Жылулық газ массасының ағынын реттегіші (MFC)

Қысқаша сипаттама:

Жылулық газ массасы ағынының реттегіші (MFC) тек массалық шығын өлшегіш функциясына ие емес, сонымен қатар одан да маңыздысы ол газ ағынын автоматты түрде басқара алады, яғни пайдаланушы ағынды сұраныс ретінде орната алады.MFC ағынды орнатылған мәнге автоматты түрде бекітеді.Жүйедегі қысымның ауытқуы немесе айналадағы температура өзгерсе де, орнатылған мән ауытқымайды.Қысқаша айтқанда, масса ағынының реттегіші - бұл ағынның тұрақты құрылғысы, газ ағынының тұрақты құрылғысы қолмен бағдарламалануы немесе компьютермен автоматты түрде басқарылуы мүмкін.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Thermбалдырларmассfтөменmeter(MFM)исаkиндoфакураtemeасуrementofgasflow,the meасуredvalпайдаланадыnотконтроlledbyfсәттілікtuationsinтемperatureorpressкерек емесtгекompensationoftэмпеratureandpressure.

Үлгі	SQC-100
Ағын диапазоны (N2)	0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
Ағын диапазоны (N2)	0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
Дәлдік	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Клапан жетек түрі	Қалыпты жабық
Сызықтық	±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM)
Қайталану мүмкіндігі	±0,2％FS
Жауап беру уақыты	≤1сек
Кіріс/шығыс сигналы	0～5В
Электр қосылысы	DB15 түйреуіш (ине)
Операция Тем.	5～45℃
Дифференциалды алдын ала.	0,05～0,5МПа （MFC）； 0,03～3,0МПа （MFM）
Ағып кету жылдамдығы	1×10-8SCCS （О）
Макс.Қысым	3МПа
Орташа материал	316L SS және тығыздағыш материал
Тығыздау материалы	Витон, силикон каучук, NBR, тефлон, металл тығыздағыш.
Буын өлшемі	Бейнемагнитофон 1/4”；Swagelok 1/8” 、1/4”；φ3、 φ6мм
Нәр беруші	+15В,50мА；-15В,200мА

Үлгі	SQC-200
Ағын диапазоны (N2)	MFC: 0～20，30，50，100，150， 200SLM
Ағын диапазоны (N2)	MFM: 0～20, 30, 50, 100, 150, 200, 250, 300SLM
Дәлдік	±2％FS
Клапан жетек түрі	Қалыпты жабық
Сызықтық	±2％FS
Қайталану мүмкіндігі	±0,2％FS
Жауап беру уақыты	≤5сек
Кіріс/шығыс сигналы	1～5В；4～20мА
Электр қосылысы	DB15 түйреуіш (ине)
Операция Тем.	5～45℃
Дифференциалды алдын ала.	0,1～0,3МПа（MFC）； 0,05～3,0МПа （MFM）
Ағып кету жылдамдығы	1×10-8SCCS （О）
Макс.Қысым	3МПа
Орташа материал	316L SS және тығыздағыш материал
Тығыздау материалы	Витон, силикон каучук, NBR, ERP, тефлон
Буын өлшемі	Swagelok 3/8” 、1/2”； φ8、φ10、φ12мм
Нәр беруші	24В,0,5А