थर्मल ग्याँस मास फ्लो कन्ट्रोलर (MFC)
दrmalgasmगधाfकमmeter(Mएफएम) isakindofaccuratemeasurementofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfluctuationsintemperatureorpressure, आवश्यक छैनthecompensationoftemperatureandpressure.
| मोडेल | SQC-100 |
| प्रवाहको दायरा (N2) | 0～5,10,20,30,50,100,200,500SCCM |
| ०～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM | |
| शुद्धता | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| भल्भ ड्राइभ प्रकार | सामान्य बन्द |
| रेखीयता | ±1％FS(≤15SLM)；±2％FS(＞15SLM) |
| पुनरावृत्ति | ±0.2%FS |
| प्रतिक्रिया समय | ≤1 सेकेन्ड |
| इनपुट/आउटपुट सिग्नल | ०～5V |
| बिजुली जोड | DB15 पिन (सुई) |
| अपरेशन टेम। | ५–४५ ℃ |
| विभेद पूर्व। | 0.05～0.5MPa （MFC；； 0.03～3.0MPa（MFM） |
| लीक दर | 1×10-8SCCS (He) |
| अधिकतमदबाब | 3MPa |
| मध्यम सामग्री | 316L एसएस र सील सामग्री |
| सील सामग्री | Viton, सिलिकन रबर, NBR, Teflon, धातु सील। |
| संयुक्त आकार | VCR 1/4”；Swagelok 1/8”, 1/4”；φ3, φ6mm |
| विद्युत आपूर्ति | +15V,50mA；-15V,200mA |
| मोडेल | SQC-200 |
| प्रवाहको दायरा (N2) | MFC: 0～20,30,50,100,150, 200SLM |
| MFM：0～20,30,50,100,150,200,250,300SLM | |
| शुद्धता | ±2％FS |
| भल्भ ड्राइभ प्रकार | सामान्य बन्द |
| रेखीयता | ±2％FS |
| पुनरावृत्ति | ±0.2%FS |
| प्रतिक्रिया समय | ≤5 सेकेन्ड |
| इनपुट/आउटपुट सिग्नल | 1～5V；4～20mA |
| बिजुली जोड | DB15 पिन (सुई) |
| अपरेशन टेम। | ५–४५ ℃ |
| विभेद पूर्व। | 0.1～0.3MPa（MFC； 0.05～3.0MPa（MFM） |
| लीक दर | 1×10-8SCCS (He) |
| अधिकतमदबाब | 3MPa |
| मध्यम सामग्री | 316L एसएस र सील सामग्री |
| सील सामग्री | Viton, सिलिकन रबर, NBR, ERP, Teflon |
| संयुक्त आकार | स्वगेलोक 3/8” 、1/2”； φ8、φ10、φ12mm |
| विद्युत आपूर्ति | 24V, 0.5A |
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