థర్మల్ గ్యాస్ మాస్ ఫ్లో కంట్రోలర్ (MFC)
దిrmఆల్గాస్mగాడిదfతక్కువmeter(MFM) isakindoఫాక్యురాtemeఅసురెంఎంటోఫ్gasflow,the meఅసుredvaluesarenotcontrolledbyfఅదృష్టంtuationsinతాత్కాలికంగాపేరాtureorpressఊరే, అవసరం లేదుtహెక్ompensationoftemperatయూరేandpressure.
| మోడల్ | SQC-100 |
| ప్రవాహ శ్రేణులు (N2) | 0～5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
| 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| ఖచ్చితత్వం | ±1％FS(≤15SLM);±2％FS(＞15SLM) |
| వాల్వ్ డ్రైవ్ రకం | సాధారణ మూసివేయబడింది |
| సరళత | ±1％FS(≤15SLM);±2％FS(＞15SLM) |
| పునరావృతం | ±0.2％FS |
| ప్రతిస్పందన సమయం | ≤1సెక |
| ఇన్‌పుట్/అవుట్‌పుట్ సిగ్నల్ | 0～5V |
| ఎలక్ట్రిక్ జాయింట్ | DB15 పిన్ (సూది) |
| ఆపరేషన్ టెమ్. | 5～45℃ |
| డిఫరెన్షియల్ ప్రీ. | 0.05～0.5MPa (MFC) 0.03～3.0MPa (MFM) |
| లీక్ రేట్ | 1×10-8SCCS (అతను) |
| గరిష్టంగాఒత్తిడి | 3MPa |
| మధ్యస్థ పదార్థం | 316L SS మరియు సీలింగ్ మెటీరియల్ |
| సీలింగ్ మెటీరియల్ | విటాన్, సిలికాన్ రబ్బర్, NBR, టెఫ్లాన్, మెటల్ సీల్. |
| ఉమ్మడి పరిమాణం | VCR 1/4”;స్వాగెలోక్ 1/8”, 1/4”：φ3, φ6mm |
| విద్యుత్ పంపిణి | +15V,50mA;-15V,200mA |
| మోడల్ | SQC-200 |
| ప్రవాహ శ్రేణులు (N2) | MFC: 0～20,30,50,100,150,200SLM |
| MFM: 0～20 , 30 , 50 , 100 , 150 , 200 , 250 , 300 SLM | |
| ఖచ్చితత్వం | ±2％FS |
| వాల్వ్ డ్రైవ్ రకం | సాధారణ మూసివేయబడింది |
| సరళత | ±2％FS |
| పునరావృతం | ±0.2％FS |
| ప్రతిస్పందన సమయం | ≤5సె |
| ఇన్‌పుట్/అవుట్‌పుట్ సిగ్నల్ | 1～5V;4～20mA |
| ఎలక్ట్రిక్ జాయింట్ | DB15 పిన్ (సూది) |
| ఆపరేషన్ టెమ్. | 5～45℃ |
| డిఫరెన్షియల్ ప్రీ. | 0.1～0.3MPa (MFC) ； 0.05～3.0MPa (MFM) |
| లీక్ రేట్ | 1×10-8SCCS (అతను) |
| గరిష్టంగాఒత్తిడి | 3MPa |
| మధ్యస్థ పదార్థం | 316L SS మరియు సీలింగ్ మెటీరియల్ |
| సీలింగ్ మెటీరియల్ | విటాన్, సిలికాన్ రబ్బర్, NBR, ERP, టెఫ్లాన్ |
| ఉమ్మడి పరిమాణం | స్వాగెలోక్ 3/8”, 1/2”; φ8, φ10, φ12 మిమీ |
| విద్యుత్ పంపిణి | 24V,0.5A |
మీ సందేశాన్ని ఇక్కడ వ్రాసి మాకు పంపండి
