Tömegáram-szabályozó Tömegáram-mérő CS200
Jellemzők
1. Nagy pontosság és gyors reagálás
A CS200 MFC pontossága az SP ±1,0%-ára javult, a legfejlettebb modellek válaszideje pedig kevesebb, mint 0,8 másodperc.
2. Alacsony nulla eltolódás és hőmérsékleti együttható
Az új szenzortechnológia feltalálása lehetővé teszi a CS200 MFC számára, hogy megőrizze stabilitását és ellenálljon a hőmérséklet-ingadozásoknak.Auto-nulla erősítő nélkül a várható nulla-eltolódás kevesebb, mint 0,6%FS/év, és a hőmérsékleti együttható kisebb, mint 0,02%FS/℃(nulla)，0,05%FS/℃ (span).
3. Fémzáras modellek és nagy tisztaságú funkció
A CS200 MFC nedvesített áramlási útvonala felületi passzivált rozsdamentes acélból készül.Az összes CS200 MFC-t a Sevenstar ultraclean Class 100 osztályú tisztatereiben szerelik össze, a SEMI és az ISO 9001 szabványoknak megfelelően.
4. Kompatibilis interfészek
A CS200 MFC a következő interfészekkel kompatibilis, amelyeket az ügyfél választhat: ±8V-±16V kétvégű tápegység és +14V-+28V egyvégű tápegység;digitális vagy analóg jel be- és kimenet;SEMI szabványos mechanikai méretek;és RS-485 vagy DeviceNet kommunikációs modul.
5. Vegyes funkciók
Minden modellhez alapfelszereltség tartozik a nagy teljesítményű ügyfélszoftver, míg a további funkciók, mint például a többgáz, több tartomány, az automatikus nullázás, a riasztások, a lágy indítás és a késleltetés elérhetők az ügyfelek által.
Leírás
| CS200 | |||||||
| típus | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Teljes skálatartomány (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Pontosság | ±1,0% SP (≥35% FS) ±0,35% FS? (＜35% FS) | ||||||
| Linearitás | ±0,5% FS | ||||||
| Ismételhetőség | ±0,2% FS | ||||||
| Válaszidő | ≤1 mp | ≤0,8 mp (SEMI E17-0600) | |||||
| Szelep nyugalmi helyzete | Normál esetben Zárt ill | Nincs szelep | Normál esetben Zárt ill | Nincs szelep | Normál esetben Zárt ill | Nincs szelep | |
| Normál nyitva (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normál nyitva (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normál nyitva (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Nyomáskülönbség | 0,05～0,35 MPa (áramlás≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05～0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | (0,05～0,35) MPa (≤10slm) | ＜0,02 MPa | |
| 0,1-0,35 MPa (10 slm＜Áramlás≤30 slm） | (0,1～0,35) MPa (＞10slm) | (0,1～0,35) MPa (＞10slm) | |||||
| 0,2～0,45 MPa (áramlás＞30slm) | |||||||
| Maximális üzemi nyomás | 0,45 MPa | |||||
| Hőfok | Nulla: ≤±0,05% FS/℃; | Nulla: ≤±0,02% FS/℃;Fesztáv:≤±0,05% FS/℃ | ||||
| Együttható | Fesztáv: ≤±0,1% FS/℃ (Áramlás≤30slm) | |||||
| Fesztáv: ≤±0,2% FS/℃ (Áramlás>30 slm) | ||||||
| Proof Pressure | 3 MPa (435 pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜0,6%FS évente automatikus nullázás nélkül | |||||
| Szivárgás integritása | 1×10-9 atm·cc/mp He | 1×10-10 atm·cc / mp He | ||||
| Nedvesített anyagok | Viton; | Fém? (rozsdamentes acél V/V, 5Ra) | Fém | |||
| Felületi kémia | —— | Cr/Fe arány ＞2,0;CrO vastagság ＞20 angström | ||||
| Felület kidolgozása | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Működési hőmérséklet | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Bemeneti jel | Digitális: RS485 vagy ProfiBus | N/A | Digitális: RS485 vagy ProfiBus vagy DeviceNetTM | N/A | Digitális: RS485 vagy ProfiBus vagy DeviceNetTM | N/A |
| vagy DeviceNetTM | Analóg: (0～5)VDC vagy (4～20)mA vagy (0～20)mA | Analóg: (0～5)VDC vagy (4～20)mA vagy (0～20)mA | |||||
| Analóg: (0～5)VDC vagy (4～20)mA vagy (0～20)mA | |||||||
| Kimeneti jel | Digitális: RS485 vagy DeviceNetTM vagy ProfiBus analóg:(0～5)VDC vagy (4～20)mA vagy (0～20)mA | ||||||
| Tápegység | ±8 ~ ±16 VDC vagy +14 ~ +28 VDC (400mA) | ||||||
| Elektronikus csatlakozó | 9 tűs apa D al-, 15 tűs apa D al-, DeviceNetTM，ProfiBus, analóg | ||||||
| Szerelvények | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Kompressziós illesztésΦ10;Kompressziós szerelvényΦ6； | Kompressziós szerelvényΦ6, | ||||||
| Kompressziós szerelvény 3/8”;Kompressziós szerelvény 1/4”； | Kompressziós szerelvényΦ3, | ||||||
| Kompressziós szerelvény 1/8”;Kompressziós szerelvényΦ3； | Kompressziós szerelvény 1/4" | ||||||
| Ф6 (belső) × 1 tömlő;ф5 (belső) × 1,5 tömlő; × 4 (belső) × 1 tömlő; | W-pecsét, | ||||||
| A-sael ; | C-tömítés | ||||||
| Súly | 1 kg | 0,8 kg | 1,2 kg | 1 kg | 1,2 kg | 1 kg | |
