Termilise gaasi massivoolu kontrolleri (MFC) esiletoodud pilt

Termilise gaasi massivoolu kontroller (MFC)

Lühike kirjeldus:

Termilise gaasi massivoolu regulaatoril (MFC) pole mitte ainult massivoolumõõturi funktsioon, vaid veelgi olulisem, et see suudab gaasivoolu automaatselt juhtida, mis tähendab, et kasutaja saab voolu vastavalt soovile seada.MFC fikseerib voolu automaatselt seatud väärtusele.Seadistatud väärtust ei muudeta isegi siis, kui süsteemi rõhk kõikub või ümbritsev temperatuur muutub.Lühidalt öeldes on massivoolu regulaator voolustabiilne seade, gaasivoolu stabiilset seadet saab käsitsi programmeerida või arvuti abil automaatselt juhtida.

Saada meile e-kiri

Toote üksikasjad

Tootesildid

Thermalgasmpersefmadalmeter(MFM)isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressure, pole vajathecompensationoftemperatureandpressure.

Mudel	SQC-100
Vooluvahemikud (N2)	0,5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500 SCCM
Vooluvahemikud (N2)	0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Täpsus	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Klapi ajami tüüp	Tavaline Suletud
Lineaarsus	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Korratavus	±0,2％FS
Reaktsiooniaeg	≤1 s
Sisend/väljundsignaal	0-5 V
Elektriline liigend	DB15 tihvt (nõel)
Operatsioon Tem.	5～45 ℃
Diferentsiaal Eel.	0,05～0,5 MPa (MFC) 0,03 - 3,0 MPa (MFM)
Lekke määr	1×10-8SCCS (tema)
MaxSurve	3 MPa
Keskmine materjal	316L SS ja tihendusmaterjal
Tihendusmaterjal	Viton, Silikoonkumm, NBR, Teflon, Metallist tihend.
Liigese suurus	Videomakk 1/4"；Swagelok 1/8" 、1/4"；φ3、 φ6mm
Toiteallikas	+15V,50mA；-15V,200mA

Mudel	SQC-200
Vooluvahemikud (N2)	MFC: 0, 20, 30, 50, 100, 150, 200 SLM
Vooluvahemikud (N2)	MFM: 0 - 20 , 30 , 50 , 100 , 150 , 200 , 250 , 300 SLM
Täpsus	±2％FS
Klapi ajami tüüp	Tavaline Suletud
Lineaarsus	±2％FS
Korratavus	±0,2％FS
Reaktsiooniaeg	≤5 sek
Sisend/väljundsignaal	1～5V；4～20mA
Elektriline liigend	DB15 tihvt (nõel)
Operatsioon Tem.	5～45 ℃
Diferentsiaal Eel.	0,1～0,3 MPa (MFC)； 0,05-3,0 MPa (MFM)
Lekke määr	1×10-8SCCS (tema)
MaxSurve	3 MPa
Keskmine materjal	316L SS ja tihendusmaterjal
Tihendusmaterjal	Viton, silikoonkumm, NBR, ERP, teflon
Liigese suurus	Swagelok 3/8” 、 1/2”； φ8, 10, φ 12 mm
Toiteallikas	24V,0,5A