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Controller di flussu di massa di gas termale (MFC)

Descrizione breve:

Controller di flussu di massa di gas termale (MFC) ùn solu hà a funzione di metru di flussu di massa, ma ancu più impurtante pò cuntrullà u flussu di gasu automaticamente chì significa chì l'utilizatore pò stabilisce u flussu cum'è dumanda.MFC fissarà automaticamente u flussu nantu à u valore stabilitu.U valore stabilitu ùn serà micca deviatu ancu s'è a fluttuazione di a pressione di u sistema o cambia a temperatura circundante.In corta, u cuntrollu di flussu di massa hè un dispositivu stabile di flussu, hè un dispositivu stabile di flussu di gas chì pò esse programatu manualmente o cuntrullatu automaticamente da un computer.

 


Detail di u produttu

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Urmalgasmculofbassumeter(MFM) isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressura, ùn hè micca bisognuteccuompensationoftemperatureandpressure.

Mudellu SQC-100
Gamme di flussu (N2) 0~5,10,20,30,50,100 ,200,500SCCM
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Accuratezza ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM)
Tipu di azzione di valvula Normale chjusu
Linearità ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM)
Ripetibilità ± 0,2% FS
Tempu di risposta ≤ 1 sec
Segnale di input/output 0~5V
Articulazione elettrica Pin DB15 (agulla)
Operazione Tem. 5 ~ 45 ℃
Differential Pre. 0.05~0.5MPa (MFC); 0.03~3.0MPa (MFM)
Tasso di fuga 1×10-8SCCS (He)
Max.Pressione 3MPa
Materiale mediu 316L SS è materiale di sigillatura
Material di sigillatura Viton, Gomma di silicone, NBR, Teflon, Sigillo metallicu.
Dimensione di l'aghjuntu VCR 1/4”;Swagelok 1/8” 、1/4”;φ3、 φ6mm
Alimentazione elettrica + 15V, 50mA; -15V, 200mA
Mudellu SQC-200
Gamme di flussu (N2) MFC: 0~20,30,50,100,150,200SLM
MFM: 0~20 ,30 ,50,100 ,150, 200 ,250,300SLM
Accuratezza ± 2%FS
Tipu di azzione di valvula Normale chjusu
Linearità ± 2%FS
Ripetibilità ± 0,2% FS
Tempu di risposta ≤ 5 sec
Segnale di input/output 1~5V;4~20mA
Articulazione elettrica Pin DB15 (agulla)
Operazione Tem. 5 ~ 45 ℃
Differential Pre. 0.1~0.3MPa (MFC); 0.05~3.0MPa (MFM)
Tasso di fuga 1×10-8SCCS (He)
Max.Pressione 3MPa
Materiale mediu 316L SS è materiale di sigillatura
Material di sigillatura Viton, Gomma di Silicone, NBR, ERP, Teflon
Dimensione di l'aghjuntu Swagelok 3/8" 、1/2"; φ8、φ10、φ12mm
Alimentazione elettrica 24 V, 0,5 A

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