Mass Flow Controller Mass Flow Meter CS200
Mga bahin
1. Taas nga Katukma ug Paspas nga Tubag
Ang katukma sa CS200 MFC gipauswag sa ± 1.0% sa SP, ug ang labing abante nga mga modelo adunay usa ka pagkunhod sa oras sa pagtubag nga wala’y 0.8 ka segundo.
2. Ubos nga Zero Drift ug Temperatura Coefficient
Ang pag-imbento sa bag-ong teknolohiya sa sensor makapahimo sa CS200 MFC sa pagpadayon sa kalig-on ug makasugakod sa pag-usab-usab sa temperatura.Kung walay auto-zero amplifier, ang gipaabot nga zero drift mas mubu sa 0.6% FS/year, ug ang temperature coefficient ubos sa 0.02% FS/℃(zero), 0.05%FS/ ℃ (span).
3. Metal-Sealed Models ug High Purity Feature
Ang basa nga agianan sa agianan sa-sa-linya nga CS200 MFC gihimo gikan sa surface-passivated stainless steel.Ang tanang CS200 MFCs gitigom sa Sevenstar's ultraclean Class 100-class cleanrooms subay sa SEMI ug ISO 9001 standards.
4. Nahiangay nga mga Interface
Ang CS200 MFC kay compatible sa mosunod nga mga interface, nga mahimong pilion sa customer:±8V-±16V double-end power supply ug +14V-+28V single-end power supply;digital o analog signal input ug output;SEMI standard mekanikal nga mga sukod;ug RS-485 o DeviceNet communications module.
5. Nagkalainlain nga mga Kalihokan
Ang kusgan nga software sa kostumer adunay sukaranan sa matag modelo, samtang ang dugang nga mga gimbuhaton sama sa multi-gas，multi-range，auto-zero, mga alarma, humok nga pagsugod, ug paglangan magamit ingon mga pagpili sa kustomer.
Espesipikasyon
| CS200 | |||||||
| Matang | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Tibuok nga sukod sa gidak-on (N2) | ( 0～ 5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Pagkatukma | ±1.0% SP (≥35% FS) ±0.35% FS?(＜35% FS) | ||||||
| Linearity | ±0.5% FS | ||||||
| Pagkabalikbalik | ± 0.2% FS | ||||||
| Tubag sa Panahon | ≤1sec | ≤0.8 ka segundo (SEMI E17-0600) | |||||
| Posisyon sa Pagpahulay sa Balbula | Kasagaran sirado o | Walay Valve | Kasagaran sirado o | Walay Valve | Kasagaran sirado o | Walay Valve | |
| Kasagarang Bukas（100 sccm≤FS≤5 slm） | Kasagarang Bukas（100 sccm≤FS≤5 slm） | Kasagarang Bukas（100 sccm≤FS≤5 slm） | |||||
| Nagkalainlain nga Presyon | 0.05～0.35MPa （Pag-agos≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | (0.05～0.35) MPa（≤10slm） | ＜0.02MPa | |
| 0.1～0.35MPa（10slm＜Agos≤30slm） | (0.1～0.35) MPa（＞10slm） | (0.1～0.35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0.2～0.45MPa （Agos＞30slm） | |||||||
| Pinakataas nga Operating Pressure | 0.45MPa | |||||
| Temperatura | Zero: ≤±0.05% FS/℃; | Zero: ≤±0.02% FS/℃;Span: ≤±0.05% FS/℃ | ||||
| Coefficient | Span: ≤±0.1% FS/℃（Pag-agos≤30slm） | |||||
| Span: ≤±0.2% FS/℃（Pag-agos>30slm） | ||||||
| Pamatuod nga Presyon | 3MPa (435 pisg) | |||||
| Zero Drift | ＜0.6% FS kada tuig nga walay autozero | |||||
| Leak integridad | 1×10-9 atm·cc / sec Siya | 1×10-10atm·cc / sec Siya | ||||
| Nabasa nga mga Materyal | Viton; | Metal?(Stainless Steel V/V, 5Ra) | Metal | |||
| Surface Chemistry | —— | Cr/Fe ratio ＞2.0;CrO gibag-on ＞ 20 Angstroms | ||||
| Paghuman sa nawong | 25Ra | 10 Ra | 25Ra | |||
| Temperatura sa Operasyon | (5～45） ℃ | (0～50） ℃ | ||||
| Signal sa Input | Digital: RS485 o ProfiBus | N/A | Digital: RS485 o ProfiBus o DeviceNetTM | N/A | Digital: RS485 o ProfiBus o DeviceNetTM | N/A |
| o DeviceNetTM | Analog:(0～5)VDC o (4～20)mA o (0～20)mA | Analog:(0～5)VDC o (4～20)mA?o (0～20)mA | |||||
| Analog:(0～5)VDC o (4～20)mA o(0～20)mA | |||||||
| Output Signal | Digital: RS485 o DeviceNetTM o ProfiBus Analog:(0～5)VDC o (4～20)mA o (0～20)mA | ||||||
| Suplay sa kuryente | ±8 ~ ±16 VDC o +14 ~ +28 VDC(400mA) | ||||||
| Elektronikong Konektor | 9 pin nga lalaki nga sub-D ，15 pin nga lalaki nga sub-D ，DeviceNetTM,ProfiBus, Analog | ||||||
| Mga gamit | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | VCR1/4” M; | |||||
| Compression FittingΦ10;Compression FittingΦ6； | Pag-ayo sa CompressionΦ6, | ||||||
| Compression Fitting 3/8”;Compression Fitting1/4”; | Compression FittingΦ3, | ||||||
| Compression Fitting1/8”;Compression FittingΦ3； | Compression Fitting1/4”， | ||||||
| Ф6(sulod)×1hose;ф5(sulod)×1.5hose;ф4(sulod)×1hose; | W-seal, | ||||||
| A-sael ; | C-selyo | ||||||
| Gibug-aton | 1kg | 0.8kg | 1.2kg | 1kg | 1.2kg | 1kg | |
