Controlador de flux massiu de gas tèrmic (MFC)

Descripció breu:

El controlador de flux massiu de gas tèrmic (MFC) no només té la funció de mesurador de cabal massiu, sinó que també és més important que pot controlar el flux de gas automàticament, cosa que significa que l'usuari pot configurar el flux com a sol·licitud.MFC fixarà automàticament el flux al valor establert.El valor establert no es desviarà encara que la pressió del sistema canviï o la temperatura circumdant.En resum, el controlador de flux massiu és un dispositiu estable de flux, és un dispositiu estable de flux de gas que es pot programar manualment o controlar automàticament per un ordinador.

Envieu-nos un correu electrònic

Detall del producte

Etiquetes de producte

Elrmalguesmculfbaixmeter(MFM)isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressure, no calthecompensationoftemperatureandpressure.

Model	SQC-100
Intervals de cabal (N2)	0～5，10，20，30 ，50 ，100 ，200，500SCCM
Intervals de cabal (N2)	0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Precisió	±1％FS (≤15SLM)；±2％FS (＞15SLM)
Tipus d'accionament de vàlvules	Normal Tancat
Linealitat	±1％FS (≤15SLM)；±2％FS (＞15SLM)
Repetibilitat	± 0,2% FS
Temps de resposta	≤1 seg
Senyal d'entrada/sortida	0~5V
Junta elèctrica	Pin DB15 (agulla)
Operació Tem.	5 ~ 45 ℃
Pre diferencial.	0,05~0,5MPa (MFC)； 0,03~3,0MPa (MFM)
Taxa de fuites	1×10-8SCCS （Ell）
Màx.Pressió	3MPa
Material Mitjà	316L SS i material de segellat
Material de segellat	Vitó, cautxú de silicona, NBR, tefló, segell metàl·lic.
Mida de l'articulació	VCR 1/4"；Swagelok 1/8" 、1/4"；φ3、 φ6mm
Font d'alimentació	+15V, 50mA; -15V, 200mA

Model	SQC-200
Intervals de cabal (N2)	MFC: 0～20，30，50，100，150，200SLM
Intervals de cabal (N2)	MFM: 0~20 ，30 ，50，100 ，150， 200 ，250，300SLM
Precisió	±2% FS
Tipus d'accionament de vàlvules	Normal Tancat
Linealitat	±2% FS
Repetibilitat	± 0,2% FS
Temps de resposta	≤5 segons
Senyal d'entrada/sortida	1~5V;4~20mA
Junta elèctrica	Pin DB15 (agulla)
Operació Tem.	5 ~ 45 ℃
Pre diferencial.	0,1~0,3MPa (MFC)； 0,05~3,0MPa (MFM)
Taxa de fuites	1×10-8SCCS （Ell）
Màx.Pressió	3MPa
Material Mitjà	316L SS i material de segellat
Material de segellat	Vitó, cautxú de silicona, NBR, ERP, tefló
Mida de l'articulació	Swagelok 3/8" 、1/2"； φ8、φ10、φ12mm
Font d'alimentació	24 V, 0,5 A