Contrôleur de débit massique Débitmètre massique CS200
Caractéristiques
1. Haute précision et réponse rapide
La précision du CS200 MFC a été améliorée à ±1,0 % du SP, et les modèles les plus avancés ont un temps de réponse réduit à moins de 0,8 seconde.
2. Faible dérive nulle et coefficient de température
L'invention d'une nouvelle technologie de capteur permet au CS200 MFC de maintenir sa stabilité et de résister aux fluctuations de température.Sans amplificateur à zéro automatique, la dérive du zéro attendue est inférieure à 0,6 % FS/an et le coefficient de température est inférieur à 0,02 % FS/℃ (zéro), 0,05 % FS/℃ (envergure).
3. Modèles scellés au métal et caractéristique de haute pureté
Le circuit d'écoulement mouillé de la ligne CS200 MFC est construit en acier inoxydable à surface passivée.Tous les MFC CS200 sont assemblés dans les salles blanches ultrapropres de classe 100 de Sevenstar, conformément aux normes SEMI et ISO 9001.
4. Interfaces compatibles
Le CS200 MFC est compatible avec les interfaces suivantes, qui peuvent être sélectionnées par le client : alimentation double ± 8 V-± 16 V et alimentation simple + 14 V-+ 28 V ;entrée et sortie de signaux numériques ou analogiques ;Dimensions mécaniques SEMI standards ;et module de communication RS-485 ou DeviceNet.
5. Fonctions diverses
Un logiciel client puissant est fourni en standard avec chaque modèle, tandis que des fonctions supplémentaires telles que multi-gaz, multi-gamme, zéro automatique, alarmes, démarrage progressif et retard sont disponibles en tant que sélections du client.
spécification
| CS200 | |||||||
| Taper | CS200A | CS200C | CS200D | ||||
| Plage pleine échelle (N2) | ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | ( 0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM | |||||
| ( 0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM | ( 0～1,2,3,5,10,20,30)SLM | ||||||
| Précision | ±1,0 % SP (≥35 % FS) ±0,35 % FS ?(<35 % FS) | ||||||
| Linéarité | ±0,5 % FS | ||||||
| Répétabilité | ±0,2% FS | ||||||
| Temps de réponse | ≤1 seconde | ≤0,8 s (SEMI E17-0600) | |||||
| Position du repose-soupape | Normalement fermé ou | Pas de vanne | Normalement fermé ou | Pas de vanne | Normalement fermé ou | Pas de vanne | |
| Normalement ouvert (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalement ouvert (100 sccm≤FS≤5 slm) | Normalement ouvert (100 sccm≤FS≤5 slm) | |||||
| Pression différentielle | 0,05 ~ 0,35 MPa (débit ≤ 10 slm) | ＜0,02MPa | (0,05～0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02MPa | (0,05～0,35) MPa（≤10slm） | ＜0,02MPa | |
| 0,1～0,35MPa（10slm＜Débit≤30slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | (0,1～0,35) MPa（＞10slm） | |||||
| 0,2 ~ 0,45 MPa (débit > 30 slm) | |||||||
| Pression de fonctionnement maximale | 0,45MPa | |||||
| Température | Zéro : ≤ ± 0,05 % FS/℃ ; | Zéro : ≤ ± 0,02 % FS/℃ ;Portée : ≤ ± 0,05 % FS/℃ | ||||
| Coefficient | Portée : ≤ ± 0,1 % FS/℃ (débit ≤ 30 slm) | |||||
| Portée : ≤ ± 0,2 % FS/℃ (Débit> 30slm) | ||||||
| Pression de preuve | 3MPa (435pisg) | |||||
| Dérive zéro | ＜0,6 % FS par an sans zéro automatique | |||||
| Intégrité des fuites | 1×10-9 atm·cc / sec He | 1×10-10atm·cc / sec Il | ||||
| Matériaux mouillés | Viton; | Métal ? (Acier inoxydable V/V, 5Ra) | Métal | |||
| Chimie des surfaces | —— | Rapport Cr/Fe ＞2,0 ;Épaisseur de CrO ＞20 Angströms | ||||
| Finition de surface | 25Ra | 10Ra | 25Ra | |||
| Température de fonctionnement | （5～45）℃ | （0～50）℃ | ||||
| Signal d'entrée | Numérique : RS485 ou ProfiBus | N / A | Numérique : RS485 ou ProfiBus ou DeviceNetTM | N / A | Numérique : RS485 ou ProfiBus ou DeviceNetTM | N / A |
| ou DeviceNetTM | Analogique : (0～5)VDC ou (4～20)mA ou (0～20)mA | Analogique : (0～5)VDC ou (4～20)mA ? ou (0～20)mA | |||||
| Analogique : (0 ~ 5) VDC ou (4 ~ 20) mA ou (0 ~ 20) mA | |||||||
| Signal de sortie | Numérique : RS485 ou DeviceNetTM ou ProfiBus Analogique : (0~5)VDC ou (4~20)mA ou (0~20)mA | ||||||
| Source de courant | ±8 ~ ±16 VCC ou +14 ~ +28 VCC (400 mA) | ||||||
| Connecteur électronique | Sub-D mâle à 9 broches, Sub-D mâle à 15 broches, DeviceNetTM,ProfiBus, analogique | ||||||
| Raccords | VCR1/4” M； VCO1/4” M； | Magnétoscope1/4” M ; | |||||
| Raccord à compressionΦ10 ; Raccord à compressionΦ6 ; | Raccord à compression Φ6, | ||||||
| Raccord à compression 3/8” ;Raccord à compression 1/4" ; | Raccord à compression Φ3, | ||||||
| Raccord à compression 1/8" ;Raccord à compression Φ3 ; | Raccord à compression 1/4", | ||||||
| Ф6 (intérieur) × 1 tuyau ; ф5 (intérieur) × 1,5 tuyau ; ф4 (intérieur) × 1 tuyau ; | Joint en W, | ||||||
| A-sael ; | Joint C | ||||||
| Poids | 1 kg | 0,8 kg | 1,2kg | 1 kg | 1,2kg | 1 kg | |
