Contrôleur de débit massique de gaz thermique (MFC)

Brève description:

Le contrôleur de débit massique de gaz thermique (MFC) a non seulement la fonction de débitmètre massique, mais aussi, plus important encore, il peut contrôler automatiquement le débit de gaz, ce qui signifie que l'utilisateur peut régler le débit à sa demande.MFC fixera automatiquement le débit sur la valeur définie.La valeur définie ne sera pas déviée même si les fluctuations de pression du système ou les changements de température environnante.En bref, le contrôleur de débit massique est un dispositif stable en débit, c'est un dispositif stable en débit de gaz qui peut être programmé manuellement ou contrôlé automatiquement par un ordinateur.

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Détail du produit

Mots clés du produit

Lermalguesmculffaiblemeter(MFM)isakIndianaofaccuratemeasuRemenfgasflow,the measuredvalesarenotcontrolledbyfluctuationsinthèmeperaturéorpressbien sûr, je n'ai pas besointhecompensationoftemperatureandpressure.

Modèle	SQC-100
Plages de débit (N2)	0 ~ 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500SCCM
Plages de débit (N2)	0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Précision	±1%FS(≤15SLM)；±2%FS(＞15SLM)
Type d'entraînement de soupape	Normalement fermé
Linéarité	±1%FS(≤15SLM)；±2%FS(＞15SLM)
Répétabilité	±0,2 % FS
Temps de réponse	≤1 seconde
Signal d'entrée/sortie	0 ~ 5 V
Joint électrique	Broche DB15 (aiguille)
Opération Tem.	5～45℃
Pré différentiel.	0,05 ~ 0,5 MPa (MFC) ; 0,03 ~ 3,0 MPa (MFM)
Taux de fuite	1×10-8SCCS （Il）
Max.Pression	3MPa
Matériau moyen	Acier inoxydable 316L et matériau d'étanchéité
Matériau d'étanchéité	Viton, Caoutchouc silicone, NBR, Téflon, Joint métallique.
Taille des joints	Magnétoscope 1/4" ； Swagelok 1/8" 、 1/4" ； φ3 、 φ6 mm
Source de courant	+15 V, 50 mA ; -15 V, 200 mA.

Modèle	SQC-200
Plages de débit (N2)	MFC : 0 ~ 20, 30, 50, 100, 150, 200SLM
Plages de débit (N2)	MFM : 0 ~ 20 ,30 ,50 ,100 ,150 , 200 ,250 ,300SLM
Précision	±2 % FS
Type d'entraînement de soupape	Normalement fermé
Linéarité	±2 % FS
Répétabilité	±0,2 % FS
Temps de réponse	≤5 secondes
Signal d'entrée/sortie	1 ~ 5 V; 4 ~ 20 mA
Joint électrique	Broche DB15 (aiguille)
Opération Tem.	5～45℃
Pré différentiel.	0,1 ~ 0,3 MPa (MFC) ; 0,05 ~ 3,0 MPa (MFM)
Taux de fuite	1×10-8SCCS （Il）
Max.Pression	3MPa
Matériau moyen	Acier inoxydable 316L et matériau d'étanchéité
Matériau d'étanchéité	Viton, caoutchouc silicone, NBR, ERP, Téflon
Taille des joints	Swagelok 3/8" 、1/2"； φ8、φ10、φ12mm
Source de courant	24 V, 0,5 A