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थर्मल गैस मास फ्लो नियंत्रक (एमएफसी)

संक्षिप्त वर्णन:

थर्मल गैस मास फ्लो कंट्रोलर (एमएफसी) में न केवल मास फ्लो मीटर का कार्य होता है, बल्कि इससे भी महत्वपूर्ण बात यह है कि यह गैस प्रवाह को स्वचालित रूप से नियंत्रित कर सकता है, जिसका अर्थ है कि उपयोगकर्ता प्रवाह को अनुरोध के अनुसार सेट कर सकता है।एमएफसी निर्धारित मूल्य पर प्रवाह को स्वचालित रूप से ठीक कर देगा।सिस्टम दबाव में उतार-चढ़ाव या आसपास के तापमान में परिवर्तन होने पर भी निर्धारित मूल्य विचलित नहीं होगा।संक्षेप में, द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रक एक प्रवाह स्थिर उपकरण है, एक गैस प्रवाह स्थिर उपकरण है जिसे मैन्युअल रूप से प्रोग्राम किया जा सकता है या कंप्यूटर द्वारा स्वचालित रूप से नियंत्रित किया जा सकता है।

 


वास्तु की बारीकी

उत्पाद टैग

rmशैवालmगधाfकमmeter(Mएफएम)आईएसएkआईएनडीofaccuratemeasuरेमentofgasflow,the measuredvaluesarenotcontrolledbyfल्यूकtuationsinमंदिरपेराtureorpressहाँ, जरूरत नहीं हैtएचईसीompensationoftएम्पेratउरेandpressure.

नमूना एसक्यूसी-100
प्रवाह की सीमाएँ (N2) 0~5,10,20,30 ,50 ,100 ,200,500SCCM
0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
शुद्धता ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM)
वाल्व ड्राइव प्रकार सामान्य बंद
रैखिकता ±1%FS(≤15SLM);±2%FS(>15SLM)
repeatability ±0.2%एफएस
प्रतिक्रिया समय ≤1 सेकंड
इनपुट/आउटपुट सिग्नल 0~5V
विद्युत जोड़ DB15 पिन (सुई)
ऑपरेशन टेम. 5~45℃
विभेदक पूर्व. 0.05~0.5MPa (MFC); 0.03~3.0MPa (MFM)
रिसाव दर 1×10-8SCCS (He)
अधिकतम.दबाव 3 एमपीए
मध्यम सामग्री 316L एसएस और सीलिंग सामग्री
सीलिंग सामग्री विटन, सिलिकॉन रबर, एनबीआर, टेफ्लॉन, मेटल सील।
जोड़ का आकार वीसीआर 1/4";स्वगेलोक 1/8" 、1/4";φ3、 φ6मिमी
बिजली की आपूर्ति +15V,50mA;-15V,200mA
नमूना एसक्यूसी-200
प्रवाह की सीमाएँ (N2) एमएफसी: 0 ~ 20, 30, 50, 100, 150, 200 एसएलएम
एमएफएम: 0 ~ 20 , 30 , 50 , 100 , 150 , 200 , 250 , 300 एसएलएम
शुद्धता ±2%एफएस
वाल्व ड्राइव प्रकार सामान्य बंद
रैखिकता ±2%एफएस
repeatability ±0.2%एफएस
प्रतिक्रिया समय ≤5 सेकंड
इनपुट/आउटपुट सिग्नल 1~5V;4~20mA
विद्युत जोड़ DB15 पिन (सुई)
ऑपरेशन टेम. 5~45℃
विभेदक पूर्व. 0.1~0.3MPa(MFC); 0.05~3.0MPa (MFM)
रिसाव दर 1×10-8SCCS (He)
अधिकतम.दबाव 3 एमपीए
मध्यम सामग्री 316L एसएस और सीलिंग सामग्री
सीलिंग सामग्री विटॉन, सिलिकॉन रबर, एनबीआर, ईआरपी, टेफ्लॉन
जोड़ का आकार स्वगेलोक 3/8" 、1/2"; φ8、φ10、φ12मिमी
बिजली की आपूर्ति 24V,0.5A

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