ຕົວຄວບຄຸມການໄຫຼວຽນຂອງອາຍແກັສຄວາມຮ້ອນ (MFC)
ໄດ້rmalgasmກົ້ນfຕໍ່າmeter(MFM) isakindofaccuratemeasuເຣມentofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfໂຊກtuationsintemເປຣາtureorpressເອີ, ບໍ່ຕ້ອງການtເຮກompensationoftemperatureandpressure.
| ຕົວແບບ | SQC-100 |
| ໄລຍະການໄຫຼ (N2) | 0～5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
| 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| ຄວາມຖືກຕ້ອງ | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| Valve Drive ປະເພດ | ປິດປົກກະຕິ |
| ເສັ້ນຊື່ | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| ການເຮັດຊ້ຳ | ±0.2％FS |
| ເວລາຕອບສະຫນອງ | ≤1ວິນາທີ |
| ສັນຍານເຂົ້າ/ອອກ | 0～5V |
| ຮ່ວມໄຟຟ້າ | DB15 pin (ເຂັມ) |
| ການດໍາເນີນງານ. | 5～45℃ |
| ຄວາມແຕກຕ່າງກ່ອນ. | 0.05～0.5MPa (MFC)； 0.03～3.0MPa (MFM) |
| ອັດຕາການຮົ່ວໄຫຼ | 1×10-8SCCS (ລາວ) |
| ສູງສຸດ.ຄວາມກົດດັນ | 3MPa |
| ວັດສະດຸຂະຫນາດກາງ | 316L SS ແລະອຸປະກອນການຜະນຶກ |
| ວັດສະດຸຜະນຶກ | Viton, ຢາງຊິລິໂຄນ, NBR, Teflon, ປະທັບຕາໂລຫະ. |
| ຂະຫນາດຮ່ວມກັນ | VCR 1/4”; Swagelok 1/8”, 1/4”；φ3, φ6mm |
| ການສະຫນອງພະລັງງານ | +15V,50mA;-15V,200mA |
| ຕົວແບບ | SQC-200 |
| ໄລຍະການໄຫຼ (N2) | MFC: 0～20,30,50,100,150,200SLM |
| MFM: 0～20,30,50,100,150,200,250,300SLM | |
| ຄວາມຖືກຕ້ອງ | ±2％FS |
| Valve Drive ປະເພດ | ປິດປົກກະຕິ |
| ເສັ້ນຊື່ | ±2％FS |
| ການເຮັດຊ້ຳ | ±0.2％FS |
| ເວລາຕອບສະຫນອງ | ≤5ວິນາທີ |
| ສັນຍານເຂົ້າ/ອອກ | 1～5V；4～20mA |
| ຮ່ວມໄຟຟ້າ | DB15 pin (ເຂັມ) |
| ການດໍາເນີນງານ. | 5～45℃ |
| ຄວາມແຕກຕ່າງກ່ອນ. | 0.1～0.3MPa (MFC)； 0.05～3.0MPa (MFM) |
| ອັດຕາການຮົ່ວໄຫຼ | 1×10-8SCCS (ລາວ) |
| ສູງສຸດ.ຄວາມກົດດັນ | 3MPa |
| ວັດສະດຸຂະຫນາດກາງ | 316L SS ແລະອຸປະກອນການຜະນຶກ |
| ວັດສະດຸຜະນຶກ | Viton, ຢາງຊິລິໂຄນ, NBR, ERP, Teflon |
| ຂະຫນາດຮ່ວມກັນ | Swagelok 3/8”、1/2”； φ8、φ10、φ12mm |
| ການສະຫນອງພະລັງງານ | 24V,0.5A |
ຂຽນຂໍ້ຄວາມຂອງທ່ານທີ່ນີ້ແລະສົ່ງໃຫ້ພວກເຮົາ
