Rianadair sruth mòr Meatair sruthadh mòr CS200
Feartan
1. Àrd Cruinneas agus Fast Freagairt
Chaidh cruinneas an CS200 MFC a leasachadh gu ± 1.0% de SP, agus tha ùine freagairt nas ìsle aig na modalan as adhartaiche nas lugha na 0.8 diog.
2. Ìosal Zero Drift agus Teòthachd Coefficient
Tha innleachd teicneòlas mothachaidh ùr a’ toirt comas don CS200 MFC seasmhachd a chumail suas agus seasamh ri caochlaidhean teothachd.Às aonais amplifier fèin-ghluasadach, tha an gluasad neoni ris a bheil dùil nas lugha na 0.6% FS / bliadhna, agus tha an co-èifeachd teòthachd nas ìsle na 0.02% FS / ℃ (neoni), 0.05% FS / ℃ (rèis).
3. Modalan meatailt-ròin agus Feart Purity Àrd
Tha an t-slighe sruthadh fliuch den loidhne CS200 MFC air a thogail bho stàilinn gun staoin le uachdar.Tha a h-uile CS200 MFC air an cruinneachadh ann an seòmraichean glanaidh clas 100 clas ultraclean Sevenstar a rèir inbhean SEMI agus ISO 9001.
4. Co-fhreagarrach eadar-aghaidh
Tha an CS200 MFC co-chòrdail ris na h-eadar-aghaidh a leanas, a dh’ fhaodadh an neach-ceannach a thaghadh: ± 8V-± 16V solar cumhachd deireadh dùbailte agus + 14V-+ 28V solar cumhachd aon-deireadh;cuir a-steach agus toradh comharran didseatach no analog;Meudan meacanaigeach àbhaisteach SEMI;agus modal conaltraidh RS-485 no DeviceNet.
5. Gnìomhan Measgaichte
Bidh bathar-bog cumhachdach teachdaiche a’ tighinn gu ìre àbhaisteach le gach modail, agus tha gnìomhan a bharrachd leithid ioma-gas, ioma-raon, fèin-neoni, innealan-rabhaidh, tòiseachadh bog, agus dàil rim faighinn mar thaghadh teachdaiche.
Sònrachadh
| AC200 | |||||||
| Seòrsa | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Raon làn-sgèile (N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | (0～ 2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| (0～ 1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | (0～ 1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Cruinneas | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| Linearity | ±0.5% FS | ||||||
| Ath-aithris | ±0.2% FS | ||||||
| Àm Freagairt | ≤1 diog | ≤0.8 diog (SEMI E17-0600) | |||||
| Suidheachadh fois bhalbhaichean | Mar as trice dùinte no | Gun Bhalbhaiche | Mar as trice dùinte no | Gun Bhalbhaiche | Mar as trice dùinte no | Gun Bhalbhaiche | |
| Mar as trice fosgailte （100 sccm≤FS≤5 slm） | Mar as trice fosgailte （100 sccm≤FS≤5 slm） | Mar as trice fosgailte （100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Brùthadh eadar-dhealaichte | 0.05 ～ 0.35MPa （Flow≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～ 0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～ 0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa（10slm＜Flow≤30slm） | (0.1～0.35) MPa（＞10slm） | (0.1～0.35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0.2 ～ 0.45MPa （Flow＞ 30slm） | |||||||
| An cuideam obrachaidh as àirde | 0.45MPa | |||||
| Teòthachd | Zero: ≤ ± 0.05% FS / ℃; | Zero: ≤ ± 0.02% FS / ℃;Span: ≤ ± 0.05% FS / ℃ | ||||
| Co-èifeachd | Raon: ≤ ± 0.1% FS / ℃ （Flow≤30slm） | |||||
| Span: ≤ ± 0.2% FS / ℃ （Flow> 30slm） | ||||||
| Brùthadh dearbhaidh | 3MPa (435pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜0.6% FS gach bliadhna às aonais autozero | |||||
| Ionracas aoidionach | 1 × 10-9 atm·cc / diog He | 1 × 10-10atm·cc / diog He | ||||
| Stuthan fliuch | Viton; | Meatailt? (Stàilinn V / V, 5Ra) | Meatailt | |||
| Ceimigeachd uachdar | -- | Co-mheas Cr/Fe ＞2.0;Tighead CrO ＞ 20 Angtroms | ||||
| Crìoch air uachdar | 25 Ra | 10Rath | 25 Ra | |||
| Teòthachd obrachaidh | （5～ 45） ℃ | （0～50） ℃ | ||||
| Comharra cur a-steach | Didseatach: RS485 no ProfiBus | Chan eil | Didseatach: RS485 no ProfiBus no DeviceNetTM | Chan eil | Didseatach: RS485 no ProfiBus no DeviceNetTM | Chan eil |
| no DeviceNetTM | Analog: (0～5) VDC no (4～ 20) mA no (0～ 20) mA | Analog: (0～5) VDC no (4～ 20) mA? no (0～ 20) mA | |||||
| Analog: (0～5) VDC no (4～ 20) mA no (0～ 20) mA | |||||||
| Comharra Toraidh | Didseatach: RS485 no DeviceNetTM no ProfiBus Analog: (0 ～ 5) VDC no (4～ 20) mA no (0～ 20) mA | ||||||
| Solar cumhachd | ±8 ~ ±16 VDC no +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| Ceangal dealanach | Fo-D fireann 9 prìne ， 15 prìne fireann fo-D ，DeviceNetTM，ProfiBus, Analog | ||||||
| Uidheaman | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4" M; | |||||
| Suidheachadh teannachaidh Φ10; uidheamachadh teannachaidh Φ6； | Suidheachadh teannachaidh Φ6, | ||||||
| Suidheachadh teannachaidh 3/8”;Suidheachadh teannachaidh 1/4”； | Suidheachadh teannachaidh Φ3, | ||||||
| Suidheachadh teannachaidh 1/8”;Suidheachadh teannachaidh Φ3； | Suidheachadh teannachaidh 1/4", | ||||||
| Ф6(a-staigh)×1hose;ф5(a-staigh)×1.5hose;ф4(a-staigh)×1hose; | W-seula, | ||||||
| A-saeil; | C-ròn | ||||||
| Cuideam | 1kg | 0.8kg | 1.2kg | 1kg | 1.2kg | 1kg | |
