표면화학

——

Cr/Fe 비율 >2.0;CrO 두께 >20 옹스트롬

표면 마감

25Ra

10Ra

25Ra

작동 온도

5~45)℃

0~50)℃

입력 신호

디지털: RS485 또는 ProfiBus

해당 없음

디지털: RS485, ProfiBus 또는 DeviceNetTM

해당 없음

디지털:RS485 또는 ProfiBus 또는 DeviceNetTM

해당 없음

또는 DeviceNetTM

아날로그:(0~5)VDC 또는 (4~20)mA 또는 (0~20)mA

아날로그:(0~5)VDC 또는 (4~20)mA? 또는 (0~20)mA

아날로그:(0~5)VDC 또는 (4~20)mA 또는(0~20)mA

출력 신호

디지털: RS485 또는 DeviceNetTM 또는 ProfiBus 아날로그:(0~5)VDC 또는 (4~20)mA 또는 (0~20)mA

전원공급장치

±8 ~ ±16 VDC 또는 +14 ~ +28 VDC(400mA)

전자 커넥터

9핀 수 서브 D ,15핀 수 서브 D ,DeviceNetTM,프로피버스,아날로그

피팅

VCR1/4” M; VCO1/4” M;

VCR1/4” M;

압축 피팅Φ10;압축 피팅Φ6;

압축 피팅Φ6,

압축 피팅 3/8";압축 피팅1/4";

압축 피팅Φ3,

압축 피팅1/8”;압축 피팅Φ3;

압축 피팅1/4”,

Ф6(내부)×1호스, ф5(내부)×1.5호스, ф4(내부)×1호스;

W-씰,

아사엘 ;

C-씰

무게

1kg

0.8kg

1.2kg

1kg

1.2kg

1kg

 

 

 

 

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