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Thermischer Gas-Massendurchflussregler (MFC)

Kurze Beschreibung:

Der thermische Gasmassendurchflussregler (MFC) hat nicht nur die Funktion eines Massendurchflussmessers, sondern, was noch wichtiger ist, er kann den Gasdurchfluss automatisch steuern, was bedeutet, dass der Benutzer den Durchfluss nach Bedarf einstellen kann.MFC stellt den Durchfluss automatisch auf den eingestellten Wert ein.Der eingestellte Wert weicht auch dann nicht ab, wenn der Systemdruck schwankt oder sich die Umgebungstemperatur ändert.Kurz gesagt, der Massendurchflussregler ist ein durchflussstabiles Gerät, ein gasdurchflussstabiles Gerät, das manuell programmiert oder automatisch von einem Computer gesteuert werden kann.

 


Produktdetail

Produkt Tags

DerrmAlgenmArschfniedrigmeter(MFM)isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfLuctuationsintemperatureorpressSicher, brauche ich nichtthecompensationoftemperatureandpressure.

Modell SQC-100
Durchflussbereiche (N2) 0 ~ 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 500 SCCM
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Genauigkeit ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM)
Ventilantriebstyp Normal geschlossen
Linearität ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM)
Wiederholbarkeit ±0,2%FS
Reaktionszeit ≤1 Sek
Eingangs-/Ausgangssignal 0~5V
Elektrisches Gelenk DB15-Pin (Nadel)
Betriebstemperatur 5~45℃
Differenzialvor. 0,05–0,5 MPa (MFC); 0,03–3,0 MPa (MFM)
Leckrate 1×10-8SCCS (He)
Max.Druck 3MPa
Mittleres Material 316L SS und Dichtungsmaterial
Dichtungsmaterial Viton, Silikonkautschuk, NBR, Teflon, Metalldichtung.
Gelenkgröße Videorecorder 1/4 Zoll; Swagelok 1/8 Zoll, 1/4 Zoll; 3, 6 mm
Stromversorgung +15 V, 50 mA; -15 V, 200 mA
Modell SQC-200
Durchflussbereiche (N2) MFC: 0 ~ 20, 30, 50, 100, 150, 200SLM
MFM: 0–20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300 SLM
Genauigkeit ±2%FS
Ventilantriebstyp Normal geschlossen
Linearität ±2%FS
Wiederholbarkeit ±0,2%FS
Reaktionszeit ≤5 Sek
Eingangs-/Ausgangssignal 1~5V;4~20mA
Elektrisches Gelenk DB15-Pin (Nadel)
Betriebstemperatur 5~45℃
Differenzialvor. 0,1–0,3 MPa (MFC); 0,05–3,0 MPa (MFM)
Leckrate 1×10-8SCCS (He)
Max.Druck 3MPa
Mittleres Material 316L SS und Dichtungsmaterial
Dichtungsmaterial Viton, Silikonkautschuk, NBR, ERP, Teflon
Gelenkgröße Swagelok 3/8" 、 1/2"; φ8、φ10、φ12mm
Stromversorgung 24 V, 0,5 A

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