வெப்ப வாயு மாஸ் ஃப்ளோ கன்ட்ரோலர் (MFC)
திrmபாசிகள்mகழுதைfகுறைந்தmeter(MFM) isakindoமுகமூடிtemeஆசுremஎன்டோஃப்gasflow,the meஆசுredvalஉசரேnotcontrolledbyfஅதிர்ஷ்டம்tuationsinதற்காலிகபேராtureorpressஉரே, தேவையில்லைtஹெக்ompensationoftஎம்பேratயூரேandpressure.
| மாதிரி | SQC-100 |
| ஓட்ட வரம்புகள் (N2) | 0～5,10,20,30,50,100,200,500எஸ்சிசிஎம் |
| 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| துல்லியம் | ±1％FS(≤15SLM);±2％FS(＞15SLM) |
| வால்வு இயக்கி வகை | இயல்பான மூடியது |
| நேர்கோட்டுத்தன்மை | ±1％FS(≤15SLM);±2％FS(＞15SLM) |
| மீண்டும் நிகழும் தன்மை | ±0.2％FS |
| பதில் நேரம் | ≤1 நொடி |
| உள்ளீடு/வெளியீடு சிக்னல் | 0～5V |
| மின்சார கூட்டு | DB15 முள் (ஊசி) |
| ஆபரேஷன் டெம். | 5℃ 45℃ |
| வேறுபட்ட முன். | 0.05～0.5MPa (MFC)； 0.03～3.0MPa (MFM) |
| கசிவு விகிதம் | 1×10-8SCCS (அவர்) |
| அதிகபட்சம்.அழுத்தம் | 3MPa |
| நடுத்தர பொருள் | 316L SS மற்றும் சீல் பொருள் |
| சீல் பொருள் | விட்டான், சிலிகான் ரப்பர், என்பிஆர், டெஃப்ளான், மெட்டல் சீல். |
| கூட்டு அளவு | வி.சி.ஆர். |
| பவர் சப்ளை | +15V,50mA;-15V,200mA |
| மாதிரி | SQC-200 |
| ஓட்ட வரம்புகள் (N2) | MFC: 0～20,30,50,100,150,200SLM |
| எம்எஃப்எம் | |
| துல்லியம் | ±2％FS |
| வால்வு இயக்கி வகை | இயல்பான மூடியது |
| நேர்கோட்டுத்தன்மை | ±2％FS |
| மீண்டும் நிகழும் தன்மை | ±0.2％FS |
| பதில் நேரம் | ≤5 நொடி |
| உள்ளீடு/வெளியீடு சிக்னல் | 1～5V; 4～20mA |
| மின்சார கூட்டு | DB15 முள் (ஊசி) |
| ஆபரேஷன் டெம். | 5℃ 45℃ |
| வேறுபட்ட முன். | 0.1～0.3MPa (MFC) ； 0.05～3.0MPa (MFM) |
| கசிவு விகிதம் | 1×10-8SCCS (அவர்) |
| அதிகபட்சம்.அழுத்தம் | 3MPa |
| நடுத்தர பொருள் | 316L SS மற்றும் சீல் பொருள் |
| சீல் பொருள் | விட்டான், சிலிகான் ரப்பர், என்பிஆர், ஈஆர்பி, டெஃப்ளான் |
| கூட்டு அளவு | ஸ்வாகெலோக் 3/8”, 1/2”; φ8, φ10, φ12 மிமீ |
| பவர் சப்ளை | 24V,0.5A |
உங்கள் செய்தியை இங்கே எழுதி எங்களுக்கு அனுப்பவும்
